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신축성 촉각센서의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015179673
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 신축성 있는 전극층을 구비함으로써 촉각센서가 유연한 신축성 촉각센서와 그 제조방법에 관한 것이다. 이를 위해 외부의 작용힘(Fin)이 인가되며, 신축성을 갖는 제 1 고분자층(110); 제 1 고분자층(110) 일면에 신호선을 형성하는 제 1 신호선(120); 제 1 신호선(120)과 연결되어 전극을 형성하는 제 1 전극층(130); 및 제 1 전극층(130)의 일면에 증착되어 작용힘(Fin)의 변화에 따라 저항값이 변하는 제 1 저항층(140);으로 이루어진 하판(100); 제 1 고분자층(110)과 대향하는 방향에 구비되어 신축성을 갖는 제 2 고분자층(210); 제 2 고분자층(210) 일면에 신호선을 형성하는 제 2 신호선(220); 제 2 신호선(220)과 연결되어 전극을 형성하는 제 2 전극층(230); 및 제 2 전극층(230) 일면에 증착되어 작용힘(Fin)의 변화에 따라 저항값이 변하는 제 2 저항층(240);으로 이루어진 상판(200); 및 하판(100)과 상판(200)을 결합하는 결합층(300);을 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 촉각센서가 개시된다.
Int. CL G01R 27/00 (2006.01) G01L 9/02 (2006.01) G01N 27/04 (2006.01) G01L 1/20 (2006.01)
CPC G01L 9/06(2013.01) G01L 9/06(2013.01) G01L 9/06(2013.01) G01L 9/06(2013.01) G01L 9/06(2013.01)
출원번호/일자 1020100069958 (2010.07.20)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1222028-0000 (2013.01.08)
공개번호/일자 10-2012-0009678 (2012.02.02) 문서열기
공고번호/일자 (20130114) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.20)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종호 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김문종 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)
2 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0467383-73
2 보정요구서
Request for Amendment		 2010.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0067136-24
3 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)		 2010.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0486019-69
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.12.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.01.16 수리 (Accepted) 9-1-2012-0004070-39
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0254395-07
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.06.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0497971-26
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0497970-81
9 등록결정서
Decision to grant		 2012.10.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0596906-60
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
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번호 청구항
1 1
금속시트를 이용하여 제 1 금속층(150)을 생성하는 제 1 단계(S110);상기 제 1 금속층(150)의 일면에 신호선을 형성하는 제 1 신호선(120) 및 전극을 형성하는 제 1 전극층(130)을 생성하는 제 2 단계(S120);상기 제 1 전극층(130)의 일면에 신축성 있는 제 1 고분자층(110)을 증착하는 제 3 단계(S130);상기 제 1 금속층(150)을 식각하여 필름을 제거하는 제 4 단계(S140);상기 제 1 전극층(130)을 패터닝 하는 제 5 단계(S150); 및상기 패터닝 된 제 1 전극층(130)의 일면에 외부의 작용힘(Fin)의 변화에 따라 저항값이 변하는 제 1 저항층(140)을 증착하는 제 6 단계(S160);로 이루어지는 하판(100) 제조단계(S100);상기 금속시트를 이용하여 제 2 금속층(250)을 생성하는 제 7 단계(S210);상기 제 2 금속층(250)의 일면에 신호선을 형성하는 제 2 신호선(220) 및 전극을 형성하는 제 2 전극층(230)을 생성하는 제 8 단계(S220);상기 제 2 전극층(230)의 일면에 신축성 있는 제 2 고분자층(210)을 증착하는 제 9 단계(S230);상기 제 2 금속층(250)을 식각하여 상기 필름을 제거하는 제 10 단계(S240);상기 제 2 전극층(230)을 패터닝 하는 제 11 단계(S250); 및상기 패터닝 된 제 2 전극층(230)의 일면에 외부의 작용힘(Fin)의 변화에 따라 저항값이 변하는 제 2 저항층(240)을 증착하는 제 12 단계(S260);로 이루어지는 상판(200) 제조단계(S200); 및상기 상판(200)과 상기 하판(100)을 결합층(300)에 의해 결합하는 제 13 단계(S300);를 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 촉각센서의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 하판(100) 제조단계(S100)와 상기 상판(200) 제조단계(S200)는 순서를 바꾸어서 수행할 수 있는 것을 특징으로 하는 신축성 촉각센서의 제조방법
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 1 전극층(130) 또는 상기 제 2 전극층(230)은 신축성을 갖도록 물결무늬 패턴으로 이루어진 것을 특징으로 하는 신축성 촉각센서의 제조방법
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 1 전극층(130) 또는 제 2 전극층(230)은 복수로 구비되어 매트릭스 배열되는 것을 특징으로 하는 신축성 촉각센서의 제조방법
5 5
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 5 단계(S150) 또는 상기 제 11 단계(S250)는 O2 플라즈마를 이용한 노광공정을 통해 Graphene 패터닝 하는 것을 특징으로 하는 신축성 촉각센서의 제조방법
6 6
금속시트를 이용하여 생성된 제 1 금속층(150)을 패터닝하여 생성하는 제 1 단계(S410);상기 제 1 금속층(150)의 일면에 신호선을 형성하는 제 1 신호선(120) 및 전극을 형성하는 제 1 전극층(130)을 생성하는 제 2 단계(S420);상기 제 1 전극층(130)의 일면에 신축성 있는 제 1 고분자층(110)을 증착하는 제 3 단계(S430);상기 제 1 금속층(150)을 식각하여 필름을 제거하는 제 4 단계(S440);상기 제 1 전극층(130)의 일면에 외부의 작용힘(Fin)의 변화에 따라 저항값이 변하는 제 1 저항층(140)을 증착하는 제 5 단계(S450);로 이루어지는 하판(100)제조단계(S400);상기 금속시트를 이용하여 생성된 제 2 금속층(250)을 패터닝하여 생성하는 제 6 단계(S510);상기 제 2 금속층(250)의 일면에 신호선을 형성하는 제 2 신호선(220) 및 전극을 형성하는 제 2 전극층(230)을 생성하는 제 7 단계(S520);상기 제 2 전극층(230)의 일면에 신축성 있는 제 2 고분자층(210)을 증착하는 제 8 단계(S530);상기 제 2 금속층(150)을 식각하여 상기 필름을 제거하는 제 9 단계(S540);상기 제 2 전극층(230)의 일면에 외부의 작용힘(Fin)의 변화에 따라 저항값이 변하는 제 2 저항층(240)을 증착하는 제 10 단계(S550);로 이루어지는 상판(200) 제조단계(S500); 및상기 상판(200)과 상기 하판(100)을 결합층(300)에 의해 결합하는 제 11 단계(S600);를 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 촉각센서의 제조방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 하판(100) 제조단계(S400)와 상기 상판(200) 제조단계(S500)는 순서를 바꾸어서 수행할 수 있는 것을 특징으로 하는 신축성 촉각센서의 제조방법
8 8
제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 제 1 전극층(130) 또는 상기 제 2 전극층(230)은 신축성을 갖도록 물결무늬 패턴으로 이루어진 것을 특징으로 하는 신축성 촉각센서의 제조방법
9 9
제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 제 1 전극층(130) 또는 제 2 전극층(230)은 복수로 구비되어 매트릭스 배열되는 것을 특징으로 하는 신축성 촉각센서의 제조방법
10 10
제 1 항, 제 2 항, 제 6 항 및 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 금속시트는 Cu 필름 또는 Ni 필름을 이용하는 것을 특징으로 하는 신축성 촉각센서의 제조방법
11 11
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.