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전자기 유도 공중 부양을 이용한 그래핀 전사 방법

  • 기술번호 : KST2015179900
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 그래핀 전사 방법을 제공한다.이 그래핀 전사 방법은 전자기 공중 부양법을 사용하여 공중 부양된 상태에서 그래핀 박막을 어닐링하는 단계, 및 그래핀 박막을 공중 부양된 상태에서 기판을 그래핀 박막과 접촉시켜 전사하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) C23C 16/26 (2006.01)
CPC C23C 16/26(2013.01) C23C 16/26(2013.01) C23C 16/26(2013.01) C23C 16/26(2013.01)
출원번호/일자 1020120088126 (2012.08.13)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1446069-0000 (2014.09.24)
공개번호/일자 10-2014-0022489 (2014.02.25) 문서열기
공고번호/일자 (20141002) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.13)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이주인 대한민국 대전 유성구
2 김원동 대한민국 대전 유성구
3 김정형 대한민국 대전광역시 유성구
4 황찬용 대한민국 서울특별시 강남구
5 신용현 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이평우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-0643682-73
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2013-0236610-06
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.06.28 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2013-0067557-17
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0199382-58
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.04.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0356849-15
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2014-0356819-56
9 등록결정서
Decision to grant
2014.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0575798-57
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
전자기 공중 부양법을 사용하여 공중 부양된 상태에서 그래핀 박막을 어닐링하는 단계; 및상기 그래핀 박막을 공중 부양된 상태에서 기판을 상기 그래핀 박막과 접촉시켜 전사하는 단계를 포함하고,상기 그래핀 박막을 어닐링하기 전에 금속 기판 상에 전자기 공중 부양 장치 내에서 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용하여 상기 그래핀 박막을 형성하는 단계; 및상기 그래핀 박막 형성 후, 상기 금속 기판 상에 형성된 상기 그래핀 박막을 전자기 부양 장치 내에서 공중 부양시키고 유도 가열하여 상기 금속 기판을 용융하여 증발시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 전사 방법
3 3
제2 항에 있어서,상기 금속 기판은 구리, 니켈, 또는 코발트인 것을 특징으로 하는 그래핀 전사 방법
4 4
제2 항에 있어서,상기 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용하여 상기 그래핀 박막을 형성하는 동안, 상기 금속 기판의 온도는 섭씨 600 도 내지 섭씨 800 도인 것을 특징으로 하는 그래핀 전사 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국표준과학연구원 첨단융합기술개발 우주 모사 환경 발생 및 정밀 제어 기반 신공정 기술 개발