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입자 분포 측정 및 교정용 모듈을 가지는 입자 복합특성 측정장치

  • 기술번호 : KST2015179926
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의한 입자 분포 측정 및 교정용 모듈을 가지는 입자 복합특성 측정장치는 공기역학 렌즈를 포함하는 입자 집속유닛; 일단이 상기 입자 집속유닛과 연결되고, 중진공(1 내지 10-3Torr)으로 내부 압력이 제어되며, 타단에 노즐이 형성되어 상기 입자 집속유닛을 통해 유입된 입자를 가속시키는 제 1 챔버; 일단이 상기 제 1 챔버의 노즐과 연결되며, 고진공(10-3 내지 10-7Torr)으로 내부 압력이 제어되면서 내부에 상기 제 1 챔버에서 가속된 입자를 하전 시키는 전자총이 설치되는 제 2 챔버; 일단이 상기 제 2 챔버와 연결되며, 내부에 특정 전압을 인가하여, 상기 전자 총에서 포화상태까지 하전 된 입자들 중 특정 크기의 입자만을 분류하는 정전편향장치가 설치되는 제 3 챔버; 상기 제 1 및 제 2 챔버와 배기유로로 연결되어, 상기 제 1 및 제 2 챔버 내부의 기체를 외부로 배출하는 하나의 펌프; 일단이 상기 제 3 챔버와 수직으로 연결되며, 내부에 입자 포집장치가 설치되는 제 4 챔버; 및 상기 입자 포집장치와 정전편향장치 사이의 하전입자 이동 경로 상 또는 입자 포집장치 대신에 설치 되어 상기 하전입자의 이동 방향과 수직한 가상의 평면 상에서 이동 및 기울임이 가능하게 배치되며, 상기 입자 포집장치 보다 작은 지름을 가지는 입자 감지유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G01N 15/02 (2006.01) G01N 15/14 (2006.01)
CPC G01N 15/0266(2013.01) G01N 15/0266(2013.01) G01N 15/0266(2013.01)
출원번호/일자 1020130011028 (2013.01.31)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1378301-0000 (2014.03.20)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140328) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.31)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강상우 대한민국 대전 유성구
2 신용현 대한민국 대전 유성구
3 김태성 대한민국 서울 강남구
4 문지훈 대한민국 대전 유성구
5 윤주영 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2013-0093856-54
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0355145-89
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0883148-57
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-0136797-35
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.02.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0136803-22
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0189891-07
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
공기역학 렌즈를 포함하는 입자 집속유닛;일단이 상기 입자 집속유닛과 연결되고, 중진공(1 내지 10-3Torr)으로 내부 압력이 제어되며, 타단에 노즐이 형성되어 상기 입자 집속유닛을 통해 유입된 입자를 가속시키는 제 1 챔버;일단이 상기 제 1 챔버의 노즐과 연결되며, 고진공(10-3 내지 10-7Torr)으로 내부 압력이 제어되면서 내부에 상기 제 1 챔버에서 가속된 입자를 하전 시키는 전자총이 설치되는 제 2 챔버;일단이 상기 제 2 챔버와 연결되며, 내부에 특정 전압을 인가하여, 상기 전자 총에서 포화상태까지 하전 된 입자들 중 특정 크기의 입자만을 분류하는 정전편향장치가 설치되는 제 3 챔버; 상기 제 1 및 제 2 챔버와 배기유로로 연결되어, 상기 제 1 및 제 2 챔버 내부의 기체를 외부로 배출하는 하나의 펌프;일단이 상기 제 3 챔버와 수직으로 연결되며, 내부에 입자 포집장치가 설치되는 제 4 챔버; 및상기 입자 포집장치와 정전편향장치 사이의 하전입자 이동 경로 상에 상기 하전입자의 이동 방향과 수직한 가상의 평면 상에서 이동 가능하게 배치되며, 상기 입자 포집장치 보다 작은 지름을 가지는 입자 감지유닛;을 포함하는 입자 분포 측정 및 교정용 모듈을 가지는 입자 복합특성 측정장치
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삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 입자 감지유닛은,상기 입자 포집유닛의 지름 방향으로 이동하는 입자 분포 측정 및 교정용 모듈을 가지는 입자 복합특성 측정장치
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 입자 감지유닛은,상기 입자 포집유닛의 일측 끝단에서 타측 끝단으로 1회 이동하여 하전입자의 분포를 감지하는 입자 분포 측정 및 교정용 모듈을 가지는 입자 복합특성 측정장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 입자 감지유닛은,상기 제 4 챔버에 설치되는 입자 분포 측정 및 교정용 모듈을 가지는 입자 복합특성 측정장치
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 입자 감지유닛은,상기 입자 포집유닛의 영역 내부에서 직선 및 기울임 운동 중 적어도 하나 이상의 움직임을 통해 하전입자의 분포를 감지하는 입자 분포 측정 및 교정용 모듈을 가지는 입자 복합특성 측정장치
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 입자 감지유닛은,상기 정전편향장치의 보정이 완료되면 설치 위치에서 제거되는 입자 분포 측정 및 교정용 모듈을 가지는 입자 복합특성 측정장치
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 입자 감지유닛은,상기 입자 포집장치를 제거한 후 그 위치에 설치되는 입자 분포 측정 및 교정용 모듈을 가지는 입자 복합특성 측정장치
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 정전편향장치는,각도 조절 가능하게 설치되는 입자 분포 측정 및 교정용 모듈을 가지는 입자 복합특성 측정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국표준과학연구원 첨단융합기술개발 우주 모사 환경 발생 및 정밀 제어 기반 신공정 기술 개발