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증발 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015179949
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 증발 증착 장치 및 그 동작 방법을 제공한다. 이 증발 증착 장치는 증발물질을 수납하는 제1 케비티, 제1 케비티와 연결통로를 통하여 증기를 제공받는 제2 케비티, 및 제2 케비티에 형성되고 증기를 점원(point source)에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하고 도전체로 형성된 증발기, 도전체로 형성되고 출구에 연결되고 점점 직경이 증가하는 관통홀을 포함하는 반사 노즐, 반사 노즐 및 증발기를 감싸는 유도 코일, 및 유도 코일에 교류 전력을 인가하는 교류 전원을 포함한다. 유도 코일은 증발기 및 반사 노즐을 유도 가열하여 상기 증발 물질을 증발시키고, 증기는 반사 노즐을 통하여 토출된다.
Int. CL H05B 33/10 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020130039747 (2013.04.11)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1465615-0000 (2014.11.20)
공개번호/일자 10-2014-0122838 (2014.10.21) 문서열기
공고번호/일자 (20141127) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.04.11)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이주인 대한민국 대전 유성구
2 김정형 대한민국 대전광역시 유성구
3 유용심 대한민국 대전 유성구
4 유신재 대한민국 대전 유성구
5 신용현 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이평우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.04.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-0314672-23
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.03.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.04.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0027200-31
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0284835-12
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2014-0455491-18
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.05.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0455482-18
8 등록결정서
Decision to grant		 2014.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0712622-67
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
증발물질을 수납하는 제1 케비티, 상기 제1 케비티와 연결통로를 통하여 증기를 제공받는 제2 케비티, 및 상기 제2 케비티에 형성되고 상기 증기를 점원(point source)에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하는 도전체로 형성된 증발기; 도전체로 형성되고 상기 출구에 연결되는 관통홀을 포함하는 반사 노즐;상기 반사 노즐 및 상기 증발기를 감싸는 유도 코일; 및상기 유도 코일에 교류 전력을 인가하는 교류 전원을 포함하고,상기 유도 코일은 상기 증발기 및 상기 반사 노즐을 유도 가열하여 상기 증발 물질을 증발시키고, 상기 증기는 상기 반사 노즐을 통하여 토출되는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 반사 노즐과 상기 증발기는 서로 용접되어 일체형인 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
3 3
제1 항에 있어서,상기 반사 노즐의 상기 관통홀은 원뿔 형상, 다각뿔 형상, 또는 곡률을 가진 원뿔 형상인 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
4 4
제1 항에 있어서,상기 제2 케비티의 상기 출구의 형상은 상기 반사 노즐의 상기 관통홀의 형상과 동일한 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
5 5
제1 항에 있어서,상기 유도 코일의 내부에 배치되고 진공 챔버에 형성된 챔버 관통홀 상에 장착되어 내부에 진공을 유지하면서 상기 증발기를 감싸는 유전체 용기를 더 포함하고,상기 유전체 용기는 상기 진공 챔버의 외부로 돌출되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
6 6
제5 항에 있어서,상기 유전체 용기의 내부에서 상기 증발기 또는 상기 반사 노즐을 지지하고 진공 챔버에 형성된 챔버 관통홀에 걸치는 유전체 재질로 형성된 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
7 7
제5 항에 있어서,상기 증발기와 상기 유전체 용기 사이에 배치된 가스 분배부를 더 포함하고,상기 가스 분배부는 상기 유전체 용기와 상기 증발기 사이에 불활성 가스를 제공하고, 상기 불활성 가스는 상기 반사 노즐의 하부면에 제공되는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
8 8
제1 항에 있어서,상기 관통홀의 중심축과 내부 표면 사이의 경사각은 35 도 내지 55 도 인 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
9 9
제1 항에 있어서,상기 유도 코일의 단위 길이당 권선수는 상기 증발기 주위보다 상기 반사 노즐 주위에서 더 많은 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
10 10
제1 항에 있어서,상기 증발기의 외경은 상기 반사 노즐의 외경보다 같거나 큰 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
11 11
제1 항에 있어서,상기 증발기는 원기둥 형상이고,상기 제1 케비티는 중심 부위가 돌출된 돌출부를 포함하는 원통 형상이고,상기 연결통로는 상기 돌출부를 관통하여 형성되고,상기 제2 케비티는 구 형상 또는 원통 형상이고,상기 연결 통로는 상기 제2 케비티의 중심에 배치되고,상기 증발기는 상기 제2 케비티와 상기 연결통로의 연결 부위 주위에 배치된 베플을 더 포함하고,상기 증기는 하향식으로 토출되는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
12 12
제1 항에 있어서,상기 증발기는 원기둥 형상이고,상기 제1 케비티는 원통 형상이고,상기 제2 케비티는 구 형상 또는 원통 형상이고,상기 연결 통로는 상기 제1 케비티의 가장 자리에 배치되고,상기 증기는 측향식으로 토출되는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
13 13
제1 항에 있어서,상기 증발기는 원기둥 형상이고,상기 제1 케비티는 가장 자리에 형성된 돌출부를 포함하는 원통 형상이고,상기 연결통로는 상기 돌출부를 관통하여 형성되고,상기 제2 케비티는 구 형상 또는 원통 형상이고,상기 증기는 하향식으로 토출되는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
14 14
제1 항에 있어서,상기 증발기는 원기둥 형상이고,상기 제1 케비티는 원통 형상이고,상기 제2 케비티는 구 형상 또는 원통 형상이고,상기 연결통로는 상기 제1 케비티의 중심에 형성되고,상기 증기는 상향식으로 토출되는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
15 15
제1 항에 있어서,상기 제1 케비티에 케리어 가스를 공급하는 파이프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
16 16
증발물질을 수납하는 제1 케비티, 상기 제1 케비티와 연결통로를 통하여 증기를 제공받는 제2 케비티, 및 상기 제2 케비티에 형성되고 상기 증기를 점원(point source)에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하고 유전체로 형성된 증발기; 상기 증발기를 감싸고 도전체로 형성된 가열블록;도전체로 형성되고 상기 출구에 연결되는 관통홀을 포함하는 반사 노즐;상기 반사 노즐 및 상기 증발기를 감싸는 유도 코일; 및상기 유도 코일에 교류 전력을 인가하는 교류 전원을 포함하고,상기 유도 코일은 상기 가열블록 및 상기 반사 노즐을 유도 가열하여 상기 증발 물질을 증발시키고, 상기 증기는 상기 반사 노즐을 통하여 토출되는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
17 17
증발물질을 수납하는 제1 케비티, 상기 제1 케비티와 연결통로를 통하여 증기를 제공받는 제2 케비티, 및 상기 제2 케비티에 형성되고 상기 증기를 점원(point source)에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하고 도전체로 형성된 증발기; 도전체로 형성되고 상기 출구에 연결되는 관통홀을 포함하는 반사 노즐; 상기 반사 노즐 및 상기 증발기를 감싸는 유도 코일; 및 상기 유도 코일에 교류 전력을 인가하는 교류 전원을 포함하고, 상기 유도 코일은 상기 증발기 및 상기 반사 노즐을 유도 가열하여, 상기 증발 물질을 증발시키고, 상기 증기는 상기 반사 노즐을 통하여 토출되는 증발 증착 장치의 동작 방법에 있어서,상기 증발기의 상기 출구 및 상기 연결 통로를 통하여 구슬 형태 또는 분말 형태의 증발물질을 상기 제1 케비티에 제공하는 단계;진공 용기에 상기 증발기를 장착하는 단계; 상기 증발기 및 상기 반사 노즐을 가열하여 상기 증발물질을 용융시키는 단계;및 상기 노즐을 통하여 기판에 증발 증착을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치의 동작 방법
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1 교육과학기술부 한국표준과학연구원 첨단융합기술개발 우주 모사 환경 발생 및 정밀 제어 기반 신공정 기술 개발