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증기를 제공받는 입구, 상기 입구의 주위에 배치되어 상기 증기의 방향을 전환하는 배플, 상기 증기를 반사시키는 구형 또는 타원형의 케비티, 및 상기 케비티에서 복수 회 반사 또는 산란된 상기 증기를 점원에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하는 적분구;내부에 증발물질이 담기고 제1 개구부를 통하여 증발된 증기를 상기 적분구의 입구에 제공하는 도가니; 및상기 적분구 및 도가니를 감싸도록 배치되어 상기 도가니 및 상기 적분구를 가열하는 가열부를 포함하고,상기 적분구는 도전성 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 가열부를 감싸고 상기 적분구의 출구 방향으로 개방된 일면을 가지는 전기를 통하지 않는 유도체 용기를 더 포함하고,상기 가열부는 상기 도가니 및 상기 적분구를 유도 가열하는 유도 코일인 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,측면에 형성된 제2 개구부를 포함하는 진공 용기를 더 포함하고,상기 적분구의 출구를 빠져나온 증기는 상기 제2 개구부에 대향하여 배치된 기판에 박막을 증착하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상부면에 형성된 제2 개구부를 포함하는 진공 용기를 더 포함하고,상기 적분구의 출구를 빠져나온 증기는 상기 제2 개구부에 대향하여 배치된 기판에 박막을 증착하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 케비티의 형상은 타원체이고, 상기 출구에서 토출하는 증기 플럭스는 상기 케비티의 중심축에서 멀어질수록 증가하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 적분구와 상기 도가니는 일체형인 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 적분구의 출구는 원뿔 형상의 내부 공간을 가지고,토출된 가장자리 부분의 증기 플럭스는 상기 출구의 내부 표면에 안쪽으로 반사되어 상기 증기의 토출 각도를 조절하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
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제2 항에 있어서,상기 유도 코일은 상기 도가니를 감싸는 제1 유도 코일 및 상기 적분구를 감싸는 제2 유도 코일을 포함하고,상기 제1 유도 코일에 연결된 제1 AC 전원 및 상기 제2 유도 코일에 연결된 제2 AC 전원을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 적분구는 상기 도가니의 하부에 배치되고,상기 도가니는:제1 높이를 가지는 원통형의 내벽;상기 제1 높이보다 높은 제2 높이를 가지고 상기 내벽의 주위를 감싸는 외벽;상기 외벽의 상부면을 덮는 뚜껑; 및상기 내벽과 상기 외벽 사이의 하부면을 연결하는 와셔 형태의 바닥판를 포함하고,상기 내벽의 안쪽으로 이동한 증기는 상기 내벽의 하부면에 형성된 상기 제1 개구부를 통하여 상기 적분구의 상부면에 형성된 상기 입구에 제공되는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
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제1 항에 있어서,상기 가열부를 감싸도록 배치되는 열 반사부; 상기 열 반사부를 감싸도록 배치되는 유전체 용기; 상기 적분구의 출구의 하부면에 배치된 와셔 형상의 받침부; 및상기 유전체 용기를 감싸도록 배치된 케이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발 증착 장치
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