| 1 |
1
폐 루프(closed loop) 형상의 자성층; 서로 대향하여 상기 폐 루프와 접하며, 전류가 입/출력되는 한 쌍의 전류단자; 서로 대향하여 상기 폐 루프와 접하며, 출력전압을 검출하는 한 쌍의 전압단자;상기 폐 루프(closed loop) 내부에, 상기 폐 루프와 동심을 이루며 상기 폐 루프와 일정 거리 이격된, 상기 폐 루프의 자성층과 동일한 물질로 이루어진 제2 자성층;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 자기센서
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,상기 한 쌍의 전압단자에서 출력되는 출력전압은 상기 자성층의 비등방성자기저항(AMR; anisotropic magneto-resistance) 및 평면홀저항(PHR; planar hall resistance)에 의한 것을 특징으로 하는 자기센서
|
| 3 |
3
제 2항에 있어서,상기 폐 루프는 원형 폐 루프, 타원형 폐 루프 또는 다각형 폐 루프인 것을 특징으로 하는 자기센서
|
| 4 |
4
제 3항에 있어서,상기 폐 루프는 원형 폐 루프이며, 상기 루프의 중심반경(r:radius)과 상기 루프의 폭(w :width)의 비(r/w ratio)에 의해, 상기 출력전압에 기여하는 비등방성자기저항에 의한 전압과 평면홀저항에 의한 전압의 비가 조절되는 것을 특징하는 자기센서
|
| 5 |
5
제 4항에 있어서,상기 루프의 중심반경(r:radius)과 상기 루프의 폭(w:width)의 비(r/w ratio)는 0
|
| 6 |
6
제 1항에 있어서,상기 한 쌍의 전류단자에서 선택된 한 단자와 상기 한 쌍의 전압단자에서 선택된 한 단자의 각도가 90˚인 대칭 구조인 것을 특징으로 하는 자기센서
|
| 7 |
7
제 1항에 있어서,상기 한 쌍의 전류단자에서 선택된 한 단자를 통한 입력 전류는 직류, 교류 또는 펄스인 것을 특징으로 하는 자기센서
|
| 8 |
8
제 2항에 있어서,상기 자성층은 교환결합력이 결부된 강자성(ferromagnetic) 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기센서
|
| 9 |
9
제 8항에 있어서,상기 자성층은 강자성(ferromagnetic) 박막을 포함하며, 반강자성(antiferromagnetic) 박막, 절연체 박막, 비자성 박막, 및 금속(metal) 박막에서 하나 이상 선택된 박막과 상기 강자성 박막이 적층된 다층박막인 것을 특징으로 하는 자기센서
|
| 10 |
10
제 9항에 있어서,상기 자성층은 강자성 박막과 반강자성 박막을 포함하는 다층박막; 강자성 박막, 금속 박막 및 강자성 박막을 포함하는 다층박막; 강자성 박막(I), 절연체 박막 및 강자성 박막(II)을 포함하는 다층박막; 또는 강자성 박막(I)-금속 박막-강자성 박막(II)-반강자성 박막을 포함하는 다층박막;인 것을 특징으로 하는 자기 센서
|
| 11 |
11
삭제
|
| 12 |
12
제 1항에 있어서,상기 자기센서는 상기 폐 루프(closed loop) 외부에, 상기 폐 루프, 상기 한쌍의 전류단자 각각 및 상기 한 쌍의 전압단자 각각과 일정 거리 이격된, 상기 폐 루프의 자성층과 동일한 물질로 이루어진 제3 자성층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 자기 센서
|
| 13 |
13
제 2항에 있어서,상기 자기센서는 자기장센서, 바이오센서, 투자율 센서, 비파괴 검사용 와전류센서, 자기장 이미징센서 또는 NMR(nuclear magnetic resonance)센서인 것을 특징으로 하는 자기 센서
|
| 14 |
14
제 2항에 있어서,상기 한 쌍의 전류단자에서 선택된 한 단자를 통한 입력 전류는 펄스이며, 상기 자기 센서는 3축 자기장 센서인 것을 특징으로 하는 자기 센서
|
| 15 |
15
제 2항에 있어서,상기 자기센서는 상기 자성층; 상기 한 쌍의 전류단자; 및 상기 한 쌍의 전압단자를 일 단위체로, 둘 이상의 상기 단위체가 배열된 것을 특징으로 하는 자기센서
|
