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검사 용액과 검사 용액에 포함되어 있는 측정대상물질이 위치하는 유로부;
광도파로 형태로 구성되고, 상기 유로부와 연결되며, 상기 유로부에 위치하는 상기 측정대상물질의 특성 정보가 포함된 제1검사광을 출사하는 센서부; 및
광도파로 형태로 구성되고, 상기 유로부와 연결되며, 상기 유로부에 위치하는 검사 용액의 특성 정보가 포함된 제2검사광을 출사하는 레퍼런스부;를 포함하고,
상기 센서부는,
상기 제1검사광이 입사되는 제1입사도파로;
상기 제1입사도파로와 경사지게 배치되고, 상기 제1검사광이 출사되는 제1출사도파로;
상기 제1입사도파로와 상기 제1출사도파로 사이에 배치되어, 상기 제1입사도파로를 통해 제1면으로 입사된 제1검사광을 상기 제1출사도파로로 반사시키는 제1전반사미러; 및
상기 제1전반사미러의 제2면에 위치하고, 상기 유로부와 연결되어 상기 제1전반사미러에 입사된 제1검사광에 의해 표면 플라즈마 파를 형성하고, 표면에 상기 측정대상물질과 반응하는 리셉터가 고정되어 있는 제1금속박막;을 구비하고,
상기 레퍼런스부는,
상기 제2검사광이 입사되는 제2입사도파로;
상기 제2입사도파로와 경사지게 배치되고, 상기 제2검사광이 출사되는 제2출사도파로;
상기 제2입사도파로와 상기 제2출사도파로 사이에 배치되어, 상기 제2입사도파로를 통해 제1면으로 입사된 제2검사광을 상기 제2출사도파로로 반사시키는 제2전반사미러; 및
상기 제2전반사미러의 제2면에 위치하고, 상기 유로부와 연결되어 상기 제2전반사미러에 입사된 제2검사광에 의해 표면 플라즈마 파를 형성하는 제2금속박막;을 구비하는 것을 특징으로 하는 자기참조 광도파로 센서 시스템
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검사 용액과 검사 용액에 포함되어 있는 측정대상물질이 위치하는 유로부;
광도파로 형태로 구성되고, 상기 유로부와 연결되며, 상기 유로부에 위치하는 상기 측정대상물질의 특성 정보가 포함된 제1검사광을 출사하는 센서부; 및
광도파로 형태로 구성되고, 상기 유로부와 연결되며, 상기 유로부에 위치하는 검사 용액의 특성 정보가 포함된 제2검사광을 출사하는 레퍼런스부;를 포함하고,
상기 센서부는,
제1검사광이 입사되는 제1입사도파로;
상기 제1입사도파로와 경사지게 배치되고, 상기 제1검사광이 출사되는 제1출사도파로; 및
상기 제1입사도파로와 상기 제1출사도파로 사이에 배치되되, 상기 제1입사도파로와 이루는 제1입사각도가 상기 제1검사광을 전반사시키는 제1전반사임계각보다 크게 배치되어 상기 제1입사도파로를 통해 제1면으로 입사된 제1검사광을 상기 제1출사도파로로 전반사시키고, 제2면 중 적어도 일부가 노출되어 상기 유로부와 연결되며, 상기 노출된 제2면에 상기 측정대상물질과 반응하는 리셉터가 고정되어 있는 제1전반사미러;를 구비하고,
상기 레퍼런스부는,
제2검사광이 입사되는 제2입사도파로;
상기 제2입사도파로와 경사지게 배치되고, 상기 제2검사광이 출사되는 제2출사도파로; 및
상기 제2입사도파로와 상기 제2출사도파로 사이에 배치되되, 상기 제2입사도파로와 이루는 제2입사각도가 상기 제2검사광을 전반사시키는 제2전반사임계각보다 크게 배치되어 상기 제2입사도파로를 통해 제1면으로 입사된 제2검사광을 상기 제2출사도파로로 전반사시키고, 제2면 중 적어도 일부가 노출되어 상기 유로부와 연결되는 제2전반사미러;를 구비하는 것을 특징으로 하는 자기참조 광도파로 센서 시스템
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검사 용액과 검사 용액에 포함되어 있는 측정대상물질이 위치하는 유로부;
광도파로 형태로 구성되고, 상기 유로부와 연결되며, 상기 유로부에 위치하는 상기 측정대상물질의 특성 정보가 포함된 제1검사광을 출사하는 센서부; 및
광도파로 형태로 구성되고, 상기 유로부와 연결되며, 상기 유로부에 위치하는 검사 용액의 특성 정보가 포함된 제2검사광을 출사하는 레퍼런스부;를 포함하고,
상기 센서부는,
상기 제1검사광이 입사되는 제1입사도파로;
상기 제1검사광이 출사되는 제1출사도파로;
상기 제1입사도파로와 상기 제1출사도파로의 사이에 배치되며, 일단은 상기 제1입사도파로의 출사구와 광결합되고, 타단은 상기 제1출사도파로의 입사구와 광결합되며, 표면 중 적어도 일부가 노출되어 상기 유로부와 연결되고, 상기 노출된 표면에 상기 측정대상물질과 반응하는 리셉터가 고정되어 있는 제1주도파로; 및
상기 제1입사도파로와 상기 제1출사도파로의 사이에 배치되며, 일단은 상기 제1입사도파로의 출사구와 광결합되고, 타단은 상기 제1출사도파로의 입사구와 광결합되는 제1보조도파로;를 구비하며,
상기 레퍼런스부는,
상기 제2검사광이 입사되는 제2입사도파로;
상기 제2검사광이 출사되는 제2출사도파로;
상기 제2입사도파로와 상기 제2출사도파로의 사이에 배치되며, 일단은 상기 제2입사도파로의 출사구와 광결합되고, 타단은 상기 제2출사도파로의 입사구와 광결합되며, 표면 중 적어도 일부가 노출되어 상기 유로부와 연결되는 제2주도파로; 및
상기 제2입사도파로와 상기 제2출사도파로의 사이에 배치되며, 일단은 상기 제2입사도파로의 출사구와 광결합되고, 타단은 상기 제2출사도파로의 입사구와 광결합되는 제2보조도파로;를 구비하는 것을 특징으로 하는 자기참조 광도파로 센서 시스템
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제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1검사광과 상기 제2검사광을 생성하여 방출하는 광원부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기참조 광도파로 센서 시스템
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제5항에 있어서,
상기 광원부는 광원과 Y-분기형(Y-branch) 광도파로를 구비하며, 상기 제1검사광과 상기 제2검사광은 각각 상기 Y-분기형 광도파로의 출력도파로를 통해 방출되는 것을 특징으로 하는 자기참조 광도파로 센서 시스템
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제6항에 있어서,
상기 Y-분기형 광도파로의 출력도파로를 통해 방출된 상기 제1검사광과 상기 제2검사광은 동일한 광의 세기를 갖는 것을 특징으로 하는 자기참조 광도파로 센서 시스템
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제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 출사된 제1검사광을 검출하고, 측정신호를 출력하는 제1광검출부; 및
상기 출사된 제2검사광을 검출하고, 참조신호를 출력하는 제2광검출부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기참조 광도파로 센서 시스템
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제8항에 있어서,
상기 제1광검출부와 상기 제2광검출부는 광다이오드(photo diode : PD)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 자기참조 광도파로 센서 시스템
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제9항에 있어서,
상기 광다이오드는 광도파로 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기참조 광도파로 센서 시스템
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제8항에 있어서,
상기 측정신호와 상기 참조신호의 차이를 분석하는 신호처리부를 더 포함하는 것을 특징으로 자기참조 광도파로 센서 시스템
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제11항에 있어서,
상기 신호처리부는 상기 측정신호와 상기 참조신호의 차이를 분석하기 위한 차동증폭기(differential amplifier)를 구비하는 것을 특징으로 하는 자기참조 광도파로 센서 시스템
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제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1입사도파로, 상기 제1출사도파로, 상기 제2입사도파로 및 상기 제2출사도파로는 폴리머(polymer), 산화실리콘(SiO2), 질화실리콘(SiNx), 화합물 반도체 및 광섬유 중에서 선택된 1종 이상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기참조 광도파로 센서 시스템
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제2항에 있어서,
상기 제1금속박막과 상기 제2금속박막은 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al) 중에서 선택된 1종 이상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기참조 광도파로 센서 시스템
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