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음성 자외선 감광재를 이용한 액정소자 후광장치용 도광판 금형 제조 방법
- 기술번호 : KST2015186689
- 담당센터 : 대구기술혁신센터
- 전화번호 : 053-550-1450
| 요약 | 본 발명은 음성 자외선 감광재를 이용한 액정소자 후광장치용 금형 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 음성 자외선 감광재를 이용한 액정소자 후광장치용 금형의 제조 방법에 있어서; 기판 상부에 음성 자외선 감광재를 도포하는 단계와; 자외선 마스크 패턴에 자외선을 경사노광하여 상기 음성 자외선 감광재에 전사시키는 단계와; 상기 음성 자외선 감광재를 현상하여 상기 기판 상부에 패턴을 형성하는 단계와; 상기 기판 상부의 패턴 형상을 따라 금속층을 전기도금하여 일정 두께로 형성하는 단계와; 상기 기판 및 음성 자외선 감광재를 제거하여 상기 금속층으로 이루어진 금형을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서 음성 자외선 감광재를 이용한 자외선 노광 기법으로 가공함으로써 표면 거칠기가 우수하며 다양한 형태의 액정소자 후광장치용 금형을 만들 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 액정소자 후광장치용 금형 공정의 재현성이 높고, 기존의 반도체 장비 등을 이용할 수 있으므로 대량생산이 가능하며, 단가가 매우 저렴한 효과가 있다. |
|---|---|
| Int. CL | G02F 1/13357 (2006.01) |
| CPC | G02F 1/133615(2013.01) G02F 1/133615(2013.01) G02F 1/133615(2013.01) G02F 1/133615(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020020021869 (2002.04.22) |
| 출원인 | 학교법인 포항공과대학교 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2003-0083361 (2003.10.30) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 거절 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2002.04.22) |
| 심사청구항수 | 4 |