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고진공 분광현미경 챔버에 장착되어 금속 또는 반도체 등의 시료 처리를 용이하게 하기 위한 시료 홀더에 있어서, 시료가 부착되는 판 부재; 개별적으로 전원이 인가되도록 4개로 분리된 4개의 전극 부재; 및 상기 각 전극 부재의 전기적 접촉성과 내진성 및 위치 재현성을 좋게 하기 위한 홀더 날개 및 판스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 4전극 분리형 시료 홀더
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제1항에 있어서, 상기 시료 홀더가 진공 내에서 다양한 시료처리를 하도록 삽입 또는 분리되는 하우징을 더 포함하고, 상기 하우징은 스테인레스 재료로 제작되는 것을 특징으로 하는 4전극 분리형 시료 홀더
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제1항에 있어서, 상기 시료 홀더의 탈착없이 탐사광원의 정렬을 확인하도록 하기 위한 구멍이 시료 홀더 형성된 것을 특징으로 하는 4전극 분리형 시료 홀더
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제1항에 있어서, 상기 시료 홀더는 세라믹으로 제작되고, 상기 전극 부재는 스테인레스로 제작되는 것을 특징으로 하는 4전극 분리형 시료 홀더
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제4항에 있어서, 상기 스테인레스 전극부재 상에 몰리브덴 부재가 탑재되고, 전자빔으로 상기 시료의 열처리를 용이하도록 하기 위한 텅스텐 필라멘트가 마련되고, 상기 시료에의 전기적 접촉성과 시료 고정성 및 고온 내구성을 좋게 하기 위한 탄탈륨 판이 마련되는 것을 특징으로 하는 4전극 분리형 시료 홀더
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제4항에 있어서, 상기 스테인레스 전극부재 상에 몰리브덴 부재가 탑재되고, 전자빔으로 상기 시료의 열처리를 용이하도록 하기 위한 텅스텐 필라멘트가 마련되고, 상기 시료에의 전기적 접촉성과 시료 고정성 및 고온 내구성을 좋게 하기 위한 탄탈륨 판이 마련되는 것을 특징으로 하는 4전극 분리형 시료 홀더
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