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ＵＶ경화성수지 시편의 제작 방법
- 기술번호 : KST2015186926
- 담당센터 : 대구기술혁신센터
- 전화번호 : 053-550-1450
| 요약 | 본 발명은 UV 나노임프린트(nanoimprint) 공정에서 사용되는 UV경화성수지에 대한 실시간 경화도 측정시스템에 사용되는 UV경화성 수지 시편의 제작방법에 관한 것으로, 적외광이 흡수되지 않는 재료를 틀에 넣고 압축하여 얇은 적외선투과창을 두장 준비하는 제 1 단계; 한장의 상기 적외선투과창상에 UV경화성수지 시료를 코팅하는 제 2 단계; 다른 한장의 상기 적외선투과창으로 코팅된 상기 UV경화성수지 시료를 덮는 제 3 단계;를 포함한다.UV, 경화성, 수지, 경화도, FTIR, 나노임프린트, 리소그래피 |
|---|---|
| Int. CL | G01N 21/3563 (2014.01) |
| CPC | G01N 21/3563(2013.01) G01N 21/3563(2013.01) G01N 21/3563(2013.01) G01N 21/3563(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020050070326 (2005.08.01) |
| 출원인 | 학교법인 포항공과대학교 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2005-0088948 (2005.09.07) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 거절 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | 10-2003-0073477 (2003.10.21) |
| 관련 출원번호 | 1020030073477 |
| 심사청구여부/일자 | Y (2005.08.01) |
| 심사청구항수 | 5 |