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수소 분자를 수소 원자로 해리시킬 수 있는 전기 전도성 촉매 금속으로 이루어진 게이트 전극;상기 게이트 전극 하부에 배치된 채널층;상기 채널층과 접촉하는 소스 전극;상기 소스 전극과 이격되고 상기 채널층과 접촉하는 드레인 전극;상기 게이트 전극과 상기 채널층 사이에 배치된 게이트 절연막; 및상기 게이트 전극과 상기 게이트 절연막 사이에 배치되고, 수소 원자를 트랩할 수 있는 물질로 형성된 수소 트랩층을 포함하고,상기 수소 트랩층은 수소화된 금속산화물계 물질 또는 수소화된 금속질화물계 물질로 형성되며,상기 게이트 전극으로부터 제공된 수소 원자와의 흡착 및 탈착 반응에 의해 야기되는 상기 수소 트랩층의 정전용량 변화에 따라 상기 채널층을 흐르는 전류가 변화하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제1항에 있어서, 상기 촉매 금속은 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 이리듐(Ir), 로듐(Rh), 실버(Ag), 금(Au), 코발트(Co) 및 이들의 합금으로 이루어진 그룹에서 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제1항에 있어서, 상기 금속산화물계 물질은 백금 산화물(Platinum oxide), 팔라듐 산화물(Palladium oxide), 로듐 산화물(Rhodium oxide), 루테늄 산화물(Ruthenium oxide), 베릴륨 산화물(Beryllium oxide), 망간 산화물(Manganese oxide), 구리 산화물(Copper oxide), 철 산화물(Iron oxide), 니켈 산화물(Nickel oxide), 코발트 산화물(Cobalt oxide), 세륨 산화물(Cerium oxide), 실버 산화물(silver oxide) 및 지르코늄 산화물(zirconium oxide)로 이루어진 그룹에서 선택된 하나 이상을 포함하고,상기 금속질화물계 물질은 보론 질화물(Boron nitride)을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제1항에 있어서, 상기 드레인 전극에 전기적으로 연결되어 상기 채널층을 흐르는 전류를 측정하는 제1 분석회로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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제1항에 있어서, 상기 게이트 전극 및 상기 채널층에 전기적으로 연결되어 상기 수소 트랩층 및 상기 게이트 절연막의 정전용량 변화를 측정하는 제2 분석회로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출 센서
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