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연속흐름마이크로반응법을 이용한 황화구리 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015190412
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 연속흐름마이크로반응법(CMF)을 이용한 황화구리 박막의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 본 발명은 (i) 기판을 세정하는 단계(제1단계); (ii) 황산구리(II), 트리에탄올아민 및 초산나트륨을 물에 용해시켜 구리 전구체 용액을 준비하는 단계(제2단계); (iii) 수산화암모늄과 치오우레아를 물에 용해시켜 황 전구체 용액을 준비하는 단계(제3단계); (iv) 상기 구리 전구체 용액과 상기 황 전구체 용액을 마이크로반응기에서 혼합하여 혼합물을 준비하는 단계(제4단계); 및 (v) 가열된 기판 상에 상기 혼합물을 충돌시켜 증착하는 단계(제5단계)를 포함하는, 연속흐름마이크로반응법(CMF)을 이용한 황화구리 박막의 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/042 (2006.01) H01L 31/0216 (2006.01)
CPC H01L 31/0445(2013.01)
출원번호/일자 1020120019868 (2012.02.27)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0098057 (2013.09.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.27)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류시옥 대한민국 경북 경산시 강변서로 ***,
2 정지영 대한민국 경북 구미시
3 이진영 대한민국 대구 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0159395-09
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.08.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0558298-52
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.09.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0858835-83
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0858838-19
5 [지정기간단축]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Reduction of Designated Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2013.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2013-0862477-80
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0801379-97
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0056503-86
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0166939-70
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.02.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0166938-24
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-5029868-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2014-5037590-23
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0333679-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(i) 기판을 세정하는 단계(제1단계); (ii) 구리 공급원, 트리에탄올아민 및 초산나트륨을 물에 용해시켜 구리 전구체 용액을 준비하는 단계(제2단계); (iii) 수산화암모늄과 황 공급원을 물에 용해시켜 황 전구체 용액을 준비하는 단계(제3단계); (iv) 상기 구리 전구체 용액과 상기 황 전구체 용액을 마이크로반응기에서 혼합하여 혼합물을 준비하는 단계(제4단계); 및 (v) 가열된 기판 상에 상기 혼합물을 충돌시켜 증착하는 단계(제5단계)를 포함하는, 연속흐름마이크로반응법(CMF)을 이용한 황화구리 박막의 제조방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 황화구리는 x값이 1≤x≤2인 CuxS인, 연속흐름마이크로반응법(CMF)을 이용한 황화구리 박막의 제조방법
3 3
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 구리 공급원은 황산구리, 염화구리, 질산구리 또는 초산구리 수화물에서 선택된 어느 하나인, 연속흐름마이크로반응법(CMF)을 이용한 황화구리 박막의 제조방법
4 4
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 황 공급원은 치오우레아, 치오황산나트륨, 황화나트륨 또는 황화수소에서 선택된 어느 하나인, 연속흐름마이크로반응법(CMF)을 이용한 황화구리 박막의 제조방법
5 5
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 제1단계는 (i) 기판을 농 수산화나트륨 용액에서 가열하여 세정하는 단계; 및 (ii) 기판에 초순수물을 가하여 초음파 세정하는 단계를 포함하는, 연속흐름마이크로반응법(CMF)을 이용한 황화구리 박막의 제조방법
6 6
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 제5단계는 100 내지 200℃로 가열된 기판 상에 상기 혼합물을 1 내지 10 mL/초의 유속으로 1 내지 10분 동안 충돌시켜 증착시키는, 연속흐름마이크로반응법(CMF)을 이용한 황화구리 박막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 영남대학교 일반연구자지원사업 연속흐름반응기를 이용한 용액공정에서의 화합물 박막형 태양전지용 CIGS 광흡수 층 및 Cd-free 버퍼층 증착기술 개발