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마그네틱 홀더 부착형 와이어 쏘우 머시인

  • 기술번호 : KST2015198248
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체용 웨이퍼, 태양전지용 웨이퍼, 엘이디(LED)용 웨이퍼를 제작하는 과정에 얇게 판형으로 자르는 공정에서 미세한 굵기의 와이어로 원하는 두께의 피치로 감아 회전시키고 그 위로 소정의 피 가공물을 통과시키며 절삭하여 원하는 두께의 목적물을 만들어 내는 공정에 적용하기 위한 것으로 통상 장치의 구성을 살펴보면 많은 구동 롤로 구성된 와이어 공급 및 회수장치부와 잉곳을 가공하는 가공부로 나뉠 수 있다. 이러한 장치는 여러 가지 원인에 의하여 와이어가 단선되는 사고가 발생되는데, 이는 통상 와이어의 텐션 조절장치의 결함이나 와이어 자체의 불량 혹은 가공부의 절단 조건의 변화, 작업자의 실수 등으로 나타난다. 이러한 원인들로 인한 와이어의 단선은 와이어 전체를 교환해야 할 뿐 아니라 고가의 잉곳을 폐기해야하고 작업의 진행 정도에 따라 슬러리도 교환해야 하는 등의 문제가 있었다. 특히 전체 시스템을 처음부터 진행해야 하므로 작업 준비시간도 많이 소요되어 근로 시간이 남았음에도 불구하고 작업 진행을 하지 못하여 장치의 가동을 중단하고 다음 작업일로 미루게 되어 가동률 또한 낮아지게 되는 등 채산성이 악화되는 원인이 되기도 한다. 따라서 본 발명은 와이어 공급 및 회수장치부와 잉곳을 가공하는 가공부 사이에 마그네틱 홀더를 새로이 구성하여 어느 편의 와이어 단선에도 와이어의 흐트러짐이 없이 고정할 수 있게 되어 와이어 단선으로 인한 시간과 노력을 반감할 수 있을 뿐 아니라 와이어의 교환이나 장치의 작업 준비 등의 상황에도 와이어를 견고히 고정하여 효과적으로 활용할 수 있는 마그네틱 홀더를 이용한 와이어 순간 단선에 대한 와이어 쏘우 장치를 제공한다.와이어 쏘우 머시인(Wire Saw Machine), 메인 스핀들(Main Spindle), 마그네틱 홀더(Magnetic Holder), 단선대책, 권취롤(Rewinder), 권출롤(Unwinder)
Int. CL H01L 21/301 (2014.01) H01L 33/02 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 21/67167(2013.01)
출원번호/일자 1020100002919 (2010.01.11)
출원인 금오공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1123727-0000 (2012.02.28)
공개번호/일자 10-2010-0013341 (2010.02.09) 문서열기
공고번호/일자 (20120320) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.01.11)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 금오공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노승훈 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김순웅 대한민국 서울시 구로구 디지털로**길 **, ***호 (구로동,에이스테크노타워*차)(정진국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 금오공과대학교 산학협력단 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-5001283-48
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2010.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2010-0169401-06
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.05.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.06.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0052068-72
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0415897-57
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0741129-88
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.09.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-5028459-98
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0108959-12
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2013-5177397-22
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2014-5047711-41
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2015-5157879-38
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5079599-14
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
권출롤(35)에 감겨져 있는 와이어(20)가 트레버스(37)에 의해 안내되어 가이드롤(38)을 통하여 와이어의 장력을 감지하여 조절하는 댄서롤(40)을 거쳐 위치의 상하 이동이 가능한 어드저스트롤(45)을 거친 후 2차 와이어 장력 감지 장치인 로드셀(50)을 거친 후 잉곳 가공부로 와이어(20)가 이송되며, 잉곳 가공부로 공급된 와이어는 보조스핀들(26)을 거쳐 와이어의 이송방향(30)으로 메인스핀들(25)까지 연속적인 회전을 통하여 다수의 와이어(20)가 감기게 되고, 고속으로 주행하는 와이어 위로 휘더(15) 및 잉곳홀더(16)에 의해 부착되어진 잉곳(10)이 휘더 이송방향(5)으로 진행하면서 잉곳(10)의 절삭이 이루어지게 되고 소정의 절삭을 마친 와이어(20)는 다시 와이어 회수부로 이송되어 권취롤(36)에 감기게 되는 마그네틱 홀더 부착형 와이어 쏘우 머시인에 있어서,마그네틱 홀더(55)는 힌지(54)에 의해 회전하며 와이어(20)가 지날 수 있는 와이어 가이드(51)가 형성되는 한 쌍의 가이드 브라켓(52)과, 상기 가이드 브라켓의 내면에 부착되는 상하의 마그네틱(53)으로 구성된 것으로, 와이어 공급 및 회수부와 잉곳 가공부의 사이의 로드셀(50) 주변에 상기 마그네틱 홀더(55)를 설치하여 상하의 가이드 브라켓(52)이 닫힌 상태로 와이어 가이드(51)를 따라 와이어(20)가 이송이 되고 설정된 와이어 장력 값이 미달되거나 초과 시 댄서롤(40) 또는 로드셀(50)에서 이를 감지하여 상기 마그네틱 홀더 부착형 와이어 쏘우 머시인의 가동을 제어하는 동시에 마그네틱 홀더(55)의 마그네틱에 전원을 인가하여 벌려져 있던 마그네틱이 닫히는 것을 특징으로 하는 마그네틱 홀더 부착형 와이어 쏘우 머시인
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.