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주름진 선형 미세구조체의 전사방법

  • 기술번호 : KST2015199373
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 의한 주름진 선형 미세구조체의 전사방법은, (a) 확장된 탄성체 기판 위에 선형 미세구조체를 형성하는 단계, (b) 탄성체 기판을 수축시켜 미세구조체에 주름을 형성하는 단계, (c) 경화성 수지층을 준비하고, 주름진 선형 미세구조체가 경화성 수지층의 표면에 밀착되도록 탄성체 기판을 경화성 수지층에 결합하는 단계, (d) 경화성 수지층을 경화시켜 주름진 선형 미세구조체를 경화성 수지층의 표면에 고정하는 단계, (e) 탄성체 기판을 경화된 경화성 수지층에서 분리하는 단계를 포함한다. 본 발명은 주름진 선형 미세구조체를 형성하여 그 형태를 그대로 유지한 상태로 다른 임의의 기판으로 안정적으로 전사하고, 주름진 선형 미세구조체가 전사된 임의의 기판에 전극 등을 형성함으로써, 주름진 선형 미세구조체에 대한 구조적, 분광학적, 전기적 특성을 용이하고 정확하게 측정하고 분석할 수 있다.
Int. CL C01B 31/02 (2006.01) C23C 16/26 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01)
출원번호/일자 1020120074657 (2012.07.09)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1425524-0000 (2014.07.25)
공개번호/일자 10-2014-0007589 (2014.01.20) 문서열기
공고번호/일자 (20140805) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.07.09)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍웅기 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
2 이하진 대한민국 전북 전주시 완산구
3 박종배 대한민국 전북 전주시 덕진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동희 대한민국 서울특별시 송파구 송파대로 ***, *층 (송파동, 옥명빌딩)(플랜국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0547576-12
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2012.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0553362-34
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184331-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184293-13
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0676102-68
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2013-1100826-84
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.12.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1100827-29
10 등록결정서
Decision to grant		 2014.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0290452-14
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 확장된 탄성체 기판 위에 선형 미세구조체를 형성하는 단계;(b) 상기 탄성체 기판을 수축시켜 상기 선형 미세구조체에 주름을 형성하여 주름진 선형 미세구조체를 형성하는 단계;(c) 경화성 수지층을 준비하고, 상기 주름진 선형 미세구조체가 상기 경화성 수지층의 표면에 밀착되도록 상기 탄성체 기판을 상기 경화성 수지층에 결합하는 단계;(d) 상기 경화성 수지층을 경화시켜 상기 주름진 선형 미세구조체를 상기 경화성 수지층의 표면에 고정하는 단계; 및(e) 상기 탄성체 기판을 경화된 상기 경화성 수지층에서 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주름진 선형 미세구조체의 전사방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 경화성 수지층은 열을 받아 경화되는 수지로 이루어지고,상기 (d) 단계는 상기 경화성 수지층에 열을 가하여 상기 경화성 수지층을 경화시키는 것을 특징으로 하는 주름진 선형 미세구조체의 전사방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 경화성 수지층은 빛을 조사받아 경화되는 수지로 이루어지고,상기 (d) 단계는 상기 경화성 수지층에 빛을 조사하여 상기 경화성 수지층을 경화시키는 것을 특징으로 하는 주름진 선형 미세구조체의 전사방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 경화성 수지층은 에폭시, SU-8 및 폴리우레탄 중에서 선택된 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 주름진 선형 미세구조체의 전사방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 경화성 수지층은 SU-8을 포함하고,상기 (d) 단계는 상기 경화성 수지층에 50 ~ 70℃의 열을 가하여 상기 경화성 수지층을 경화시키는 것을 특징으로 하는 주름진 선형 미세구조체의 전사방법
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