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적어도 하나 이상의 홀로 형성되며, 칩이 부착되는 공기 흡착 구멍;
상기 공기 흡착 구멍의 주변에 형성되며 상기 칩을 기판의 정확한 위치에 장착하는 정렬용 가이드; 및
상기 칩의 정렬마크 또는 회로 패턴에 상응되는 가이드 정렬마크를 포함하는 정렬용 가이드를 포함하는 칩 픽업 툴
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2 |
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제 1항에 있어서, 상기 정렬용 가이드는
돌출되어 형성되는 가이드 핀 또는 가이드 홀로 이루어진 것을 특징으로 하는 정렬용 가이드를 포함하는 칩 픽업 툴
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3 |
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제 2항에 있어서, 상기 정렬용 가이드가 가이드 핀일 경우, 상기 기판은 상기 가이드 핀이 삽입되는 결합 부재 또는 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬용 가이드를 포함하는 칩 픽업 툴
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4 |
4
제 2항에 있어서, 상기 정렬용 가이드가 가이드 홀일 경우, 상기 기판은 상기 가이드 홀과 결합되는 결합 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬용 가이드를 포함하는 칩 픽업 툴
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5 |
5
제 1항에 있어서, 상기 칩의 정렬마크 또는 회로패턴과 상기 가이드 정렬마크를 정렬시키는 카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬용 가이드를 포함하는 칩 픽업 툴
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6 |
6
칩의 정렬 마크 또는 회로 패턴과 제 1항의 칩 픽업 툴의 가이드 정렬 마크를 정렬하여 상기 칩을 픽업하는 단계; 및
상기 칩 픽업 툴의 정렬용 가이드를 기판의 홀 또는 결합 부재에 삽입하는 단계를 포함하는 칩 픽업 툴을 이용한 수동 정렬 방법
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7 |
7
제 6항에 있어서, 상기 기판 중 상기 칩이 부착될 부분의 기판에는 솔더 및 접착제가 도포되는 것을 특징으로 하는 칩 픽업 툴을 이용한 칩 수동 정렬 방법
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8
기판에 부착된 칩의 정렬마크 또는 회로 패턴과, 결합 부재를 픽업한 제 1항의 칩 픽업 툴의 가이드 정렬마크를 정렬하는 단계; 및
상기 칩 픽업 툴로부터 결합 부재를 분리하는 단계를 포함하는 칩 픽업 툴을 이용한 수동 정렬 방법
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9 |
9
제 8항에 있어서, 상기 결합 부재가 장착될 부분의 기판에는 솔더 및 접착제가 도포되는 것을 특징으로 하는 칩 픽업 툴을 이용한 칩 수동 정렬 방법
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