| 요약 |
본 발명은 마이크로 변압기 및 그 소성방법에 관한 것으로, PZT 세라믹계에 Mn, Sb, Nb의 원소들을 첨가하고 그 몰비 조성비를 조절함으로써 전기 기계결합계수(K31, K33) 및 기계적 품질계수(Qm)이 크고 큐리온도가 높으며 진동에 의해 자체 발열이 적고, 기계적 강도가 높은 마이크로 변압기와 그 소성방법을 제공함에 그 목적이 있다. 본 발명은 압전 변압기를 제작하는 과정에서 세라믹 파우더의 원재료로 Mn, Sb, Nb라는 물질을 도입하였다는 점과 테이프케스팅방법에 의해 100㎛ 두께의 변압기를 제작하였다는 점에 그 특징이 있다. Mn, Sb, Nb는 원소들을 첨가할 경우, 압전 페로브스카이트(Perovskite)구조에 본 원소들이 치환물로서 작용하여 압전현상으로 생기는 전기 기계결합계수 및 품질 계수의 향상을 가져오는 특성을 가지고 있다. 따라서 Mn, Sb, Nb을 첨가하여 우수한 특성을 나타내는 페로브스카이트(Perovskite) 구조를 형성한 후, 이것을 테이프케스팅법으로 100㎛ 두께의 로젠 타입의 마아크로 변압기를 제작한다.본 발명을 적용하면, 전기기계결합계수 및 품질계수가 우수한 압전 조성을 갖으며, 변압기의 사이즈를 최소화 할 수 있고, 전기적 피로현상이 없기 때문에 차세대 변압기로 주목받을 수 있으며, 이러한 소성방법으로 소성된 압전 변압기는 높은 효율＞80%, 높은 승압비를 가지게 되고, MEMS 기술의 전원 소스용 변압기 등에 이용할 수 있는 효과가 있다.
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