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금속 화합물을 이용한 탄소나노튜브 전자방출원의 제조방법

기술번호 : KST2015214427
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 마이크로미터(㎛)에서 나노미터(㎚) 크기의 금속, 합금 및 금속 화합물 등을 이용하여 탄소나노튜브를 기판 위에서 함께 혼합하거나 탄소나노튜브 박막 기판 위에 표면 도포하고 용융시켜서 탄소나노튜브와의 화합물을 만든 후, 열 및 플라즈마 후처리 등을 통하여 전자방출원을 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 탄소나노튜브 전자방출원은 탄소나노튜브와 기판과의 접착성 향상과 함께 튜브 외벽을 금속으로 에워싸고 있을 수도 있어서 팁의 수명 연장뿐만 아니라, 전계방출의 최적화를 위한 전처리 및 후처리 등의 조건을 확장시킬 수 있으며, 또한 금속, 합금 및 금속 화합물의 혼합 공정에 의한 줄(wire), 바(bar) 및 평면(plate) 등의 여러 가지 형태를 가진 탄소나노튜브 전자방출원으로 이용할 수 있다. 탄소나노튜브, 전자방출원, 금속 화합물, 열처리, 후처리
Int. CL	B82Y 40/00 (2011.01) H01J 9/02 (2011.01) C01B 31/02 (2011.01) H01J 1/304 (2011.01)
CPC	H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01) H01J 1/304(2013.01)
출원번호/일자	1020040049080 (2004.06.28)
출원인	학교법인 성균관대학
등록번호/일자	10-0634856-0000 (2006.10.10)
공개번호/일자	10-2006-0000144 (2006.01.06) 문서열기
공고번호/일자	(20061016) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2004.06.28)
심사청구항수	8

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	학교법인 성균관대학	대한민국	서울 종로구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	박종윤	대한민국	경기도 군포시 산
2	박성렬	대한민국	경상북도 포항시 남구
3	김현숙	대한민국	경기도 수원시 장안구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	특허법인정직과특허	대한민국	서울 강남구 선릉로 **(논현동, 썬라이더빌딩 층)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	성균관대학교산학협력단		경기도 수원시 장안구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2004.06.28	수리 (Accepted)	1-1-2004-0282605-89
2	공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서 Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)	2004.06.30	수리 (Accepted)	1-1-2004-5098763-06
3	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2005.12.14	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2006.01.13	수리 (Accepted)	9-1-2006-0002108-32
5	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2006.01.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0052696-55
6	지정기간연장신청서 Request for Extension of Designated Period	2006.03.27	수리 (Accepted)	1-1-2006-0211856-58
7	지정기간연장신청서 Request for Extension of Designated Period	2006.04.27	수리 (Accepted)	1-1-2006-0296093-43
8	지정기간연장신청서 Request for Extension of Designated Period	2006.05.29	수리 (Accepted)	1-1-2006-0377877-54
9	의견서 Written Opinion	2006.06.27	수리 (Accepted)	1-1-2006-0460343-11
10	명세서등보정서 Amendment to Description, etc.	2006.06.27	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2006-0460346-58
11	등록결정서 Decision to grant	2006.09.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0565522-18

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 플라즈마 CVD 또는 RTCVD 방법에 의해 금속 기판 위에 탄소나노튜브 박막을 형성하는 공정;상기 탄소나노튜브 박막에 마이크로미터(㎛)에서 나노미터(㎚) 크기의 금속 분말을 도포하는 공정;상기 탄소나노튜브 박막에 도포된 금속 분말을 암모니아 기체, 수소 기체 및 불활성 기체 분위기에서 고온 열처리하거나 플라즈마 후처리하여 용융시키는 공정; 및상기 금속 분말의 용융물을 매개로 상기 금속 기판과 탄소나노튜브가 접착되어 상기 탄소나노튜브 박막에 탄소 전자 방출층을 형성하는 공정을포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 금속 화합물을 이용한 탄소나노튜브 전자방출원의 제조방법
2	2 제 1항에 있어서, 상기 탄소 전자 방출층을 탄소나노튜브 박막 대신에, 탄소나노튜브를 금속 기판 위에 금속, 합금 및 금속 화합물 등의 분말과 혼합하여 줄(wire), 바(bar) 및 평판(plate) 등의 여러 가지 형태로 만드는 것을 특징으로 하는 금속 화합물을 이용한 탄소나노튜브 전자방출원의 제조방법
3	3 제 1항에 있어서, 상기 탄소 전자 방출층을 탄소나노튜브 박막 대신에, 금속, 반도체 웨이퍼(wafer), 쿼츠(quartz) 및 세라믹(ceramic) 등의 기판 위에 탄소나노튜브를 혼합하여 만드는 것을 특징으로 하는 금속 화합물을 이용한 탄소나노튜브 전자방출원의 제조방법
4	4 제 1항에 있어서, 상기 탄소 전자 방출층을 탄소나노튜브 박막 대신에, AAO(anodic aluminum oxide), 제올라이트(zeolite) 및 실리카 등의 다공질 기판 위에 탄소나노튜브를 혼합하여 만드는 것을 특징으로 하는 금속 화합물을 이용한 탄소나노튜브 전자방출원의 제조방법
5	5 제 1항에 있어서, 상기 금속 분말은 Ag 또는 Au인 것을 특징으로 하는 금속 화합물을 이용한 탄소나노튜브 전자방출원의 제조방법
6	6 제 1항에 있어서, 상기 금속 분말은 Cu-Ag 또는 Cu-Ti의 금속 화합물인 것을 특징으로 하는 금속 화합물을 이용한 탄소나노튜브 전자방출원의 제조방법
7	7 제 1항, 제 5항 또는 제 6항에 있어서, 상기 금속 분말의 용융점은 300 ~ 1,100℃인 것을 특징으로 하는 금속 화합물을 이용한 탄소나노튜브 전자방출원의 제조방법
8	8 제 7항에 있어서, 상기 금속 분말은 약 300 ~ 1,100℃의 용융점을 가지는 금속, 합금 및 금속 화합물인 것을 특징으로 하는 금속 화합물을 이용한 탄소나노튜브 전자방출원의 제조방법
9	8 제 7항에 있어서, 상기 금속 분말은 약 300 ~ 1,100℃의 용융점을 가지는 금속, 합금 및 금속 화합물인 것을 특징으로 하는 금속 화합물을 이용한 탄소나노튜브 전자방출원의 제조방법

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-0634856-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20040628 출원 번호 : 1020040049080 공고 연월일 : 20061016 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20060927 청구범위의 항수 : 8 유별 : H01J 1/30 발명의 명칭 : 금속 화합물을 이용한 탄소나노튜브 전자방출원의 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20131011

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 학교법인 성균관대학 서울 종로구...
2	(권리자) 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구...
2	(의무자) 학교법인 성균관대학 서울 종로구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	256,500 원	2006년 10월 10일	납입
제 4 년분	금 액	216,000 원	2009년 10월 09일	납입
제 5 년분	금 액	216,000 원	2010년 10월 07일	납입
제 6 년분	금 액	216,000 원	2011년 09월 06일	납입
제 7 년분	금 액	404,000 원	2012년 07월 24일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2004.06.28	수리 (Accepted)	1-1-2004-0282605-89
2	공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서	2004.06.30	수리 (Accepted)	1-1-2004-5098763-06
3	선행기술조사의뢰서	2005.12.14	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서	2006.01.13	수리 (Accepted)	9-1-2006-0002108-32
5	의견제출통지서	2006.01.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0052696-55
6	지정기간연장신청서	2006.03.27	수리 (Accepted)	1-1-2006-0211856-58
7	지정기간연장신청서	2006.04.27	수리 (Accepted)	1-1-2006-0296093-43
8	지정기간연장신청서	2006.05.29	수리 (Accepted)	1-1-2006-0377877-54
9	의견서	2006.06.27	수리 (Accepted)	1-1-2006-0460343-11
10	명세서등보정서	2006.06.27	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2006-0460346-58
11	등록결정서	2006.09.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0565522-18

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