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산화물 초전도체를 제조하기 위한 전구용액 제조방법에 있어서,금속이온들의 화학량론적 조성비가 RE : Ba : Cu = (1+x):2:3 ( 0
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제 1항에 있어서,상기 금속염산화물은 RE2O3, CuO, BaCO3 또는 RE2O3, CuO, BaO를 사용하는 것을 특징으로 하는 유기금속전구용액 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 금속염은 RE-acetate, Ba-acetate, Cu-acetate를 모두 사용하는 것을 특징으로 하는 유기금속전구용액 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 초전도 산화물은 REBa2Cu3Oz 인 것을 특징으로 하는 유기금속전구용액 제조방법
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제 1항 내지 4항 중 어느 한 항에 있어서, RE는 Y, La, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu
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제 1항에 있어서,상기 유기산은 CA(chloroacetate)인 것을 특징으로 하는 유기금속전구용액 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 유기산은 DCA(dichloroacetate)인 것을 특징으로 하는 유기금속전구용액 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 유기산은 TCA(trichloroacetate)인 것을 특징으로 하는 유기금속전구용액 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 유기산은 TFA(trifluoroacetate)인 것을 특징으로 하는 유기금속전구용액 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 유기용매는 메틸알콜, 에틸알콜중 어느 한가지로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기금속전구용액 제조방법
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제 1항에 있어서,초전도 산화물 박막 제조용 전구용액 내 총 금속이온 농도는 1 ~ 20몰인 것을 특징으로 하는 유기금속전구용액 제조방법
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유기금속증착법에 의한 박막형 산화물 초전도체 제조방법에 있어서,금속이온들의 화학량론적 조성비가 RE:Ba:Cu = (1+x):2:3 ( 0
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제 12항에 있어서,상기 하소과정에는 산화물 초전도체가 안정하게 존재할 수 있는 산소분압에서 유기금속화합물 박막을 가열하는 가열단계가 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 유기금속증착법에 의한 박막형 산화물 초전도체 제조방법
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제 12항 또는 13항에 있어서,상기 산소분압은 100 ppm(parts per million)보다 크고 1 기압보다 작게 형성됨을 특징으로 하는 유기금속증착법에 의한 박막형 산화물 초전도체 제조방법
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제 12항 또는 13항에 있어서,상기 하소 및 변환과정에서 산소를 포함하는 가스유량은 50 ~ 500 cm3/cm2ㆍmin 으로 이루어짐을 특징으로 하는 유기금속증착법에 의한 박막형 산화물 초전도체 제조방법
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제 12항 또는 13항에 있어서,상기 하소 및 변환과정에서 산소를 포함하는 가스에는 10 ℃ ~ 100 ℃ 사이의 온도로 가열된 물을 통과시켜 가스에 습기가 포함되도록 함을 특징으로 하는 유기금속증착법에 의한 박막형 산화물 초전도체 제조방법
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제 12항에 있어서,상기 도포과정에서의 도포방법은, 담금, 회전, 슬롯다이, 스프레이 방식중 어느 한가지로 이루어짐을 특징으로 하는 유기금속증착법에 의한 박막형 산화물 초전도체 제조방법
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제 12항에 있어서,상기 도포과정에서 기판은, 유기금속화합물 전구용액이 도포되는 면이 이축 정렬된 집합조직을 갖도록 이루어짐을 특징으로 하는 유기금속증착법에 의한 박막형 산화물 초전도체 제조방법
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제 12항에 있어서,상기 도포과정에서 기판은, (100)<001> 방위를 갖는 단결정 세라믹으로 이루어짐을 특징으로 하는 유기금속증착법에 의한 박막형 산화물 초전도체 제조방법
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제 12항 또는 18항에 있어서,상기 도포과정에서 기판은, 금속으로 이루어지고 전구용액을 도포하는 면이 세라믹으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기금속증착법에 의한 박막형 산화물 초전도체 제조방법
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제 19항에 있어서,상기 (100)<001> 방위를 갖는 단결정 세라믹은, SrTiO3, LaAlO3, 지르코니아(Zirconia), 안정화 지르코니아(YSZ), MgO, CeO2, 희토류원소(rare earth element) 산화물로 이루어진 군으로부터 단독 또는 둘이상 혼합 사용됨을 특징으로 하는 유기금속증착법에 의한 박막형 산화물 초전도체 제조방법
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제 12항 또는 18항에 있어서,상기 유기금속화합물 전구용액이 도포되는 면의 세라믹은 산화물 초전도체와 본질적으로 격자상수가 정합(lattice matched)을 이루는 것을 특징으로 하는 유기금속증착법에 의한 박막형 산화물 초전도체 제조방법
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제 12항에 있어서,상기 희토류원소(rare earth element)는 Y, La, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu
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제 20항에 있어서,상기 세라믹은 본질적으로 금속과 에피택시알한 관계를 갖는 것을 특징으로 하는 유기금속증착법에 의한 박막형 산화물 초전도체 제조방법
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