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제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 베이스 기판(base substrate);상기 베이스 기판의 상기 제1 면 상의 제1 그래핀 패턴; 상기 제1 그래핀 패턴 상에 배치되되, 상기 제2 면에 대상물의 터치에 따라서 상기 제1 그래핀 패턴과 접촉되는 면적이 조절되는 제2 그래핀 패턴; 및상기 제1 그래핀 패턴의 양측에 배치되고, 상기 제1 그래핀 패턴과 이격되고, 상기 제2 그래핀 패턴과 연결된 전극막들을 포함하는 그래핀 터치 센서
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제1 항에 있어서, 상기 제2 그래핀 패턴은, 상기 제2 면에 상기 대상물의 터치에 따라서 상기 제1 그래핀 패턴과 접촉되는 면적이 조절되는 중앙부(center portion), 및 상기 제1 그래핀 패턴과 접촉되지 않는 주변부(peripheral portion)을 포함하는 그래핀 터치 센서
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제2 항에 있어서, 상기 제2 그래핀 패턴은, 상기 전극막들 상에 배치되는 에지부(edge portion)을 더 포함하는 그래핀 터치 센서
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제1 항에 있어서, 상기 베이스 기판의 상기 제1 면과 상기 전극막들의 상부면들 사이의 거리는, 상기 베이스 기판의 상기 제1 면과 상기 제1 그래핀 패턴의 상부면 사이의 거리보다 긴 것을 포함하는 그래핀 터치 센서
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제5 항에 있어서, 상기 전극막들의 두께는 상기 제1 그래핀 패턴의 두께보다 두꺼운 것을 포함하는 그래핀 터치 센서
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제5 항에 있어서, 상기 전극막들 및 상기 베이스 기판 사이에 배치된 구조물들(structures)을 더 포함하는 그래핀 터치 센서
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제7 항에 있어서, 상기 구조물들은 상기 베이스 기판과 일체(one body)를 이루는 것을 포함하는 그래핀 터치 센서
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9
제7 항에 있어서, 상기 구조물들의 상부면들은, 상기 제1 그래핀 패턴이 배치되는 상기 베이스 기판의 상기 제1 면으로부터 돌출된 것을 포함하는 그래핀 터치 센서
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제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 베이스 기판(base substrate); 및상기 베이스 기판의 상기 제1 면 상의 그래핀 패턴을 포함하되, 대상물이 상기 제2 면에 기준 압력보다 낮은 압력으로 터치되는 경우, 상기 그래핀 패턴의 저항이 감소되고, 상기 대상물이 상기 제2 면에 상기 기준 압력보다 높은 압력으로 터치되는 경우, 상기 그래핀 패턴의 저항이 증가되는 것을 포함하는 그래핀 터치 센서
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제10 항에 있어서, 상기 그래핀 패턴은, 상기 베이스 기판의 상기 제1 면 상의 제1 그래핀 패턴; 및 상기 제1 그래핀 패턴 상의 제2 그래핀 패턴을 포함하되, 상기 대상물이 상기 제2 면에 기준 압력보다 낮은 압력으로 터치되는 경우, 상기 제1 그래핀 패턴과 상기 제2 그래핀 패턴의 접촉 면적이 증가하여 상기 그래핀 패턴의 저항이 감소되고, 상기 대상물이 상기 제2 면에 상기 기준 압력보다 높은 압력으로 터치되는 경우, 상기 제2 그래핀 패턴의 탄소-탄소 결합 변형에 의해 상기 그래핀 패턴의 저항이 증가되는 것을 포함하는 그래핀 터치 센서
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제11 항에 있어서, 상기 베이스 기판의 상기 제1 면 상에 배치되고, 상기 제1 그래핀 패턴의 양측에 상기 제1 그래핀 패턴과 이격된 전극막들을 더 포함하되, 상기 제2 그래핀 패턴은, 상기 전극막들 상의 에지부, 상기 제1 그래핀 패턴과 접촉되는 중앙부, 및 상기 에지부 및 상기 중앙부 사이에 정의되고 상기 제1 그래핀 패턴과 이격된 주변부를 포함하는 그래핀 터치 센서
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베이스 기판 상에 제1 그래핀 패턴을 전사(transfer)하는 단계;상기 제1 그래핀 패턴의 양측에, 상기 제1 그래핀 패턴과 이격되도록 전극막들 형성하는 단계; 및상기 전극막들 및 상기 제1 그래핀 패턴 상에, 상기 제1 그래핀 패턴과 접촉되는 중앙부 및 상기 전극막들에 접촉되는 에지부를 갖는 제2 그래핀 패턴을 전사하는 단계를 포함하는 그래핀 터치 센서의 제조 방법
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제13 항에 있어서, 상기 제1 그래핀 패턴을 전사하는 단계는, 그래핀막을 갖는 금속 박막을 준비하는 단계;상기 그래핀막을 갖는 금속 박막을 상기 베이스 기판에 부착시키는 단계; 및상기 금속 박막을 제거하는 단계를 포함하는 그래핀 터치 센서의 제조 방법
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제13 항에 있어서, 상기 제2 그래핀 패턴을 전사하는 단계는, 그래핀막을 갖는 금속 박막을 준비하는 단계;상기 그래핀막 상에 희생막을 코팅하는 단계;상기 금속 박막을 상기 그래핀막으로부터 제거하는 단계;상기 희생막 및 상기 그래핀막을 상기 베이스 기판 상에 배치시키는 단계; 및상기 희생막을 제거하는 단계를 포함하는 그래핀 터치 센서의 제조 방법
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