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표면에 미세구조물이 형성된 3차원 구조물 제작 방법

  • 기술번호 : KST2015227437
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 표면에 미세 구조물이 형성된 3차원 구조물 제작 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 임의의 곡면을 가진 표면에 미세 구조물이 형성된 3차원 구조물 제작 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일측면에 따른 표면에 미세구조물이 형성된 3차원 구조물 제작방법은 평면기판제작단계와, 3차원곡면물체표면밀착단계와, 액상폴리머캐스팅단계와, 3차원구조물분리단계를 포함한다. 상기 평면기판제작단계는 미세패턴을 가지는 평면기판의 몰드를 제작한다. 상기 3차원곡면물체표면밀착단계는 상기 평면기판의 몰드를 임의의 3차원 형상의 형틀의 일측에 밀착시켜 상기 형틀의 일측의 곡률과 동일한 3차원 형상의 몰드로 변형시킨다. 상기 액상폴리머캐스팅단계는 액상폴리머를 상기 3차원 형상의 몰드에 부어서 캐스팅한다. 상기 3차원구조물분리단계는 상기 액상폴리머가 경화되어 형성된 3차원구조물을 분리한다.나노구조물, 마이크로구조물, 3차원 형상, 미세구조물
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020090045489 (2009.05.25)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1145495-0000 (2012.05.04)
공개번호/일자 10-2010-0127009 (2010.12.03) 문서열기
공고번호/일자 (20120515) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.05.25)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고종수 대한민국 부산광역시 해운대구
2 박치열 대한민국 부산광역시 금정구
3 이상민 대한민국 부산광역시 연제구
4 배승일 대한민국 부산광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고종수 부산광역시 해운대구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2009-0312165-12
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.12.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.01.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0005007-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0105075-17
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.04.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0288275-86
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-0288272-49
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2011.10.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0573966-71
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.12.05 수리 (Accepted) 1-1-2011-0963979-10
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.12.05 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2011-0963987-75
10 등록결정서
Decision to grant		 2012.04.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0213649-04
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
미세패턴을 가지는 평면기판의 몰드를 제작하는 평면기판제작단계와,상기 평면기판의 몰드를 임의의 3차원 형상의 형틀의 일측에 밀착시켜 상기 형틀의 일측의 곡률과 동일한 3차원 형상의 몰드로 상기 평면기판을 변형시키는 3차원곡면물체표면밀착단계와,이형제를 상기 3차원 형상의 몰드에 증착하는 이형제증착단계와,액상폴리머를 상기 이형제가 증착된 상기 3차원 형상의 몰드에 부어서 캐스팅하는 액상폴리머캐스팅단계와,상기 액상폴리머가 경화되어 형성된 3차원구조물을 분리하는 3차원구조물분리단계와,상기 분리된 3차원구조물에 다른 액상폴리머를 부어서 캐스팅하는 액상폴리머캐스팅단계와,상기 다른 액상폴리머가 경화되어 형성된 3차원구조물을 분리하는 3차원구조물2차분리단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면에 미세구조물이 형성된 3차원 구조물 제작방법
2 2
미세패턴을 가지는 평면기판의 몰드를 제작하는 평면기판제작단계와,상기 평면기판의 몰드를 임의의 3차원 형상의 형틀의 일측에 밀착시켜 상기 형틀의 일측의 곡률한 3차원 형상의 몰드로 상기 평면기판을 변형시키는 3차원곡면물체표면밀착단계와,이형제를 상기 3차원 형상의 몰드에 증착하는 이형제증착단계와,액상폴리머를 상기 이형제가 증착된 상기 3차원 형상의 몰드에 부어서 캐스팅하는 액상폴리머캐스팅단계와,상기 액상폴리머가 경화되어 형성된 3차원구조물을 분리하는 3차원구조물분리단계를 포함하며,상기 3차원곡면물체표면밀착단계는 진공으로 흡입하여 상기 평면기판의 몰드를 임의의 3차원 형상의 형틀에 밀착시키는 것을 특징으로 하는 표면에 미세구조물이 형성된 3차원 구조물 제작방법
3 3
제2항에 있어서,상기 액상폴리머캐스팅단계 후 캐스팅된 액상폴리머를 가압하는 액상폴리머가압단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면에 미세구조물이 형성된 3차원 구조물 제작방법
4 4
미세패턴을 가지는 평면기판의 몰드를 제작하는 평면기판제작단계와,상기 평면기판의 몰드를 임의의 3차원 형상의 형틀의 일측에 밀착시켜 상기 형틀의 일측의 곡률한 3차원 형상의 몰드로 상기 평면기판을 변형시키는 3차원곡면물체표면밀착단계와,이형제를 상기 3차원 형상의 몰드에 증착하는 이형제증착단계와,액상폴리머를 상기 이형제가 증착된 상기 3차원 형상의 몰드에 부어서 캐스팅하는 액상폴리머캐스팅단계와,상기 액상폴리머가 경화되어 형성된 3차원구조물을 분리하는 3차원구조물분리단계와,상기 분리된 3차원구조물에 미세접촉프린팅이 가능한 미세접촉물질을 묻히는 미세접촉물질프린팅단계와,상기 평면기판의 몰드가 접촉하는 상기 3차원형상의 형틀의 곡면과 동일한 곡면을 가진 3차원폴리머에 상기 미세접촉물질이 묻은 3차원구조물을 접촉시켜 상기 미세접촉물질을 전사시키는 미세접촉물질전사단계와,상기 전사된 미세접촉물질을 식각 방지막으로 사용하여 상기 미세접촉물질이 전사된 3차원폴리머의 표면을 식각하는 식각단계와,식각된 3차원폴리머의 표면에 전사된 미세접축물질을 제거하는 미세접촉물질제거단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면에 미세구조물이 형성된 3차원 구조물 제작방법
5 5
미세패턴을 가지는 평면기판의 몰드를 제작하는 평면기판제작단계와,금속증착기를 이용하여 상기 평면기판의 몰드에 금속씨앗층을 증착하는 금속씨앗층증착단계와,상기 평면기판의 몰드를 임의의 3차원 형상의 형틀에 밀착시켜 상기 형틀의 형상과 동일한 3차원 형상의 몰드로 변형시키는 3차원곡면물체표면밀착단계와,상기 금속씨앗층에 음극을 걸고 전기도금을 하는 금속도금단계와,상기 금속도금이 완료된 3차원 금속구조물을 분리하는 3차원금속구조물분리단계와,상기 분리된 3차원금속구조물에 열가소성폴리머를 사출성형하는 열가소성폴리머사출성형단계와,상기 열가소성폴리머가 사출성형되어 형성된 3차원구조물을 분리하는 3차원구조물분리단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면에 미세구조물이 형성된 3차원 구조물 제작방법
6 6
미세패턴을 가지는 평면기판의 몰드를 제작하는 평면기판제작단계와,금속증착기를 이용하여 상기 평면기판의 몰드에 금속씨앗층을 증착하는 금속씨앗층증착단계와,상기 평면기판의 몰드를 임의의 3차원 형상의 형틀에 밀착시켜 상기 형틀의 형상과 동일한 3차원 형상의 몰드로 변형시키는 3차원곡면물체표면밀착단계와,상기 금속씨앗층에 음극을 걸고 전기도금을 하는 금속도금단계와,상기 금속도금이 완료된 3차원 금속구조물을 분리하는 3차원금속구조물분리단계와,상기 분리된 3차원금속구조물에 광경화성수지 또는 열경화성수지를 붓는 수지주입단계와,상기 광경화성수지 또는 열경화성수지를 경화시키기 위하여 광 또는 열을 가하는 경화단계와,광 또는 열에 의하여 경화된 3차원구조물을 분리하는 3차원구조물분리단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면에 미세구조물이 형성된 3차원 구조물 제작방법
7 7
미세패턴을 가지는 평면기판의 몰드를 제작하는 평면기판제작단계와,금속증착기를 이용하여 상기 평면기판의 몰드에 금속씨앗층을 증착하는 금속씨앗층증착단계와,상기 평면기판의 몰드를 임의의 3차원 형상의 형틀에 밀착시켜 상기 형틀의 형상과 동일한 3차원 형상의 몰드로 변형시키는 3차원곡면물체표면밀착단계와,상기 금속씨앗층에 음극을 걸고 전기도금을 하는 금속도금단계와,상기 금속도금이 완료된 3차원 금속구조물을 분리하는 3차원금속구조물분리단계와,상기 분리된 3차원금속구조물을 폴리머층에 올리고 상기 3차원금속구조물 위에 혼을 올려서 정렬하는 단계와,상기 혼을 진동시켜서 상기 3차원금속구조물을 가압하여 상기 폴리머층을 3차원구조물로 형성하는 단계와,상기 3차원구조물을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면에 미세구조물이 형성된 3차원 구조물 제작방법
8 8
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 평면기판제작단계는편평한 기판에 감광막을 도포하는 감광막도포단계와,자외선을 선택적으로 상기 감광막에 노출시켜 임의의 감광막패턴을 형성하는 사진공정단계와,이형제를 상기 감광막패턴이 형성된 편평한 기판에 증착하는 이형제증착단계와,액상폴리머를 상기 이형제가 증착된 편평한 기판에 부어서 캐스팅하는 액상폴리머캐스팅단계와,상기 액상폴리머가 경화되어 형성된 평면기판의 몰드를 분리하는 평면기판분리단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 표면에 미세구조물이 형성된 3차원 구조물 제작방법
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