| 1 |
1
초음파를 이용하여 마그네슘 합금 판재를 세척하는 초음파 세척 단계;세척된 상기 마그네슘 합금 판재를 반응 챔버 내에 위치시키고, 상기 반응 챔버 내부의 압력을 낮추어 제1 진공 상태로 유지시키며, 상기 제1 진공 상태의 상기 반응 챔버 내부에 플라즈마를 발생시켜 상기 초음파 세척된 상기 마그네슘 합금 판재의 표면을 세정하는 플라즈마 세정 단계; 및유기 코팅 물질을 제2 진공 상태의 상기 반응 챔버에 유입시키고, 플라즈마를 발생시킴으로써 상기 유기 코팅 물질로 세정된 상기 마그네슘 합금 판재의 표면을 코팅하는 폴리머 코팅 단계; 를 포함하고,상기 플라즈마 세정 단계에서의 상기 플라즈마를 발생시키기 위한 플라즈마 조성 가스로 산소 가스를 이용하는, 마그네슘 합금 판재의 표면처리 방법
|
| 2 |
2
제1항에서,상기 폴리머 코팅 단계에서, 상기 유기 코팅 물질은 상기 제2 진공 상태의 상기 반응 챔버에 유입되어 자연 기화되는, 마그네슘 합금 판재의 표면처리 방법
|
| 3 |
3
제2항에서,상기 유기 코팅 물질은 톨루엔인, 마그네슘 합금 판재의 표면처리 방법
|
| 4 |
4
제1항에서,상기 폴리머 코팅 단계에서, 상기 유기 코팅 물질을 가열하여 기화시킨 후 상기 제2 진공 상태의 상기 반응 챔버에 유입시키는, 마그네슘 합금 판재의 표면처리 방법
|
| 5 |
5
제1항에서,상기 초음파 세척 단계에서의 상기 마그네슘 합금 판재의 세척은 아세톤과 순수(純水)에서 실시하는, 마그네슘 합금 판재의 표면처리 방법
|
| 6 |
6
제1항에서,상기 플라즈마 세정 단계에서, 로터리 펌프를 이용하여 상기 반응 챔버를 상기 제1 진공 상태로 유지시키는, 마그네슘 합금 판재의 표면처리 방법
|
| 7 |
7
삭제
|
| 8 |
8
제1항에서,상기 폴리머 코팅 단계에서 150W 이상의 RF 전원을 공급하여 상기 플라즈마를 발생시키는, 마그네슘 합금 판재의 표면처리 방법
|
| 9 |
9
제1항에서,상기 플라즈마 세정 단계에서의 상기 제1 진공 상태의 압력은 10-3 Torr이고, 상기 폴리머 코팅 단계에서의 상기 제2 진공 상태의 압력은 0
|
