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패턴이 형성된 스템프가 완충부재에 장착된 헤드; 상기 헤드와 대향되는 위치에 설치되고 그 상부에 설치된 유니트치구에 웨이퍼와 같은 임프린팅 대상물을 탑재하는 웨이퍼척;을 포함하며, 상기 헤드 또는 웨이퍼척이 이동하여 레진이 코팅된 웨이퍼에 패턴을 임프린팅하는 임프린팅장치에 있어서,상기 스템프를 웨이퍼의 레진에 접촉시켜 패턴을 임프린팅 할 때 불균일 접촉현상을 줄일 수 있도록 상기 스템프와 대응되는 유니트치구에 표면형상이 다른 탄성체가 적층되는 것을 특징으로 하는 적층 탄성체를 이용한 스템프와 웨이퍼의 균일접촉 임프린팅장치
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제 1항에 있어서, 상기 탄성체는 상,하부탄성체가 이중으로 적층되고, 패턴성형시 외측에서부터 중앙부분으로 점차 접촉되고 이 과정에서 공기가 배출될 수 있도록 하부탄성체는 상면부분이 중앙으로 갈수록 오목하게 처리된 오목면이 형성되고 그 중앙부분에 구멍이 관통되며, 상부탄성체는 하면이 중앙으로 갈수롤 볼록하게 처리된 볼록면을 갖는 것을 특징으로 하는 적층 탄성체를 이용한 스템프와 웨이퍼의 균일접촉 임프린팅장치
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제 2항에 있어서, 상기 상,하부탄성체는 적층 조립위치를 안내할 수 있도록 접촉면 어느 일측에 수용홈이 형성되고, 타측에 상기 수용홈에 삽입되는 돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 적층 탄성체를 이용한 스템프와 웨이퍼의 균일접촉 임프린팅장치
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제 2항에 있어서, 상기 상,하부탄성체의 재질은 탄성을 갖는 고무, 실리콘, 합성수지 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 적층 탄성체를 이용한 스템프와 웨이퍼의 균일접촉 임프린팅장치
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제 2항에 있어서, 상기 하부탄성체의 오목면은 상기 구멍을 중심으로 최외측에 하향으로 경사진 1차오목면이 형성되고, 상기 1차오목면과 연속된 내측에는 1차오목면보다 오목하게 더 경사진 2차오목면이 형성되고, 상기 2차오목면에서부터 구멍까지 1,2차오목면 사이에 해당하는 기울기를 갖는 3차오목면을 가지며,상기 상부탄성체의 볼록면은 상기 1차오목면과 접면할 수 있는 경사면을 갖는 1차볼록면이 형성되고, 상기 1차볼록면와 연속된 내측에는 1차볼록면보다 볼록하게 더 경사진 2차볼록면이 형성되고, 상기 2차볼록면 내측에는 1,2차볼록면 사이에 해당하는 기울기를 갖는 3차볼록면을 가진 것을 특징으로 하는 적층 탄성체를 이용한 스템프와 웨이퍼의 균일접촉 임프린팅장치
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제 2항에 있어서, 상기 하부탄성체는 복수 개가 얇은 두께를 가진 연결부재로 연결되는 것을 특징으로 하는 적층 탄성체를 이용한 스템프와 웨이퍼의 균일접촉 임프린팅장치
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