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5 자유도 운동 오차 보정 기능을 갖는 능동 보정형 스테이지 및 그 운동 오차 보정 방법

  • 기술번호 : KST2016004071
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 서로 직교하는 제1 및 제2가이드면을 갖는 가이드 지지체와, 상기 제1 및 제2가이드면과 대향하는 제1 및 제2면을 구비하며 상기 제1 및 제2면에 각각 에어 베어링이 구비된 테이블과, 상기 테이블을 x축 방향으로 직선 구동시키는 구동기와, 상기 가이드 지지체와 테이블 사이에 자기 예압을 인가하며 상기 테이블에 발생하는 5 자유도 운동 오차를 보정할 수 있도록 가이드 지지체와 테이블 사이의 자기력을 가변시키는 복수의 자기 액츄에이터를 포함하고, 상기 자기 액츄에이터는 상기 제1면에 x축 방향으로 이격되게 설치된 제1 및 제2액츄에이터와, 상기 제2면에 x축 방향으로 이격되게 설치된 제3 및 제4액츄에이터, 및 상기 제2면에 상기 제3 및 제4액츄에이터로부터 z축 방향으로 이격되게 설치된 제5액츄에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 보정형 스테이지 및 그 운동 오차 보정 방법을 개시한다.
Int. CL B23Q 1/25 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01) B23Q 5/28 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020110052297 (2011.05.31)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1318211-0000 (2013.10.08)
공개번호/일자 10-2012-0133579 (2012.12.11) 문서열기
공고번호/일자 (20131015) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.31)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노승국 대한민국 대전광역시 유성구
2 박종권 대한민국 대전광역시 유성구
3 김병섭 대한민국 대전광역시 유성구
4 이성철 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0409913-68
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.07.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.09.03 수리 (Accepted) 9-1-2012-0069381-80
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0644260-34
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.12.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1049228-14
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2012-1049226-23
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0278621-17
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0556727-55
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.06.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0556728-01
10 등록결정서
Decision to grant		 2013.07.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0499581-51
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
서로 직교하는 제1 및 제2가이드면을 갖는 가이드 지지체;상기 제1 및 제2가이드면과 대향하는 제1 및 제2면을 구비하며, 상기 제1 및 제2면에 각각 에어 베어링이 구비된 테이블;상기 테이블을 x축 방향으로 직선 구동시키는 구동기; 및상기 가이드 지지체와 테이블 사이에 자기 예압을 인가하며, 상기 테이블에 발생하는 5 자유도 운동 오차를 보정할 수 있도록 가이드 지지체와 테이블 사이의 자기력을 가변시키는 복수의 자기 액츄에이터를 포함하고,상기 자기 액츄에이터는, 상기 제1면에 x축 방향으로 이격되게 설치된 제1 및 제2액츄에이터와, 상기 제2면에 x축 방향으로 이격되게 설치된 제3 및 제4액츄에이터와, 상기 제2면에 상기 제3 및 제4액츄에이터로부터 z축 방향으로 이격되게 설치된 제5액츄에이터를 포함하며,상기 테이블의 이동 거리를 센싱하는 리니어 엔코더; 및상기 리니어 엔코더의 센싱값을 근거로 상기 테이블의 위치에 대응되는 제어 전류값을 산출하여 상기 제1 내지 제5액츄에이터에 해당 전류를 인가하는 제어유닛을 더 포함하며,상기 제어유닛은 미리 산출된 테이블의 이동 위치에 따른 운동 오차값을 근거로 상기 제어 전류값을 산출하는 것을 특징으로 하는 능동 보정형 스테이지
2 2
제1항에 있어서, 상기 테이블은,상기 제1면을 갖는 제1플레이트; 및상기 제1플레이트의 측면에 수직으로 결합되며, 상기 제2면을 갖는 제2플레이트를 포함하고,상기 에어 베어링은 상기 제1 및 제2면의 복수의 개소에 위치하는 것을 특징으로 하는 능동 보정형 스테이지
3 3
제1항에 있어서, 상기 5 자유도 운동 오차는,y축 운동 오차, z축 운동 오차, 롤링 운동 오차, 피치 운동 오차, 및 요 운동 오차를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 보정형 스테이지
4 4
제1항에 있어서, 상기 제1 내지 제5액츄에이터는,상기 가이드 지지체와 마주하게 배치된 영구자석;상기 영구자석을 지지하는 내부 코어;상기 내부 코어의 외곽에 권선되는 코일; 및상기 코일의 외곽에 설치되는 링 형태의 외부 코어를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 보정형 스테이지
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서, 상기 제어유닛은,상기 제어 전류값과 관련된 제어 신호를 발생시키는 제어기; 및상기 제어신호에 따라 상기 제1 내지 제5액츄에이터에 해당 전류를 인가하는 전력 증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 보정형 스테이지
8 8
제1항에 있어서,상기 테이블에 설치되며, 상기 테이블의 진동신호를 검출하는 가속도계를 더 포함하고,상기 제어유닛은 진동신호를 근거로 상기 테이블의 5 자유도 진동 오차를 감쇠하기 위한 댐핑 제어 전류값을 산출하는 것을 특징으로 하는 능동 보정형 스테이지
9 9
제8항에 있어서,상기 진동신호는 5 자유도의 진동 모드에 각각 대응되는 고유 진동수 대역 신호를 통과시키는 제1 내지 제5밴드패스필터를 통과하며,상기 제어유닛은 필터링된 신호를 근거로 피드백 제어 방식을 통해 상기 자기 액츄에이터를 제어하는 것을 특징으로 하는 능동 보정형 스테이지
10 10
제1항을 따르는 능동 보정형 스테이지의 운동 오차 보정 방법에 있어서,미리 측정된 상기 테이블의 이동 위치에 따른 5 자유도 방향 운동 오차값을 근거로 보정 정보를 산출하는 단계;상기 테이블이 직선 이동함에 따라 상기 리니어 엔코더로부터 인가되는 센싱값과 상기 보정 정보를 근거로 상기 테이블의 위치에 대응되는 제어 전류값을 산출하는 단계; 및상기 테이블과 가이드 지지체 사이에 제어력이 인가되도록 상기 제어 전류값에 해당하는 전류를 상기 제1 내지 제5액츄에이터에 인가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 보정형 스테이지의 운동 오차 보정 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP02714325 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP02714325 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 JP05473040 JP 일본 FAMILY
4 JP25533810 JP 일본 FAMILY
5 US09079279 US 미국 FAMILY
6 US20140076207 US 미국 FAMILY
7 WO2012165872 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
8 WO2012165872 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 EP2714325 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP2714325 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 EP2714325 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 JP2013533810 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JP5473040 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 US2014076207 US 미국 DOCDBFAMILY
7 US9079279 US 미국 DOCDBFAMILY
8 WO2012165872 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
9 WO2012165872 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 나노기반초정밀/초미세 Hybrid 가공시스템의 원천기술 및 공통 핵심 요소개발(2/3)