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공기 정압 공기 베어링으로서, 공기 정압 너트 및 상기 공기 정압 너트에 결합되는 리드 스크류를 포함하되, 상기 공기 정압 너트는, 그 내부로 공기를 유입하는 공기 유입구를 구비한 하우징;상기 하우징 내에 배치되되, 나선형 패턴으로 배치된 복수의 개구를 구비하며, 상기 공기 유입구 및 상기 복수의 개구와 유체적으로 상호 연결된 나선형 플래넘 챔버 및상기 복수의 개구에 각각 배치된 복수의 다공성 매체를 포함하고, 상기 리드 스크류는 상기 복수의 다공성 매체 각각으로부터 이격된 나사산 표면을 포함하며,상기 복수의 개구 각각은 상기 복수의 다공성 매체가 안착되는 시트를 포함하는, 공기 정압 공기 베어링
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제 1 항에 있어서, 상기 복수의 개구는 상기 공기 정압 너트의 대향면 상에 쌍으로 형성되는 공기 정압 공기 베어링
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제 1 항에 있어서, 상기 복수의 다공성 매체 각각은 디스크 형상으로 이루어지는 공기 정압 공기 베어링
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제 1 항에 있어서, 상기 복수의 개구 각각은 원형 형상으로 이루어지는 공기 정압 공기 베어링
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제 1항에 있어서, 상기 복수의 다공성 매체 각각은 그래파이트 재료를 포함하는 공기 정압 공기 베어링
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제 1항에 있어서, 상기 시트는 상기 개구 내부에 형성된 플랜지를 포함하는 공기 정압 공기 베어링
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제 7항에 있어서, 상기 플랜지는 플랙서블한 공기 정압 공기 베어링
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제 7항에 있어서, 상기 플랜지와 상기 다공성 매체 사이에 위치되는 판 스프링을 더 포함하는 공기 정압 공기 베어링
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제 1항에 있어서,상기 리드 스크류의 나사산 프로파일은 사다리꼴인 공기 정압 공기 베어링
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공기 정압 리드 스크류 액츄에이터로서, 베이스;상기 베이스에 회전가능하게 결합되며 나사산 표면을 포함하는 리드 스크류;상기 베이스에 결합되며 상기 리드 스크류의 반대 측면 상에서 상기 베이스 상에 각각 배치된 제 1 및 제 2 가이드 레일로서, 상기 리드 스크류의 리드 스크류 축 및 상기 제 1 및 제 2 가이드 레일의 축이 서로 동일 평면 상에 위치되는 제 1 및 제 2 가이드 레일;제 1 항 내지 제 5항, 제 7항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 따른 공기 정압 너트;상기 리드 스크류를 구동하기 위하여 상기 리드 스크류에 결합된 모터; 및상기 공기 정압 너트의 상기 복수의 다공성 매체의 표면을 따라 균일한 래핑을 제공하기 위하여 상기 리드 스크류에 설치되는 래핑 모듈을 포함하는, 공기 정압 리드 스크류 액츄에이터
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제 11항에 있어서, 상기 공기 정압 너트 하우징에 고정적으로 결합된 제 1 및 제 2 공기 부싱을 포함하며, 상기 제 1 및 제 2 공기 부싱을 통하여 상기 제 1 및 제 2가이드 레일이 각각 연장되는 공기 정압 리드 스크류 액츄에이터
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제 11항에 있어서,상기 래핑 모듈은 상기 리드 스크류의 축의 두 부분을 지지하는 한 세트의 스프레더 바를 포함하고, 상기 스프레더 바는 상기 가이드 레일을 정렬하여 상기 가이드 레일의 축과 상기 리드 스크류의 축이 동일 평면 상에 놓이도록 하는 공기 정압 리드 스크류 액츄에이터
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제 11항에 있어서, 상기 공기 정압 너트의 하우징을 상기 가이드 레일에 부착하기 위한 두 개의 래핑 아우트리거를 더 포함하며, 상기 래핑 아우트리거는 래핑 동작동안 상기 가이드 레일의 틸트 및 요를 제한하는 공기 정압 리드 스크류 액츄에이터
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공기 정압 공기 베어링을 조립하는 방법으로서, 그 내부로 공기를 유입하는 공기 유입구를 구비한 하우징, 상기 하우징 내에 배치되되, 나선형 패턴으로 배치되며 시트가 포함된 복수의 개구를 구비하며, 상기 공기 유입구 및 상기 복수의 개구와 유체적으로 상호 연결된 나선형 플래넘 챔버를 구비한 공기 정압 너트를 제공하는 단계;나사산 표면을 포함하는 리드 스크류를 제공하는 단계;복수의 다공성 매체를 제공하는 단계;상기 복수의 다공성 매체가 나선형 나사산 형상에 맞추어 지도록 상기 나사산 표면에 대하여 각각의 복수의 다공성 매체를 제 1 래핑하는 단계;상기 각각의 개구 안으로 상기 다공성 매체를 삽입하는 단계;상기 제 1 래핑된 다공성 매체의 표면 상에 표면 제한 층을 공급하는 단계; 및상기 다공성 매체 각각을 제 2 래핑하는 단계를 포함하는공기 정압 공기 베어링을 조립하는 방법
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제 16항에 있어서, 상기 제 1 래핑 단계에서는 상기 리드 스크류에 거친 연마용 화합물이 도포된 상태로 상기 리드 스크류 상에서 상기 너트가 자유로이 슬라이딩하여 상기 다공성 매체가 거칠게 래핑되고, 상기 제 2 래핑 단계에서는 상기 리드 스크류에 상기 제 1 래핑 단계에서 사용된 연마용 화합물보다 조밀한 연마용 화합물이 도포된 상태로 상기 리드 스크류 상에서 상기 너트가 자유로이 슬라이딩하여 상기 다공성 매체가 정밀하게 래핑되는 공기 정압 공기 베어링을 조립하는 방법
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