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난분해성 가스용 플라즈마 반응기에 있어서,유입구를 통하여 유입된 난분해성 가스가 2차의 플라즈마 반응이 이루어지도록 2개의 반응부가 형성되도록 다수개의 전극이 설치되되, 1차 반응부가 형성되도록 1차 고전압전극 내측으로 소정의 공간이 형성되게 접지전극이 설치되고, 2차 반응부가 형성되도록 접지전극 내측으로 소정의 공간이 형성되게 2차 고전압전극이 설치됨을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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난분해성 가스용 플라즈마 반응기에 있어서,난분해성 가스를 유입하는 유입구(60)가 설치된 몸체(11)와, 반응된 가스가 배출되는 배출구(15)가 형성된 상부판(13)과, 구성요소를 지지하는 하부판(14)으로 이루어진 반응로(10)와;상기 반응로(10)의 내측으로 몸체(11)와 소정의 공간이 형성되도록 설치되어 예열공간(12)이 형성되도록 설치된 유입홀(21)이 형성된 1차 고전압전극(20)과;상기 1차 고전압전극(20)의 내측으로 소정의 공간이 형성되도록 설치되어 1차 플라즈마 반응부(A)이 형성되도록 설치된 유입홀(31)이 형성된 접지전극(30)과;상기 접지전극(30)의 내측으로 유입홀(31)을 통하여 유입된 1차 플라즈마 반응한 난분해성 가스가 2차 플라즈마 반응을 하도록 설치된 2차 고전압전극(40)을 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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난분해성 가스용 플라즈마 반응기에 있어서,유입관(80)을 통하여 유입되는 연료/산화제를 예열하도록 형성된 예열공간(52)과, 상기 유입관(80)을 통하여 유입되는 연료/산화제와 반응하도록 3차 반응부(C)가 형성된 상부몸체(50)와;상기 상부몸체(50) 하측으로 난분해성 가스를 유입하는 유입구(60)가 설치된 몸체(11)와, 반응된 가스가 배출되는 배출구(15)가 형성된 상부판(13)과, 구성요소를 지지하는 하부판(14)으로 이루어진 반응로(10)와;상기 반응로(10)의 내측으로 몸체(11)와 소정의 공간이 형성되도록 설치되어 예열공간(12)이 형성되도록 설치된 유입홀(21)이 형성된 1차 고전압전극(20)과;상기 1차 고전압전극(20)의 내측으로 소정의 공간이 형성되도록 설치되어 1차 플라즈마 반응부(A)이 형성되도록 설치된 유입홀(31)이 형성된 접지전극(30)과;상기 접지전극(30)의 내측으로 유입홀(31)을 통하여 유입된 1차 플라즈마 반응한 난분해성 가스가 2차 플라즈마 반응을 하도록 설치된 2차 고전압전극(40)을 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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난분해성 가스용 플라즈마 반응기에 있어서,난분해성 가스를 유입하는 유입구(60)와, 상기 유입구(60)를 통하여 유입된 난분해성 가스를 예열하도록 예열공간(52)이 형성된 상부몸체(50)와;상기 상부몸체(50) 하측으로 설치되되, 예열공간(52)에서 예열된 난분해성 가스가 공급되도록 1개 이상의 관통홀이 설치된 반응된 가스가 배출되는 배출구(15)가 형성된 상부판(13)과, 몸체(11)와, 구성요소를 지지하는 하부판(14)으로 이루어진 반응로(10)와;상기 반응로(10)의 내측으로 몸체(11)와 소정의 공간이 형성되도록 설치되어 예열공간(12)이 형성되도록 설치된 유입홀(21)이 형성된 1차 고전압전극(20)과;상기 1차 고전압전극(20)의 내측으로 소정의 공간이 형성되도록 설치되어 1차 플라즈마 반응부(A)이 형성되도록 설치된 유입홀(31)이 형성된 접지전극(30)과;상기 접지전극(30)의 내측으로 유입홀(31)을 통하여 유입된 1차 플라즈마 반응한 난분해성 가스가 2차 플라즈마 반응을 하도록 설치된 2차 고전압전극(40)을 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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난분해성 가스용 플라즈마 반응기에 있어서,난분해성 가스를 유입하는 유입구(60)와, 연료/산화제를 공급하는 유입관(80)이 설치되고, 상기 유입구(60)를 통하여 유입된 난분해성 가스를 예열하도록 예열공간(52)이 형성되고, 상기 유입관(80)을 통하여 유입되는 연료/산화제와 반응하도록 3차 반응부(C)가 형성된 상부몸체(50)와;상기 상부몸체(50) 하측으로 설치되되, 예열공간(52)에서 예열된 난분해성 가스가 공급되도록 1개 이상의 관통홀이 설치된 반응된 가스가 배출되는 배출구(15)가 형성된 상부판(13)과, 몸체(11)와, 구성요소를 지지하는 하부판(14)으로 이루어진 반응로(10)와;상기 반응로(10)의 내측으로 몸체(11)와 소정의 공간이 형성되도록 설치되어 예열공간(12)이 형성되도록 설치된 유입홀(21)이 형성된 1차 고전압전극(20)과;상기 1차 고전압전극(20)의 내측으로 소정의 공간이 형성되도록 설치되어 1차 플라즈마 반응부(A)이 형성되도록 설치된 유입홀(31)이 형성된 접지전극(30)과;상기 접지전극(30)의 내측으로 유입홀(31)을 통하여 유입된 1차 플라즈마 반응한 난분해성 가스가 2차 플라즈마 반응을 하도록 설치된 2차 고전압전극(40)을 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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6
제 3항 또는 제 5항에 있어서,상기 유입관(80)의 단부에는 공급되는 연료를 분사하는 분사장치(81)가 더 설치됨을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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제 4항 또는 제 5항에 있어서,상기 상부몸체(50)의 예열공간(52)과 반응로(10)의 예열공간(12) 사이에 형성된 1개 이상의 관통홀에는 난분해성 가스가 충분히 예열될 수 있도록 예열공간(52) 상측으로 입구가 형성되고 예열공간(12) 하측으로 출구가 형성되도록 연통관(90)이 설치됨을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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8
제 2항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유입홀(21)은 1차 고전압전극(20)의 상측에 1개 이상으로 접선방향으로 경사지게 형성됨을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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9
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 접지전극(30)은 외측으로 1차 반응부(A)가 형성되고 내측으로 2차 반응부(B)가 형성되도록 원통 형태로 형성되되,상기 1차 반응부(A)가 접지전극(30) 외측의 하측 부분에서 형성되도록 상부는 두껍고 하측은 얇게 접지전극(30)이 형성되며, 상기 1차 반응부(A)에서 반응된 난분해성 가스가 접지전극(30)의 내부로 유입되도록 형성된 유입홀(31)은 접지전극(30) 하측에 형성되고, 상기 2차 고전압전극(40)은 접지전극(30) 내측 상측으로 2차 반응부(B)가 형성되도록 접지전극(30)에 비하여 길이가 짧게 형성됨을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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10
제 9항에 있어서,상기 접지전극(30)에 형성된 유입홀(31)은 1개 이상으로 형성되며, 접선방향으로 경사지게 형성됨을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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11
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 2차 고전압전극(40)에는 유입관(70)이 연설되고, 상기 유입관(70)으로 유입된 연료/산화제가 분사되도록 유입홀(41)이 형성됨을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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12
제 11항에 있어서,상기 2차 고전압전극(40)에 유입관(70)으로 유입된 연료/산화제를 예열할 수 있도록 예열공간(42)이 형성됨을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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| 13 |
13
제 11항에 있어서,상기 유입홀(41)은 2차 고전압전극(40)의 상부에 1개 이상으로 형성되며, 접선방향으로 경사지게 형성됨을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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| 14 |
14
제 11항에 있어서,상기 2차 고전압전극(40)에 유입관(70)으로 유입된 연료/산화제를 예열할 수 있도록 예열공간(42)이 형성되고, 상기 유입홀(41)은 2차 고전압전극(40)의 상부에 1개 이상으로 형성되며, 접선방향으로 경사지게 형성됨을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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15
제 9항에 있어서,상기 2차 고전압전극(40)에는 유입관(70)이 연설되고, 상기 유입관(70)으로 유입된 연료/산화제가 분사되도록 유입홀(41)이 형성됨을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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제 15항에 있어서,상기 2차 고전압전극(40)에 유입관(70)으로 유입된 연료/산화제를 예열할 수 있도록 예열공간(42)이 형성되고, 상기 유입홀(41)은 2차 고전압전극(40)의 상부에 1개 이상으로 형성되며, 접선방향으로 경사지게 형성됨을 특징으로 하는 난분해성 가스용 플라즈마 반응기
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