맞춤기술찾기
이전대상기술
기판 식각 방법 및 장치, 기판 식각용 스탬프 및 이의 제조 방법(APPARATUS AND METHOD FOR ETCHING SUBSTRATE, STAMP FOR ETCHING SUBSTRATE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME)
- 기술번호 : KST2016006117
- 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-6124-6930
| 요약 | 본 발명은 기판 식각 방법 및 장치, 그리고 기판 식각용 스탬프 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 식각 방법은 금속 촉매가 형성된 패턴을 구비한 스탬프를 기판상에 접촉시키고, 금속 촉매와 식각 용액 간의 화학적 반응에 의하여 기판을 식각하는 단계를 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/3065 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) |
| CPC | H01L 21/3065(2013.01) H01L 21/3065(2013.01) H01L 21/3065(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020140091222 (2014.07.18) |
| 출원인 | 연세대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2016-0010825 (2016.01.28) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2014.07.18) |
| 심사청구항수 | 4 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 오정우 | 대한민국 | 인천광역시 연수구 |
| 2 | 기부근 | 대한민국 | 인천광역시 연수구 |
| 3 | 송윤원 | 대한민국 | 인천광역시 연수구 |
| 4 | 최거락 | 대한민국 | 인천광역시 연수구 |
| 5 | 김경호 | 대한민국 | 서울특별시 종로구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 권혁수 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소) |
| 2 | 송윤호 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 연세대학교 산학협력단 | 서울특별시 서대문구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2014.07.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0678399-34 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2014.12.05 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2015.01.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-2015-0002931-03 |
| 5 | [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Resignation of Agent] Report on Agent (Representative) |
2015.01.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0060422-60 |
| 6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2015.04.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0265139-97 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2015.06.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0602762-36 |
| 8 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2015.06.22 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0602763-82 |
| 9 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2015.11.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0817879-02 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2016.01.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0081787-80 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2016.01.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2016-0081797-36 |
| 12 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2016.05.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0385007-95 |
| 13 | [명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2016.06.29 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2016-0630714-91 |
| 14 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2016.06.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0630698-47 |
| 15 | 등록결정서 Decision to Grant Registration |
2016.07.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0523022-74 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 금속 촉매와 식각 용액 간의 화학적 반응에 의하여 하나 이상의 기판을 순차적으로 식각하는 방법으로,금속 촉매가 형성된 패턴을 구비한 스탬프를 기판 상에 접촉시키는 단계;상기 기판의 식각 진행 정도에 따라 상기 기판과 상기 스탬프 간의 거리를 감소시켜, 식각 과정에서 상기 기판에 상기 스탬프가 접촉된 상태로 유지되어, 상기 기판과 상기 스탬프에 형성된 금속 촉매 사이에서 화학적 반응이 계속 일어나도록 조절하면서 상기 기판을 식각하는 단계;상기 기판에 소정의 깊이만큼 식각이 완료되면, 기판으로부터 멀어지도록 스탬프를 이동시키는 단계; 및식각할 다른 기판이 더 존재하는 경우, 상기 기판을 다른 기판으로 교체하여 상기 스탬프를 교체된 기판 상에 접촉시켜 식각을 수행하는 단계를 포함하며,상기 스탬프는 상기 식각 용액에 식각되지 않는 물질로 이루어지는 기판 식각 방법 |
| 2 |
2 삭제 |
| 3 |
3 제1 항에 있어서,상기 기판에 대하여 상기 스탬프에 압력을 가한 상태로 상기 기판을 식각하는 기판 식각 방법 |
| 4 |
4 제1 항에 있어서,상기 금속 촉매는 금, 은, 백금 및 팔라듐 중의 적어도 하나를 포함하는 기판 식각 방법 |
| 5 |
5 삭제 |
| 6 |
6 제1 항에 있어서,상기 기판은 실리콘이나 게르마늄으로 이루어지는 단원계 반도체이거나 GaAs, AlGaAs 또는 InAlGaAs 다원계 반도체인 기판 식각 방법 |
| 7 |
7 삭제 |
| 8 |
8 삭제 |
| 9 |
9 삭제 |
| 10 |
10 삭제 |
| 11 |
11 삭제 |
| 12 |
12 삭제 |
| 13 |
13 삭제 |
| 14 |
14 삭제 |
| 15 |
15 삭제 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US09911615 | US | 미국 | FAMILY |
| 2 | US20160020112 | US | 미국 | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US2016020112 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 2 | US9911615 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 교육부 | 연세대학교 | 일반연구자지원(교육부) | 무결함 3차원 화학식각 기술을 이용한 고효율 III-V 에너지 획득 소자 제작 |
| 등록사항 정보가 없습니다 |
|---|
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2014.07.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0678399-34 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 | 2014.12.05 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 | 2015.01.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-2015-0002931-03 |
| 5 | [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2015.01.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0060422-60 |
| 6 | 의견제출통지서 | 2015.04.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0265139-97 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2015.06.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0602762-36 |
| 8 | [명세서등 보정]보정서 | 2015.06.22 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0602763-82 |
| 9 | 의견제출통지서 | 2015.11.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0817879-02 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2016.01.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0081787-80 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 | 2016.01.25 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2016-0081797-36 |
| 12 | 거절결정서 | 2016.05.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0385007-95 |
| 13 | [명세서등 보정]보정서(재심사) | 2016.06.29 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2016-0630714-91 |
| 14 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2016.06.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0630698-47 |
| 15 | 등록결정서 | 2016.07.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0523022-74 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345224727 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2013R1A1A2012111 |
| 연구과제명 | 무결함 3차원 화학식각 기술을 이용한 고효율 III-V 에너지 획득 소자 제작 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2014 |
| 연구기간 | 201306~201605 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1711013989 |
|---|---|
| 세부과제번호 | H0201-14-1002 |
| 연구과제명 | 글로벌융합기술원 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2014 |
| 연구기간 | 201009~201912 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
특허성과
| [1020140174362] | 감성 효과 생성을 위한 인물 영상 처리 장치 및 그 방법(Apparatus and Method of portrait image processing for style synthesis) | 새창보기 |
|---|---|---|
| [1020140167124] | 차량 위치 인식 장치 및 방법(APPARATUS AND METHOD FOR RECOGNIZING POSITION OF VEHICLE) | 새창보기 |
| [1020140152375] | 영상 인식 방법 및 장치(Method and Device for Recognizing Image) | 새창보기 |
| [1020140142697] | 무인항공기에서 투하하는 물체의 착지 위치 예측 방법 및 장치(Estimation method and equipment of landing position of object dropped from UAV) | 새창보기 |
| [1020140142694] | 다수의 물체를 무인항공기에서 투하하기 위한 장치 및 방법(Apparatus and method for dropping multiple objects from UAV) | 새창보기 |
| [1020140134876] | 차량용 스마트 키와, 인포테인먼트 서비스 제공 방법 및 장치(Smart Key, Infortaninment Service Methood and Device for Vehicle) | 새창보기 |
| [1020140117195] | 토모그래피 장치 및 그의 기하 보정 방법(TOMOGRAPHY APPARAUS AND METHOD FOR GEOMETRIC CALIBRATION THEREOF) | 새창보기 |
| [1020140115468] | 컴퓨터 단층촬영 장치 및 방법(APPARATUS AND METHOD FOR COMPUTED TOMOGRAPHY) | 새창보기 |
| [1020140113242] | 토모그래피 장치 및 그의 기하 보정 방법(TOMOGRAPHY APPARAUS AND METHOD FOR GEOMETRIC CALIBRATION THEREOF) | 새창보기 |
| [1020140111487] | 복수의 UAV를 이용한 스테레오 비전 시스템(STEREO VISION SYSTEM USING A PLURALITY OF UAV) | 새창보기 |
| [1020140106093] | 세이프티 스틱, 이를 이용한 세이프티 서비스 제공 시스템 및 방법(SAFETY STICK, SYSTEM AND METHOD FOR PROVIDING SAFETY SERVICE USING THE SAME) | 새창보기 |
| [1020140101754] | 레이더의 복사소자 및 레이더 시스템(RADAR ELEMENT AND RADAR SYSTEM) | 새창보기 |
| [1020140101736] | 무인 비행체 및 이의 제어 방법(UNMANNED AERIAL VEHICLE AND CONTROL METHOD OF THE SAME) | 새창보기 |
| [1020140091222] | 기판 식각 방법 및 장치, 기판 식각용 스탬프 및 이의 제조 방법(APPARATUS AND METHOD FOR ETCHING SUBSTRATE, STAMP FOR ETCHING SUBSTRATE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME) | 새창보기 |
| [1020140078289] | 이로란 신호의 ASF 측정 시스템 및 방법(ELORAN ASF SURVEY SYSTEM AND METHOD THEREOF) | 새창보기 |
| [1020140077445] | 의료 영상 장치 및 그의 영상 보정 방법(MEDICAL IMAGING DEVICE AND IMAGE COMPENSATING METHOD THEREOF) | 새창보기 |
| [1020140075830] | 경호용 무인 항공기(UNMANNED AERIAL VEHICLES FOR BODY-GUARD SERVICE) | 새창보기 |
중요키워드
| [KST2015125679][연세대학교] | 대변위 정밀 회전운동 장치 | 새창보기 |
|---|---|---|
| [KST2015125698][연세대학교] | 나노와이어 소자를 임의 형태로 프린팅하여 나노 소자를 제조하는 방법 및 상기 방법에 사용되는 중간체 빌딩 블록 | 새창보기 |
| [KST2015125507][연세대학교] | 졸-겔 공정과 롤투롤 공정을 이용한 전자 소자 제조 방법 | 새창보기 |
| [KST2015125774][연세대학교] | 마이크로임프린팅을 이용한 ＰＶＤＦ 박막의 강유전성 패턴어레이를 제조하는 방법 | 새창보기 |
| [KST2015126941][연세대학교] | 무감광 리소그래피에 의한 박막 패터닝 방법 | 새창보기 |
| [KST2015209785][연세대학교] | 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치 및 이를 이용한 고속미세패턴 기록시스템 | 새창보기 |
| [KST2014018296][연세대학교] | 초고성능 나노 기반 수소 센서 | 새창보기 |
| [KST2015125993][연세대학교] | 전기수력학적 분무방식의 미세 전도성라인 패터닝 장치 및이를 이용한 패터닝 방법 | 새창보기 |
| [KST2015125905][연세대학교] | 마이크로/나노 금속패터닝 방법 | 새창보기 |
| [KST2015124834][연세대학교] | 집속이온빔과 ＭＲＦ를 이용한 나노 구조물의 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2015127173][연세대학교] | 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치 및 방법 | 새창보기 |
| [KST2015127027][연세대학교] | 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 폴리(3-헥실 티오펜)(Ｐ３ＨＴ) 박막의 마이크로패터닝 방법 및 상기 Ｐ３ＨＴ 마이크로패턴화된 박막을 활성층으로 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2014008904][연세대학교] | 신규의 희생층 재료를 이용한 기판 상에서의 나노와이어 패터닝 방법 | 새창보기 |
| [KST2015127658][연세대학교] | 용매 어닐링과 디웨팅을 이용한 블록공중합체의 나노구조의패턴화방법 | 새창보기 |
| [KST2015124856][연세대학교] | 패턴 형성방법, 패턴 형성방법을 이용한 자기저항 효과막제조 방법 및 이에 의해 제조된 자기저항 효과막과 자기응용 소자 | 새창보기 |
| [KST2014009506][연세대학교] | 레이저 직접 박막 패터닝 방법 | 새창보기 |
| [KST2015124874][연세대학교] | 나노 임프린트 방식을 이용한 다결정 나노 패턴 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2015125701][연세대학교] | 포토마스크의 세정방법 | 새창보기 |
| [KST2017017199][연세대학교] | 포토 레지스트의 제거방법(METHOD FOR REMOVAL OF PHOTORESIST) | 새창보기 |
| [KST2015124759][연세대학교] | 전도성 라인 형성을 위한 패터닝 장치 | 새창보기 |
| [KST2015127607][연세대학교] | 스탬프 제작방법과 이를 이용한 패턴드 미디어 제작방법 | 새창보기 |
| [KST2015125089][연세대학교] | 집속이온빔을 이용한 나노패턴 형성방법 | 새창보기 |
| [KST2015127171][연세대학교] | 마이크로임프린팅 및 디웨팅을 이용한 고분자 박막의마이크로/나노 패턴화 방법 | 새창보기 |
| [KST2015127631][연세대학교] | 그라핀-폴리머 복합체, 그라핀-폴리머 복합체가 구비된 디바이스 및 그들의 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2015125211][연세대학교] | 잉크젯 프린팅을 이용한 미세 패턴 제조 방법 및 패턴구조체 | 새창보기 |
| [KST2018003317][연세대학교] | 포토레지스트 제거용 조성물 및 이를 이용한 포토레지스트의 제거방법(COMPOSITION FOR REMOVING PHOTORESIST AND METHOD FOR REMOVAL OF PHOTORESIST USING THE SAME) | 새창보기 |
| [KST2015125813][연세대학교] | 포피린으로 기능화 처리한 공중부유형 산화아연 나노선 기반 ＶＯＣ 센서 제작 방법 및 그 방법으로 제작된 ＶＯＣ 센서 | 새창보기 |
| [KST2015125341][연세대학교] | 반도체 가스센서 | 새창보기 |
| [KST2017000277][연세대학교] | 위상 절연체의 임계 적층두께 도출방법(Deduction method of critical laminate thickness for topological insulator) | 새창보기 |
| [KST2015126762][연세대학교] | 금속 나노 입자의 국소 표면 플라즈몬 공명을 이용한 패터닝 장치 및 이를 이용한 패턴 형성방법 | 새창보기 |
| 심판사항 정보가 없습니다 |
|---|