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상온에서 구동가능한 가스센서 및 이의 제조방법(Gas sensor operable at room temperature and preparation method thereof)

  • 기술번호 : KST2016006335
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 상온에서 구동가능한 가스센서 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 다수의 전극이 교대로 배열된 IDE(interdigitated electrode) 전극; 상기 전극 위에 형성된 금속 이황화물; 및 상기 금속 이황화물 위에 형성된 금속 나노입자;를 포함하는 상온에서 구동가능한 가스센서 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) C23C 14/00 (2006.01)
CPC G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01)
출원번호/일자 1020140096599 (2014.07.29)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1662890-0000 (2016.09.28)
공개번호/일자 10-2016-0014844 (2016.02.12) 문서열기
공고번호/일자 (20161006) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.29)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장호원 대한민국 서울특별시 관악구
2 최유림 대한민국 경기도 하남시 상
3 김수영 대한민국 서울특별시 동작구
4 권기창 대한민국 경기도 수원시 권선구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-0718547-23
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.12.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0075546-16
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0019822-49
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2016-0217012-26
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.03.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0217017-54
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2016.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0580824-44
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0887109-37
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2016.09.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0887110-84
12 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2016.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0674736-51
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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다수의 전극이 교대로 배열된 IDE(interdigitated electrode) 전극;상기 전극 위에 형성된 금속 이황화물; 및상기 금속 이황화물 위에 형성된 금속 나노입자;를 포함하는 상온에서 구동가능한 가스센서에 있어서,상기 금속 이황화물은 텅스텐 이황화물이고, 상기 금속 나노입자는 금(Au)이며,상기 가스센서는 상온에서 5 ppm의 이산화질소를 감지하고, 50 내지 100 ppm의 에탄올을 감지하며,상기 금속 이황화물은 암모늄 화합물을 유기용매에 용해시켜 전구체 용액을 제조한 후 기판 위에 스핀코팅하여 박막을 형성시킨 다음, 상기 형성된 박막을 황이 구비된 화학기상 증착기에 구비시키고 가열하여 열 화학기상 증착법으로 금속 이황화물 박막으로 제조한 다음, 상기 금속 이황화물 박막에서 기판을 제거한 후 상기 전극 위에 전사하여 형성되고,상기 금속 나노입자는 상기 금속 이황화물 위에 증착을 통해 형성되며,상기 암모늄 화합물은 암모늄 테트라티오텅스테이트(ammonium tetrathiotungstate)이고,상기 스핀코팅은 3000 ~ 4000 rpm에서 50 ~ 70초 동안 수행되며,상기 기판은 실리콘 산화물(SiO2) 또는 알루미나를 포함하고,상기 전극은 인듐 주석 산화물(ITO)을 포함하며,상기 가열은 500 ~ 950 ℃에서 수행되고,상기 열 화학기상 증착법은 0
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암모늄 화합물을 유기용매에 용해시켜 전구체 용액을 제조한 후 기판 위에 스핀코팅하여 박막을 형성시키는 단계;상기 제조된 박막을 황이 구비된 화학기상 증착기에 구비시키고 가열하여 열 화학기상 증착법으로 금속 이황화물 박막으로 제조하는 단계; 상기 금속 이황화물 박막에서 기판을 제거한 후 금속 이황화물을 전극 위에 전사하는 단계; 및상기 전극 위에 전사된 금속 이황화물에 금속 나노입자를 증착시키는 단계;를 포함하되,상기 암모늄 화합물은 암모늄 테트라티오텅스테이트(ammonium tetrathiotungstate)이고,상기 금속 이황화물은 텅스텐 이황화물이며, 상기 금속 나노입자는 금(Au)이며,상기 스핀코팅은 3000 ~ 4000 rpm에서 50 ~ 70초 동안 수행되며,상기 기판은 실리콘 산화물(SiO2) 또는 알루미나를 포함하고,상기 전극은 인듐 주석 산화물(ITO)을 포함하며,상기 가열은 500 ~ 950 ℃에서 수행되고,상기 열 화학기상 증착법은 0
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제5항에 있어서,상기 유기용매는 메탄올, 에탄올, 이소프로판올, 부탄올, 에틸렌글리콜, 글리세롤, 디에틸렌 글리콜, 에틸 아세테이트, 부틸아세테이트, 메틸에틸 케톤, 아세톤 및 벤젠으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 모바일 기기용 상온에서 구동가능한 가스센서의 제조방법
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 서울대학교 글로벌프런티어연구개발사업 모바일 실시간 환경 모니터링용 2차원 나노물질 기반 고감도·고신뢰성·저소비전력 화학센서 어레이 개발