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멤리스터 소자 및 그 제조방법(Memristor element and method for manufacturing the same)

  • 기술번호 : KST2016006876
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 교차 정렬된 나노구조체 라인을 이용한 멤리스터 소자 및 그 제조방법이 개시된다. 이는 하나 이상의 제1 및 제2 고분자/전구체 나노구조체 라인을 서로 교차하도록 형성하고, 이를 열처리하여 열처리에 의해 고분자가 제거되어 교차하는 제1 금속 나노구조체 라인과 제2 금속 나노구조체 라인이 형성되고, 제1 금속 나노구조체 라인과 제2 금속 나노구조체 라인 사이의 교차 부위에 금속-산화물-금속 캐패시터 구조가 형성됨으로써 고집적의 멤리스터 소자가 제공된다.
Int. CL H01L 27/115 (2017.01.01) H01L 21/8247 (2006.01.01)
CPC H01L 27/11507(2013.01)
출원번호/일자 1020140104669 (2014.08.12)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0020049 (2016.02.23) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이태우 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 서문도 중국 경상북도 포항시 남구
3 이영준 대한민국 대전광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-0763662-10
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
멤리스터 소자로서:서로 간격을 가지고 배열된 하나 이상의 제1 금속 나노구조체 라인;상기 제1 금속 나노구조체 라인과 교차하는 방향으로 서로 간격을 가지고 배열된 하나 이상의 제2 금속 나노구조체 라인; 및상기 제1 금속 나노구조체 라인과 상기 제2 금속 나노구조체 라인의 사이에 배치되는 산화물층;을 포함하는, 멤리스터 소자
2 2
청구항 1에 있어서,상기 산화물층은 적어도 상기 제1 금속 나노구조체 라인과 상기 제2 금속 나노구조체 라인이 교차하는 부위에 배치되어, 금속-산화물-금속 구조의 캐패시터가 형성되는 것인, 멤리스터 소자
3 3
청구항 1에 있어서,상기 제1 금속 나노구조체 라인 또는 상기 제2 금속 나노구조체 라인은 5㎚ 내지 100㎛의 선폭을 가지는 것인, 멤리스터 소자
4 4
청구항 1에 있어서,상기 제1 금속 나노구조체 라인들 간의 간격과 상기 제2 금속 나노구조체 라인들 간의 간격은 10㎚ 이상인 것인, 멤리스터 소자
5 5
청구항 1에 있어서,상기 제1 금속 나노구조체 라인 또는 상기 제2 금속 나노구조체 라인은 직선, 곡선, 지그재그선, 곡선 부위를 하나 이상 포함하는 선, 또는 절곡 부위를 하나 이상 포함하는 선 형태인 것인, 멤리스터 소자
6 6
청구항 1에 있어서,상기 제1 금속 나노구조체 라인과 상기 제2 금속 나노구조체 라인의 사이 각도는 0도 보다 크고, 180도 보다 작은 것인, 멤리스터 소자
7 7
청구항 1 내지 6 중 어느 하나에 있어서,상기 제1 금속 나노구조체 라인 또는 상기 제2 금속 나노구조체 라인은 프린팅을 포함하는 과정을 통해 형성되는 것인, 멤리스터 소자
8 8
멤리스터 소자를 제조하는 방법으로서:고분자와 금속 전구체 혼합용액을 이용한 프린팅을 통해 기판 상에 서로 간격을 가지고 배열된 제1 고분자/전구체 나노구조체 라인을 하나 이상 형성하는 단계;고분자와 금속 전구체 혼합용액을 이용한 프린팅을 통해 상기 기판 상에 상기 제1 고분자/전구체 나노구조체 라인과 교차하는 방향으로 서로 간격을 가지고 배열된 제2 고분자/전구체 나노구조체 라인을 하나 이상 형성하는 단계; 및상기 제1 및 제2 고분자/전구체 나노구조체 라인을 열처리하는 단계;를 포함하고,상기 열처리에 의해 고분자가 제거되어 교차하는 제1 금속 나노구조체 라인과 제2 금속 나노구조체 라인이 형성되고, 상기 제1 금속 나노구조체 라인과 상기 제2 금속 나노구조체 라인 사이에는 산화물층이 형성되는 것인, 멤리스터 소자 제조 방법
9 9
청구항 8에 있어서,상기 산화물층은 상기 제1 금속 나노구조체 라인과 상기 제2 금속 나노구조체 라인의 교차 부위에 배치되어, 금속-산화물-금속 구조를 형성하는 것인, 멤리스터 소자 제조 방법
10 10
청구항 8에 있어서,상기 프린팅 공정은 전기장 보조 로보틱 나노와이어 프린팅, 잉크젯 프린팅, 임프린팅, EHD 프린팅, 롤프린팅 및 스탬프 프린팅으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함하는 프린팅 방법을 이용하는 것인, 멤리스터 소자 제조 방법
11 11
청구항 8에 있어서상기 전구체는 Cu, Al, Mg, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Zn, Ga, Zr, Mo, Ag, Sn, Pb, W 및 Hf 으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 포함 하는 것인, 멤리스터 소자 제조 방법
12 12
청구항 8에 있어서,상기 열처리는 40℃ 내지 800℃의 온도 범위에서 1분 내지 5 시간 동안, 1 회 내지 5회 열처리 하는 것인, 멤리스터 소자 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 포항공과대학교 산학협력단 미래유망융합기술파이오니어사업 뉴로모픽(NEUROMORPHIC) 소자용 고집적 시냅스 소자 및 집적공정 개발