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기판 상부에 형성된 금속 산화층;상기 금속 산화층 상부에 형성된 촉매 패턴; 및상기 촉매 패턴 상부에 형성된 보호층;을 포함하고,상기 촉매 패턴들 사이의 상기 금속 산화층 상부와 상기 보호층 사이에 빈 공간이 형성되는 것을 특징으로 하는 수소 센서
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청구항 1에 있어서,상기 금속 산화층 상부에 형성된 리세스;상기 리세스 내에 상기 촉매 패턴이 매립된 것을 특징으로 하는 수소 센서
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청구항 1에 있어서,상기 금속 산화층 상부 표면이 엠보싱 형태인 것을 특징으로 하는 수소 센서
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청구항 4에 있어서,상기 촉매 패턴은 상기 엠보싱 형태의 금속 산화층 중 높이가 낮은 부분에 위치되는 것을 특징으로 하는 수소 센서
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청구항 1에 있어서,상기 금속 산화층은 V, Nb, Ta, Cr, Mo 또는 W를 포함하며, 상기 촉매 패턴은 팔라듐(palladium), 이리듐(iridium), 루테늄(ruthenium), 백금(platinum), 로듐(rhodium), 금, 은 및 이들의 조합 중 선택된 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서
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기판 상부에 금속 산화층을 형성하는 단계;상기 금속 산화층 상부에 촉매 패턴을 형성하는 단계; 및상기 촉매 패턴 상부에 보호층을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 촉매 패턴 상부에 보호층을 형성하는 단계에서 상기 촉매 패턴들 사이의 상기 금속 산화층과 보호층 사이에 빈 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
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청구항 7에 있어서,상기 금속 산화층을 형성하는 단계에서 상기 금속 산화층 상부 표면에 리세스를 형성하거나 엠보싱 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
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청구항 9에 있어서,상기 엠보싱 형태의 금속 산화층 중 높이가 낮은 부분에 상기 촉매 패턴을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
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청구항 9에 있어서,상기 리세스 내에 상기 촉매 패턴을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
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청구항 7에 있어서,상기 금속 산화층은 금속 산화층은 V, Nb, Ta, Cr, Mo 또는 W를 포함하는 물질로 형성하며, 상기 촉매 패턴은 팔라듐(palladium), 이리듐(iridium), 루테늄(ruthenium), 백금(platinum), 로듐(rhodium), 금, 은 및 이들의 조합 중 선택된 어느 하나의 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
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기판 상부에 형성된 금속 산화 패턴;상기 금속 산화 패턴들 사이의 기판 상부에 형성된 촉매 패턴; 및상기 금속 산화 패턴 및 촉매 패턴 상부에 형성된 보호층;을 포함하고, 상기 촉매 패턴 상부와 보호층 사이에 빈 공간이 형성되는 것을 특징으로 하는 수소 센서
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청구항 13에 있어서,상기 촉매 패턴은 상기 금속 산화 패턴들 사이의 저부 또는 상기 금속 산화 패턴들 측벽 및 저부를 따라 형성된 것을 특징으로 하는 수소 센서
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청구항 13에 있어서,상기 금속 산화 패턴은 V, Nb, Ta, Cr, Mo 또는 W를 포함하며, 상기 촉매 패턴은 팔라듐(palladium), 이리듐(iridium), 루테늄(ruthenium), 백금(platinum), 로듐(rhodium), 금, 은 및 이들의 조합 중 선택된 어느 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서
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기판 상부에 금속 산화 패턴을 형성하는 단계;상기 금속 산화 패턴들 사이의 상기 기판 상부에 촉매 패턴을 형성하는 단계; 및상기 금속 산화 패턴 및 촉매 패턴 상부에 보호층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 금속 산화 패턴 및 촉매 패턴 상부에 보호층을 형성하는 단계에서 상기 촉매 패턴 상부와 상기 보호층 사이에 빈공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
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청구항 17에 있어서,상기 촉매 패턴을 형성하는 단계는상기 금속 산화 패턴들 사이에 촉매층을 매립하는 단계상기 매립된 촉매층을 더 식각하여 상기 금속 산화 패턴과 단차를 갖는 촉매 패턴을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
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청구항 17에 있어서,상기 금속 산화 패턴 및 촉매 패턴 상부에 보호층을 형성하는 단계에서상기 금속 산화 패턴과 상기 촉매 패턴 간의 단차에 의해 상기 촉매 패턴 사이에 빈 공간이 형성되는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
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청구항 17에 있어서, 상기 촉매 패턴을 형성하는 단계는상기 금속 산화 패턴들 사이에 촉매층을 매립하는 단계상기 매립된 촉매층의 중앙부를 더 식각하여 상기 금속 산화 패턴들 사이의 저부 및 측벽을 따라 촉매층을 남기는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
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청구항 20에 있어서, 상기 금속 산화 패턴 및 촉매 패턴 상부에 보호층을 형성하는 단계에서상기 촉매 패턴 상부에 빈 공간이 형성되는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
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청구항 18에 있어서, 상기 금속 산화 패턴은 V, Nb, Ta, Cr, Mo 또는 W를 포함하는 물질로 형성하며, 상기 촉매 패턴은 팔라듐(palladium), 이리듐(iridium), 루테늄(ruthenium), 백금(platinum), 로듐(rhodium), 금, 은 및 이들의 조합 중 선택된 어느 하나의 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조 방법
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