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메쉬 구조 기반의 투명 전극 및 인쇄 공정을 이용한 상기 투명 전극의 제조 방법(Transparent electrode based on mesh structure and method for fabricating the transparent electrode using imprinting process)

  • 기술번호 : KST2016008469
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 메쉬 구조 기반의 투명 전극은 전도성 배선의 하부면, 격벽 및/또는 상부면에 블랙 특성을 갖는 광 흡수층을 형성함으로써, 투명 전극에서의 광 반사도를 최소화시켜 시인성을 향상시키는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명에 따른 투명 전극 제조 방법은 탄성체 기반의 스탬프를 이용한 임프린팅 공정을 사용하여 전도성 배선을 구현함으로써, 미세 선폭 및 우수한 종횡비의 전도성 배선을 형성가능하고, 그 결과 투명 전극의 전도도 및 투과도를 모두 향상시킬 수 있게 된다.
Int. CL B01J 21/18 (2006.01) G06F 3/041 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) H01B 13/00 (2006.01) H01B 5/14 (2006.01)
CPC H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 5/14(2013.01)
출원번호/일자 1020140131895 (2014.09.30)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1627799-0000 (2016.05.31)
공개번호/일자 10-2016-0038604 (2016.04.07) 문서열기
공고번호/일자 (20160607) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.09.30)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김학린 대한민국 대구광역시 북구
2 박지섭 대한민국 대구광역시 북구
3 최준찬 대한민국 경상북도 경주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이지연 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대구광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-0937067-45
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2015-0066272-01
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0206771-40
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.05.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0482744-77
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2016-0482714-18
7 등록결정서
Decision to grant
2016.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0384369-28
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
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번호 청구항
1 1
투명 기판;전기 전도성을 갖는 물질로 이루어지고 상기 투명 기판위에 메쉬(mesh) 구조로 형성된 전도성 배선;블랙 특성을 가지면서 화학적 습식 식각이 가능한 물질로 구성되어 상기 전도성 배선의 표면의 전체 또는 일부에 형성된 광 흡수층;을 구비하고, 상기 광 흡수층은 상기 전도성 배선의 표면 중 적어도 격벽 및 투명 기판과 접하는 하부면에 형성되어, 전도성 배선에 의한 광 반사성을 감소시킨 것을 특징으로 한 메쉬 구조 기반의 투명 전극
2 2
제1항에 있어서, 상기 전도성 배선은 금속 나노 입자를 기반으로 한 전도성 잉크, 전기 전도성을 갖는 탄소 나노 튜브 중 하나로 구성된 것을 특징으로 한 메쉬 구조 기반의 투명 전극
3 3
제1항 내지 제2항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광 흡수층은 용액 공정이 가능하면서 화학적 습식 식각이 가능한 고분자 물질 및 블랙 특성을 갖는 염료나 안료의 혼합 용액으로 구성된 것을 특징으로 하는 메쉬 구조 기반의 투명 전극
4 4
(a) 투명 기판에 임프린팅을 위한 버퍼층을 형성하는 단계;(b) 상기 버퍼층에 사전 설정된 메쉬 패턴이 형성된 스탬프를 임프린팅하여 버퍼층에 메쉬 패턴을 형성하는 단계;(c) 상기 버퍼층의 메쉬 패턴에 배선용 전도성 용액을 주입하는 단계;(d) 1차 열 소결 처리하여 배선용 전도성 용액의 용매를 제거하고 고형화시켜, 메쉬 구조의 전도성 배선을 형성하는 단계;(e) 상기 버퍼층을 식각하여 전도성 배선의 격벽 및 하부면에 박막 형태의 광 흡수층을 형성하는 단계;를 구비하는 메쉬 구조 기반의 투명 전극 제조 방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 (c) 단계이후, 메쉬 구조의 전도성 배선의 상부 표면에 추가의 버퍼층을 형성하는 단계를 더 구비하고,상기 (e) 단계는 상기 전도성 배선의 상부면, 하부면 및 격벽에 박막 형태의 광 흡수층을 형성하는 것을 특징으로 하는 메쉬 구조 기반의 투명 전극 제조 방법
6 6
제4항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 버퍼층은,용액 공정이 가능하면서 화학적 습식 식각이 가능한 고분자 물질 및 블랙 특성을 갖는 염료나 안료의 혼합 용액으로 구성된 것을 특징으로 하는 메쉬 구조 기반의 투명 전극 제조 방법
7 7
제4항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 1차 열 소결 처리하는 단계의 열 처리 온도는 상기 버퍼층이 완전히 열변성이 일어나지 않은 온도로서 전도성 배선에 인접한 영역의 버퍼층은 전도성 배선의 열전도에 의해 국부적으로 열변성이 일어나는 온도인 것을 특징으로 하는 메쉬 구조 기반의 투명 전극 제조 방법
8 8
제4항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 배선용 전도성 용액은 인쇄 공정이 가능하며 메쉬 패턴에 주입가능한 나노 사이즈의 크기의 전기 전도성을 갖는 물질로 구성된 것을 특징으로 하는 메쉬 구조 기반의 투명 전극 제조 방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 배선용 전도성 용액은 금속 나노 입자를 기반으로 한 전도성 잉크 및 탄소 나노 튜브 중 하나로 구성된 것을 특징으로 하는 메쉬 구조 기반의 투명 전극 제조 방법
10 10
제4항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스탬프에 형성된 메쉬 패턴의 높이 및 폭은 전도성 배선에서 요구되는 선폭 및 종횡비에 따라 결정된 것을 특징으로 하는 메쉬 구조 기반의 투명 전극 제조 방법
11 11
제4항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 버퍼층을 식각하여 전도성 배선의 표면에 광 흡수층을 형성한 후 2차 열소결 처리하는 단계를 더 구비하여, 전도성 배선의 전도도를 향상시키는 것을 특징으로 하는 메쉬 구조 기반의 투명 전극 제조 방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 2차 열 소결 처리하는 단계의 열 처리 온도는 버퍼층을 구성하는 물질의 녹는점(melting temperature)이하의 온도인 것을 특징으로 하는 메쉬 구조 기반의 투명 전극 제조 방법
13 13
제4항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 (b) 단계는 임프린팅함과 동시에 열처리하여 버퍼층의 용매를 제거하고 고형화를 유도하는 것을 특징으로 하는 메쉬 구조 기반의 투명 전극 제조 방법
14 14
제4항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 (e)단계는, 1차 열소결 처리시 전도성 배선의 높은 열전도 특성에 의하여 전도성 배선의 주변에 위치한 버퍼층이 국부적으로 열변성되어 결합력이 향상되고, 배선용 전도성 용액에 혼합되어 있는 가교제 물질과 흡착되어, 상기 버퍼층을 식각한 후 전도성 배선에 대하여 자기 정렬(self-align)된 광 흡수층을 형성하는 것을 특징으로 하는 메쉬 구조 기반의 투명 전극 제조 방법
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1 미래창조과학부 경북대학교 선도연구센터지원사업 기능성 소자 융합 플랫폼 연구 센터
2 교육부 경북대학교 지역혁신인력양성사업 고속구동 동적 간섭패턴 생성기 기반의 3D 비전시스템 초소형 모듈화 기술 개발