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반도체막의 성장 방법(METHOD FOR GROWING SEMICONDUCTOR FILM)

  • 기술번호 : KST2016009299
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시 예에 따른 반도체막의 성장 방법은 제1 반도체막 상에 개구부들을 포함하는 제1 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 개구부들을 통해 노출된 상기 제1 반도체막의 표면으로부터 제2 반도체막을 성장시켜서, 오목부 및 돌출부를 포함하는 상기 제2 반도체막을 형성하는 단계; 상기 돌출부의 상면이 노출되도록 상기 오목부 내부를 제2 마스크막으로 채우는 단계; 상기 제2 마스크막 및 상기 돌출부의 상면을 덮는 제3 마스크막을 형성하는 단계; 상기 돌출부 상면 상에 제3 마스크 패턴이 잔류될 수 있도록 상기 제2 마스크막을 제거하면서 상기 제2 마스크막 상에 중첩된 상기 제3 마스크막의 일부를 제거하는 단계; 및 상기 제3 마스크 패턴에 의해 상기 돌출부의 상면이 차단된 상태에서, 상기 오목부를 통해 노출된 상기 제2 반도체막의 표면으로부터 제3 반도체막을 성장시키는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 33/22 (2010.01) H01L 33/00 (2010.01)
CPC H01L 33/22(2013.01) H01L 33/22(2013.01)
출원번호/일자 1020150127775 (2015.09.09)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0047387 (2016.05.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020140142716   |   2014.10.21
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고영호 대한민국 대전광역시 유성구
2 김동철 대한민국 대전광역시 유성구
3 김성복 대한민국 대전광역시 유성구
4 남은수 대한민국 대전광역시 서구
5 배성범 대한민국 대전광역시 유성구
6 임영안 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 문용호 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 ** 디타워 D* **층(법무법인세종)
2 이용우 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 ** 디타워 D* **층(법무법인세종)
3 강신섭 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 ** 디타워 D* **층(법무법인세종)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.09.09 수리 (Accepted) 1-1-2015-0877906-96
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번호 청구항
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제1 반도체막 상에 개구부들을 포함하는 제1 마스크 패턴을 형성하는 단계;상기 개구부들을 통해 노출된 상기 제1 반도체막의 표면으로부터 제2 반도체막을 성장시켜서, 오목부 및 돌출부를 포함하는 상기 제2 반도체막을 형성하는 단계; 상기 돌출부의 상면이 노출되도록 상기 오목부 내부를 제2 마스크막으로 채우는 단계;상기 제2 마스크막 및 상기 돌출부의 상면을 덮는 제3 마스크막을 형성하는 단계;상기 돌출부 상면 상에 제3 마스크 패턴이 잔류될 수 있도록 상기 제2 마스크막을 제거하면서 상기 제2 마스크막 상에 중첩된 상기 제3 마스크막의 일부를 제거하는 단계; 및상기 제3 마스크 패턴에 의해 상기 돌출부의 상면이 차단된 상태에서, 상기 오목부를 통해 노출된 상기 제2 반도체막의 표면으로부터 제3 반도체막을 성장시키는 단계를 포함하는 반도체막의 성장방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국전자통신연구원 산업기술국제협력 의료 및 정밀 가공 기기용 자외선(Deep UV) 반도체 레이저 개발