맞춤기술찾기
이전대상기술
마이크로파 플라즈마를 이용한 Ｓⅰ나노입자 제조장치 및 이를 이용한 Ｓⅰ나노입자의 제조방법(MANUFACTURING DEVICE OF Si NANOPARTICLES USING MICROWAVE PLASMA AND MANUFACTURING METHOD USING THE SAME)
- 기술번호 : KST2016011464
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 마이크로파 플라즈마를 이용한 Si 나노입자 제조장치 및 이를 이용한 Si 나노입자의 제조방법에 관한 것이다. |
|---|---|
| Int. CL | C01B 33/021 (2006.01) B01J 19/10 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) |
| CPC | C01B 33/021(2013.01) C01B 33/021(2013.01) C01B 33/021(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020140170346 (2014.12.02) |
| 출원인 | 한국에너지기술연구원 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2016-0066599 (2016.06.13) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2014.12.02) |
| 심사청구항수 | 14 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국에너지기술연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 장보윤 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 김준수 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 3 | 이진석 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 4 | 최선호 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 5 | 구정분 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인(유한) 대아 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국에너지기술연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2014.12.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-1171524-88 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2015.01.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0063885-00 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0013224-83 |
| 4 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2015.04.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 5 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2015.06.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2015-0038001-44 |
| 6 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2016.04.05 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0251112-27 |
| 7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2016.06.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0545765-36 |
| 8 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2016.07.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0651469-35 |
| 9 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2016.07.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0680698-53 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2016.08.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0757603-10 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2016.08.04 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2016-0757604-66 |
| 12 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2016.12.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0915635-80 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5010650-13 |
| 14 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2017.01.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0074126-02 |
| 15 | [명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2017.01.20 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2017-0074127-47 |
| 16 | 등록결정서 Decision to Grant Registration |
2017.02.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0096669-22 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.01.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5004978-55 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166801-48 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166803-39 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5197654-62 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 반응 공간을 제공하는 반응부(110);상기 반응 공간의 상측에 구비되며, 실리콘 전구체 가스를 주입하는 전구체 가스 주입부(120);상기 반응 공간에 제공되는 플라즈마 토치의 소스로서 마이크로파를 생성하는 출력 공급부(130);상기 반응 공간에 플라즈마 가스 및 반응 가스를 스월 형태로 제공하는 스월가스 주입부(140);상기 전구체 가스 주입부에서 상기 반응 공간으로 연결되는 유로 내 반응 가스를 선형 형태로 제공하는 반응가스 주입부(150);를 포함하고,상기 반응 공간에 스월 형태로 제공되는 스월 가스 중 반응 가스인 수소의 주입량은 공급되는 실리콘 전구체의 양(ml)에 의존하며, 상기 전구체 가스 주입부에서 상기 반응 공간으로 연결되는 유로 내 선형 형태로 제공되는 반응가스인 수소의 주입량은 공급되는 실리콘 전구체의 양(ml)에 의존하되, 상기 반응 공간에 스월 형태로 제공되는 스월 가스 중 반응 가스인 수소의 주입량은 1 ~ 10 slpm/ml이고, 상기 전구체 가스 주입부에서 상기 반응 공간으로 연결되는 유로 내 선형 형태로 제공되는 반응가스인 수소의 주입량은 1 ~ 25 slpm/ml인 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마를 이용한 Si 나노입자 제조장치 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서,상기 반응부의 후단에 구비되어 Si 나노입자를 포집하는 입자 포집부(160)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마를 이용한 Si 나노입자 제조장치 |
| 3 |
3 삭제 |
| 4 |
4 삭제 |
| 5 |
5 제 1항에 있어서,상기 반응 공간에 제공되는 플라즈마의 형성 가스는 N2이며, 출력에 의존하며, 유량은 5 ~ 15 slpm/kW인 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마를 이용한 Si 나노입자 제조장치 |
| 6 |
6 제 1항에 있어서,상기 실리콘 전구체 가스의 양은 인가된 출력에 의존하며, 25℃에서 0 |
| 7 |
7 제 1항에 있어서,상기 주입되는 실리콘 전구체는 기화시켜 주입하며, 이 때 기화된 전구체 가스의 온도는 100 ~ 350℃인 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마를 이용한 Si 나노입자 제조장치 |
| 8 |
8 제 1항에 있어서,상기 반응 공간 내 석영관이 구비되며, 플라즈마 형성이 시작되는 지점부터 석영관의 끝단까지의 길이는 출력에 의존하며, 1 ~ 10 cm/kW인 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마를 이용한 Si 나노입자 제조장치 |
| 9 |
9 제 1항에 있어서,상기 제조되는 Si 나노입자는 코어-쉘 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마를 이용한 Si 나노입자 제조장치 |
| 10 |
10 제 1항에 있어서,상기 제조되는 Si 나노입자의 크기는 20~150 nm인 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마를 이용한 Si 나노입자 제조장치 |
| 11 |
11 반응 공간을 제공하는 반응부(110)와 상기 반응 공간의 상측에 구비되며, 실리콘 전구체 가스를 주입하는 전구체 가스 주입부(120)와 상기 반응 공간에 제공되는 플라즈마 토치의 소스로서 마이크로파를 생성하는 출력 공급부(130)와 상기 반응 공간에 플라즈마 가스 및 반응가스를 스월 형태로 제공하는 스월가스 주입부(140)와 상기 전구체 가스 주입부에서 상기 반응 공간으로 연결되는 유로 내 반응가스를 선형 형태로 제공하는 반응가스 주입부(150)를 포함하는 마이크로파 플라즈마를 이용한 Si 나노입자 제조장치에 의하는 Si 나노입자의 제조방법으로,상기 공급된 전구체 가스, 플라즈마 가스, 반응가스가 상기 반응부에서 와류를 따라 반응하도록 하고,상기 반응 공간에 스월 형태로 제공되는 스월 가스 중 반응 가스인 수소의 주입량은 공급되는 실리콘 전구체의 양(ml)에 의존하며, 상기 전구체 가스 주입부에서 상기 반응 공간으로 연결되는 유로 내 선형 형태로 제공되는 반응가스인 수소의 주입량은 공급되는 실리콘 전구체의 양(ml)에 의존하되, 상기 반응 공간에 스월 형태로 제공되는 스월 가스 중 반응 가스인 수소의 주입량은 1 ~ 10 slpm/ml이고, 상기 전구체 가스 주입부에서 상기 반응 공간으로 연결되는 유로 내 선형 형태로 제공되는 반응가스인 수소의 주입량은 1 ~ 25 slpm/ml인 것을 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마를 이용한 Si 나노입자의 제조방법 |
| 12 |
12 제 11항에 있어서,상기 실리콘 전구체 가스는 액상의 SiCl4를 가스화한 것임을 특징으로 하는 Si 나노입자의 제조방법 |
| 13 |
13 삭제 |
| 14 |
14 삭제 |
| 15 |
15 제 11항에 있어서,상기 반응 공간에 제공되는 플라즈마의 형성 가스는 N2이며, 유량은 출력 1kW 당 5 ~ 15 slpm인 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마를 이용한 Si 나노입자의 제조방법 |
| 16 |
16 제 11항에 있어서,상기 실리콘 전구체 가스의 양은 25℃에서 출력 1kW 당 0 |
| 17 |
17 제 11항에 있어서,상기 주입되는 실리콘 전구체는 기화시켜 주입하며, 이 때 기화된 전구체 가스의 온도는 100 ~ 350 ℃인 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마를 이용한 Si 나노입자 제조방법 |
| 18 |
18 제 11항에 있어서,상기 제조되는 Si 나노입자는 코어-쉘 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마를 이용한 Si 나노입자의 제조방법 |
| 19 |
19 삭제 |
| 20 |
20 삭제 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US20160152480 | US | 미국 | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US2016152480 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 산업통상자원부 | 한국에너지기술연구원 | 주요사업(구,기본사업) | 리튬이차전지용 나노 실리콘-탄소계 음극제 실용화 기술 개발 |
| 등록사항 정보가 없습니다 |
|---|
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2014.12.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-1171524-88 |
| 2 | [출원서등 보정]보정서 | 2015.01.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0063885-00 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0013224-83 |
| 4 | 선행기술조사의뢰서 | 2015.04.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 5 | 선행기술조사보고서 | 2015.06.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2015-0038001-44 |
| 6 | 의견제출통지서 | 2016.04.05 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0251112-27 |
| 7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2016.06.07 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0545765-36 |
| 8 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2016.07.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0651469-35 |
| 9 | [출원서등 보정]보정서 | 2016.07.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0680698-53 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2016.08.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0757603-10 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 | 2016.08.04 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2016-0757604-66 |
| 12 | 거절결정서 | 2016.12.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0915635-80 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5010650-13 |
| 14 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2017.01.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0074126-02 |
| 15 | [명세서등 보정]보정서(재심사) | 2017.01.20 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2017-0074127-47 |
| 16 | 등록결정서 | 2017.02.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0096669-22 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.01.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5004978-55 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166801-48 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5166803-39 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.09.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5197654-62 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1711020198 |
|---|---|
| 세부과제번호 | B4-2443 |
| 연구과제명 | 탄소 복합소재기술 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2014 |
| 연구기간 | 201401~201412 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
특허성과
| [1020140170346] | 마이크로파 플라즈마를 이용한 Ｓⅰ나노입자 제조장치 및 이를 이용한 Ｓⅰ나노입자의 제조방법(MANUFACTURING DEVICE OF Si NANOPARTICLES USING MICROWAVE PLASMA AND MANUFACTURING METHOD USING THE SAME) | 새창보기 |
|---|---|---|
| [1020140090084] | 플라즈마를 이용한 Si-C 복합체 제조장치 및 이를 이용한 Si-C 복합체 제조방법(MANUFACTURING DEVICE OF Si-C USING PLASMA SOURCE AND MANUFACTURING METHOD USING THE SAME) | 새창보기 |
| [1020140081113] | 다공성 그래핀 부재, 다공성 그래핀 부재의 제조 방법 및 이를 이용한 다공성 그래핀 부재의 제조 장치(POROUS GRAPHENE MEMBER, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND APPARATUS FOR MANUFACTURING THE POROUS GRAPHENE MEMBER) | 새창보기 |
| [1020140081112] | 다공성 그래핀 필터의 제조 방법, 이를 이용하여 제조된 다공성 그래핀 필터 및 이를 이용한 필터 장치(METHOD FOR MANUFACTURING POROUS GRAPHENE FILTER, POROUS GRAPHENE FILTER MANUFACTUED USING THE METHOD, AND FILTER APPARATUS USING THE POROUS GRAPHENE FILTER) | 새창보기 |
| [1020140067439] | 복합체 대량 합성장치, 복합체 합성장치용 반응기 및 이를 이용한 복합체 합성방법(LARGE-SCALE COMPOSITE SYNTHESIS SYSTEM, REACTOR AND COMPOSITE SYNTHESIS METHOD USING THE SAME) | 새창보기 |
중요키워드
| [KST2014065614][한국에너지기술연구원] | 튜브형 티타니아 광어노드와 엔자임 활용 평판형 수조제조장치 | 새창보기 |
|---|---|---|
| [KST2015152744][한국에너지기술연구원] | 길이방향으로 구성된 금속산화물 이질나노와이어와 그 합성방법 | 새창보기 |
| [KST2015152811][한국에너지기술연구원] | 불순물 유입 방지 효과가 우수한 실리콘 용융 반응기 및 이를 포함하는 실리콘 기판 제조 장치 | 새창보기 |
| [KST2015152970][한국에너지기술연구원] | 경사진 일방향응고부를 이용한 폴리실리콘 제조장치 | 새창보기 |
| [KST2015153170][한국에너지기술연구원] | 결정성 탄소쉘과 인산칼슘화합물 코어로 구성된 이질 나노와이어 및 그 합성방법 | 새창보기 |
| [KST2015153178][한국에너지기술연구원] | 산화소스투입부 또는 플라즈마투입부를 가지는 폴리실리콘 제조장치 및 이를 이용한 폴리실리콘 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2014021835][한국에너지기술연구원] | 효과적으로 고 순도의 탄소나노튜브를 합성하는 장치 | 새창보기 |
| [KST2014065609][한국에너지기술연구원] | 구리 및 염소 첨가된 황화아연 결정질 나노 형광체의 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2015152739][한국에너지기술연구원] | 고순도 탄소나노튜브 대량 합성방법 및 이에 의하여 제조되는 탄소나노튜브 | 새창보기 |
| [KST2015152896][한국에너지기술연구원] | 나노 다공성 나노 크기의 적색 발광 형광체 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
| [KST2014054179][한국에너지기술연구원] | 레이저를 이용한 나노입자 합성장치 및 방법 | 새창보기 |
| [KST2015153140][한국에너지기술연구원] | 가지형 금속실리케이트를 이용한 금속/실리카 촉매 담지체의 제조방법 및 그 금속/실리카 금속/실리카 촉매 담지체 | 새창보기 |
| [KST2015153179][한국에너지기술연구원] | 실리콘 기판 제조 장치 | 새창보기 |
| [KST2014022018][한국에너지기술연구원] | 여과효율이 우수한 나노필터 여재 제조장치 | 새창보기 |
| [KST2015014839][한국에너지기술연구원] | 그라파이트 산화물 및 그래핀 나노시트 제조 방법 | 새창보기 |
| [KST2015152588][한국에너지기술연구원] | ＩＣＰ를 이용한 실리콘 나노입자 제조 장치 | 새창보기 |
| [KST2015152885][한국에너지기술연구원] | 결정성 탄소쉘과 스트론튬아파타이트 코어로 구성된 이질 나노와이어 및 그 합성방법 | 새창보기 |
| [KST2015152740][한국에너지기술연구원] | 메조기공이 형성된 다공성 탄소재료의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 연료전지용 촉매의 담지체 | 새창보기 |
| [KST2015152884][한국에너지기술연구원] | 바이오매스를 이용한 나노와이어 합성방식 및 그 물질 | 새창보기 |
| [KST2015152955][한국에너지기술연구원] | 건물공조용 또는 제습용 고분자 복합소재 및 그 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2014008445][한국에너지기술연구원] | 균일성과 연속성이 우수한 탄소 나노튜브 합성장치 | 새창보기 |
| [KST2014022090][한국에너지기술연구원] | 전극용 에너지 성능을 향상시킬 수 있는 탄소나노튜브 | 새창보기 |
| [KST2014065618][한국에너지기술연구원] | 일체형 나노튜브 광촉매의 제조방법, 이를 이용한 6가크롬 환원장치 및 환원방법 | 새창보기 |
| [KST2015152324][한국에너지기술연구원] | 액상제어 1단계 공정을 이용한 열교환 매체의 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2015152398][한국에너지기술연구원] | 탄소나노튜브를 지지체로 하고 전기화학적 방법을 사용한백금나노촉매의 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2014065612][한국에너지기술연구원] | 표면에 그라파이트 나노 구조층을 갖는 셀룰로오스 탄화물 구조체 및 그 합성방법 | 새창보기 |
| [KST2015152602][한국에너지기술연구원] | 탄소나노튜브와 수소가스를 생산하는 필터반응장치 및 이를 이용하여 메탄으로부터 탄소나노튜브와 수소가스를 생산하는 방법 | 새창보기 |
| [KST2015152899][한국에너지기술연구원] | 나노분말 제조 장치 | 새창보기 |
| [KST2015152940][한국에너지기술연구원] | 금속간화합물 또는 합금 코어와 탄소나노튜브 쉘로 구성된 이질나노와이어 및 그 합성방법 | 새창보기 |
| [KST2015153243][한국에너지기술연구원] | 세라믹 지지체 표면에 산화금속 나노와이어를 합성하는 방법 및 이로부터 합성한 산화금속 나노와이어 | 새창보기 |
| 심판사항 정보가 없습니다 |
|---|