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강판을 사이에 두고 상하로 배치되는 상부 도금전극과 하부 도금전극을 포함하고 내부에 도금용액을 수용하는 수평셀, 상기 수평셀의 전후단에서 각각 배치되어 상기 강판의 상하면에 밀착되는 컨덕트롤과 백업롤, 상기 수평셀 내로 상기 도금용액을 공급하는 용액공급부, 및 상기 수평셀 내에서 강판의 폭방향 에지에 배치되는 에지마스크를 포함하고, 상기 에지마스크는 상기 강판의 에지와 마주하는 면에 상기 강판의 에지를 감싸도록 오목하게 함몰된 홈부가 형성되며, 상기 홈부에 연통되어 상기 도금용액을 배출하는 복수개의 배출통로가 홈부를 따라 형성되고, 상기 배출통로의 출구는 상기 상부 도금전극에 면하는 에지마스크의 상면 또는 상기 하부 도금전극에 면하는 에지마스크의 하면으로 형성되어, 상기 도금용액을 상기 에지마스크의 상면과 상기 상부 도금전극 또는 상기 에지마스크 하면과 상기 하부 도금전극 사이로 배출하는 구조의 수평셀 전기도금장치
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강판을 사이에 두고 상하로 배치되는 상부 도금전극과 하부 도금전극을 포함하고 내부에 도금용액을 수용하는 수평셀, 상기 수평셀의 전후단에서 각각 배치되어 상기 강판의 상하면에 밀착되는 컨덕트롤과 백업롤, 상기 수평셀 내로 상기 도금용액을 공급하는 용액공급부, 및 상기 수평셀 내에서 상기 강판의 폭방향 에지에 배치되는 에지마스크를 포함하고, 상기 에지마스크는 상기 강판의 에지 상부로 연장되는 상판, 상기 강판의 에지 하부로 연장되는 하판, 상기 상판과 하판 사이에 결합되어 상기 상판과 하판을 지지하며 상기 상판과 하판 사이에서 상기 강판의 에지가 수용되는 홈부를 형성하는 중간부재, 및 상기 중간부재를 따라 간격을 두고 형성되고 상기 홈부에 연통되며 외측으로 연장되어 상기 도금용액을 배출하는 복수개의 배출통로를 포함하고, 상기 배출통로는 입구가 상기 홈부를 따라 형성되고 출구가 상기 상판에 형성되어 상기 도금용액을 상기 상판과 상기 상부 도금전극 사이로 배출하는 상향통로, 및 입구가 상기 홈부를 따라 형성되고 출구가 상기 하판에 형성되어 상기 도금용액을 상기 하판과 상기 하부 도금전극 사이로 배출하는 하향통로를 포함하는 수평셀 전기도금장치
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제 2 항에 있어서,상기 배출통로는 홈부를 따라 상기 상향통로와 상기 하향통로가 교대로 형성되는 구조의 수평셀 전기도금장치
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제 2 항에 있어서,상기 배출통로는 홈부를 따라 상기 상향통로와 상기 하향통로가 같은 위치에 형성되는 구조의 수평셀 전기도금장치
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제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 상향통로는, 상기 상판에 출구와 연통되어 상기 강판 폭방향을 따라 홈형태로 형성되고 상부는 개방되어 상기 도금용액이 흘러나가는 상부채널을 더 포함하는 수평셀 전기도금장치
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제 5 항에 있어서,상기 하향통로는, 상기 하판에 출구와 연통되어 상기 강판 폭방향을 따라 홈형태로 형성되고 하부는 개방되어 상기 도금용액이 흘러나가는 하부채널을 더 포함하는 수평셀 전기도금장치
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제 6 항에 있어서,상기 배출통로는 상기 홈부에서 출구를 향해 경사진 구조의 수평셀 전기도금장치
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제 6 항에 있어서,상기 상판과 하판 및 중간부재는 일체로 형성된 수평셀 전기도금장치
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제 8 항에 있어서,상기 에지마스크는 전체 상향통로 출구의 단면적의 합을 전체 하향통로 출구의 단면적의 합보다 작거나 크게 형성하여 상기 에지마스크가 상기 수평셀의 상부 도금전극과 하부 도금전극 사이의 중심에 위치하도록 제어하는 수평셀 전기도금장치
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제 9 항에 있어서,상기 에지마스크는 전체 상향통로 출구의 단면적의 합과 전체 하향통로 출구의 단면적의 합이 동일한 구조의 수평셀 전기도금장치
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제 10 항에 있어서,상기 에지마스크는 절연재질로 이루어진 수평셀 전기도금장치
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제 11항에 있어서,상기 에지마스크는 PE(PolyEthylene), PEEK(Polyther Etherketone), PI (Polyimide) 또는 PCB 기판용 재질로 이루어진 수평셀 전기도금장치
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제 12 항에 있어서,상기 에지마스크는 상기 중간부재의 후면에 연결되어 상기 도금전극의 외측으로 연장되는 로드를 더 포함하는 수평셀 전기도금장치
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강판을 사이에 두고 상하로 배치되는 상부 도금전극과 하부 도금전극을 구비하고 내부에 도금용액을 수용하는 수평셀을 포함하는 전기도금장치의 수평셀 내에서 상기 강판의 폭방향 에지에 배치되는 수평셀 전기도금장치의 에지마스크로,상기 강판의 에지 상부로 연장되는 상판, 상기 강판의 에지 하부로 연장되는 하판, 상기 상판과 하판 사이에 결합되어 상기 상판과 하판을 지지하며 상기 상판과 하판 사이에서 상기 강판의 에지가 수용되는 홈부를 형성하는 중간부재, 및 상기 중간부재를 따라 간격을 두고 형성되고 상기 홈부에 연통되며 외측으로 연장되어 도금용액을 배출하는 복수개의 배출통로를 포함하고, 상기 배출통로는 입구가 상기 홈부를 따라 형성되고 출구가 상판에 형성되어 상기 도금용액을 상기 상판과 상기 상부 도금전극 사이로 배출하는 상향통로, 및 입구가 상기 홈부를 따라 형성되고 출구가 상기 하판에 형성되어 상기 도금용액을 상기 하판과 상기 하부 도금전극 사이로 배출하는 하향통로를 포함하는 수평셀 전기도금장치의 에지마스크
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제 14 항에 있어서,상기 배출통로는 상기 홈부를 따라 상기 상향통로와 상기 하향통로가 교대로 형성되는 구조의 수평셀 전기도금장치의 에지마스크
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16
제 15 항에 있어서,상기 배출통로는 상기 홈부를 따라 상기 상향통로와 상기 하향통로가 같은 위치에 형성되는 구조의 수평셀 전기도금장치의 에지마스크
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17
제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,상기 상향통로는 상기 상판에 출구와 연통되어 상기 강판의 폭방향을 따라 홈형태로 형성되고 상부는 개방되어 상기 도금용액이 흘러나가는 상부채널을 더 포함하는 수평셀 전기도금장치의 에지마스크
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18
제 17 항에 있어서,상기 하향통로는 상기 하판에 출구와 연통되어 상기 강판의 폭방향을 따라 홈형태로 형성되고 하부는 개방되어 상기 도금용액이 흘러나가는 하부채널을 더 포함하는 수평셀 전기도금장치의 에지마스크
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제 18 항에 있어서,상기 배출통로는 상기 홈부에서 출구를 향해 경사진 구조의 수평셀 전기도금장치의 에지마스크
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제 18 항에 있어서,상기 상판과 하판 및 중간부재는 일체로 형성된 수평셀 전기도금장치의 에지마스크
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제 20 항에 있어서,상기 에지마스크는 전체 상향통로 출구의 단면적의 합을 전체 하향통로 출구의 단면적의 합보다 작거나 크게 형성하여 상기 에지마스크가 상기 수평셀의 상부 도금전극과 하부 도금전극 사이의 중심에 위치하도록 제어하는 수평셀 전기도금장치의 에지마스크
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제 21 항에 있어서,상기 에지마스크는 전체 상향통로 출구의 단면적의 합과 전체 하향통로 출구의 단면적의 합이 동일한 구조의 수평셀 전기도금장치의 에지마스크
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제 22 항에 있어서,상기 에지마스크는 절연재질로 이루어진 수평셀 전기도금장치의 에지마스크
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제 23 항에 있어서,상기 에지마스크는 PE(PolyEthylene), PEEK(Polyther Etherketone), PI (Polyimide) 또는 PCB 기판용 재질로 이루어진 수평셀 전기도금장치의 에지마스크
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제 23 항에 있어서,상기 에지마스크는 상기 중간부재의 후면에 연결되어 상기 도금전극의 외측으로 연장되는 로드를 더 포함하는 수평셀 전기도금장치의 에지마스크
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