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미세기공과 거대기공이 금속산화물 반도체 튜브 벽에 형성된 가스센서용 부재, 가스센서 및 그 제조방법(Gas sensor and member using metal oxide semiconductor nanotubes composed of thin-wall including mesopores and macropores, and manufacturing method thereof)

  • 기술번호 : KST2016012552
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가스센서용 부재, 이를 이용한 가스 센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 구 형태의 고분자 희생층 템플릿의 분해 및 연속적인 금속산화물의 결정화 및 확산에 의해 나노튜브 표면에 미세기공 (0.1 nm-50 nm) 및 거대기공 (50 nm-300 nm)이 동시에 형성되고, 아포페리틴에 내장된 나노입자 촉매가 고온 열처리를 통해 1차원 금속산화물 나노튜브 내부 및 외벽과 내벽에 균일하게 결착된 이중의 평균 기공 분포를 갖는1차원 다공성 금속산화물 나노튜브 복합 소재를 이용한 가스센서용 부재, 가스 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 표면에 양의 전하를 띄고 있어 서로간의 반발력으로 인해 분산성이 띄어난 단백질 템플릿을 이용하여 1 nm-3 nm 크기의 나노입자 촉매들을 형성하며, 형성된 나노입자 촉매들을 전기방사 용액에 혼합시키며, 구 형태의 템플릿 콜로이드 또한 전기방사 용액에 혼합시켜 전기방사 함으로써 복합 나노섬유에 구 형태의 템플릿과 촉매를 균일하게 분포시키는 것을 특징으로 한다. 또한, 고온 열처리 공정에서 빠른 승온속도를 이용하여 오스트왈드 라이프닝 현상과 고분자 분해 현상을 이용하여 나노입자 촉매가 균일하게 결착되어 있고 금속산화물 표면에 이중기공 분포를 가지는 1차원 다공성 금속산화물 구조를 형성하는 것을 특징으로 한다. 가스센서 특성에 중요한 요소인 촉매효과 및 반응 표면적을 넓히는 형상제어를 통해 10 ppb 정도의 극미량의 가스를 검출해 낼 수 있는 높은 감도 특성과 함께, 다양한 물질 조성 변화를 통해 다양한 가스에 대한 검출이 가능하도록 우수한 선택성을 가지며, 전기방사 및 열처리 공정을 조절함으로써 간단한 공정법으로 촉매결착과 기공을 다수 포함하는 나노튜브 형상제어 과정을 동시에 진행함으로써 대량 생산이 가능한 가스센서용 부재, 가스 센서 및 그 제조방법을 개시할 수 있는 효과를 갖는다.
Int. CL B01J 23/00 (2006.01) B82B 1/00 (2006.01) G01N 27/407 (2006.01) B01J 21/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) B82Y 15/00 (2011.01)
CPC G01N 27/4073(2013.01) G01N 27/4073(2013.01) G01N 27/4073(2013.01) G01N 27/4073(2013.01) G01N 27/4073(2013.01) G01N 27/4073(2013.01) G01N 27/4073(2013.01) G01N 27/4073(2013.01)
출원번호/일자 1020150148273 (2015.10.23)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0076965 (2016.07.01) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020140186846   |   2014.12.23
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.10.23)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김일두 대한민국 대전광역시 유성구
2 장지수 대한민국 대전광역시 유성구
3 김상준 대한민국 대전광역시 유성구
4 최선진 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-1033004-90
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0836784-98
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-1152746-96
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.11.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1152747-31
5 등록결정서
Decision to grant
2017.02.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0118984-16
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
구형 고분자 희생층 템플릿 및 단백질에 의해 둘러 쌓인 금속 나노입자 촉매가 복수 개로 내부와 겉면에 분산된 금속산화물 전구체/고분자 복합 나노섬유의 열처리 과정 중에, 상기 금속 나노입자 촉매가 균일하게 분포됨과 동시에 거대기공과 미세기공을 금속산화물 나노튜브 표면에 형성되고,상기 거대기공의 직경은 50 nm 내지 300 nm의 범위에 포함되고,상기 미세기공의 직경은 0
2 2
제1항에 있어서,상기 금속 나노입자 촉매가 나노튜브를 구성하는 껍질의 내부 및 안쪽 면과 바깥쪽 면에 균일하게 결착되는 것을 특징으로 하는 이중 평균 표면 기공 분포를 갖는 1차원 다공성 금속산화물 나노튜브 복합 센서소재
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 열처리 과정 중에 상기 구형 고분자 희생층 템플릿의 분해과정과 상기 금속산화물의 결정화 및 확산과정 사이에 시간차이가 존재하여, 상기 구형 고분자 희생층 템플릿의 분해과정에 의해 나노튜브 표면에 생성된 거대기공들이 상기 금속산화물의 결정화 및 확산과정을 통해 부분적으로 채워지는 것을 특징으로 하는 이중 평균 표면 기공 분포를 갖는 1차원 다공성 금속산화물 나노튜브 복합 센서소재
5 5
제1항에 있어서, 상기 구형 고분자 희생층 템플릿과 아포페리틴의 내부 중공 구조 속에 포함된 상기 단백질에 의해 둘러 쌓인 상기 금속 나노입자 촉매 사이의 중량비율 (wt%)은, 1:0
6 6
제1항에 있어서,다공성 금속산화물 나노튜브는 ZnO, SnO2, WO3, Fe2O3, Fe3O4, NiO, TiO2, CuO, In2O3, Zn2SnO4, Co3O4, PdO, LaCoO3, NiCo2O4, Ca2Mn3O8, V2O5, Cr2O3, Nd2O3, Sm2O3, Eu2O3, Gd2O3, Tb4O7, Dy2O3, Ho2O3, Er2O3, Yb2O3, Lu2O3, Ag2V4O11, Ag2O, Li0
7 7
제1항에 있어서,상기 구형 고분자 희생층 템플릿의 중량비율은 나노섬유를 구성하는 고분자 매트릭스 대비 0
8 8
제1항에 있어서,상기 단백질에 의해 둘러 쌓인 금속 나노입자 촉매의 중량비율은 상기 금속산화물 전구체/고분자 복합 나노섬유를 이루는 금속산화물 전구체 대비 0
9 9
제1항에 있어서,상기 단백질은, 외경 12 nm와 내경 8 nm로 이루어진 중공구조의 아포페리틴을 포함하고, 상기 구형 고분자 희생층 템플릿을 포함하는 금속산화물 전구체/고분자 복합 나노섬유에서 상기 구형 고분자 희생층 템플릿들 사이에 밀집되고,상기 열처리 과정을 통해 밀집된 구역에 중공구조를 구성하는 상기 단백질의 껍질이 열분해 되어 제거됨에 따라 미세기공들을 형성함으로써 상기 구형 고분자 희생층 템플릿에 의해 형성된 상기 거대기공과 상기 미세기공의 이중 평균 표면 기공 분포를 갖는 1차원 다공성 금속산화물 나노튜브 복합 센서소재
10 10
제1항에 있어서,상기 구형 고분자 희생층 템플릿은, 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA), 폴리비닐피롤리돈(PVP), 폴리비닐아세테이트(PVAc), 폴리비닐알콜(PVA), 폴리스티렌(PS), 폴리아크릴로니트릴(PAN), 폴리비닐리덴 플루오라이드(PVDF), 폴리아크릴에시드(PAA), 폴리다이아닐다이메틸암모늄 클로라이드(PDADMAC) 및 폴리스티렌설포네이트(PSS) 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물로 구성되는 것을 특징으로 하는 이중 평균 표면 기공 분포를 갖는 1차원 다공성 금속산화물 나노튜브 복합 센서소재
11 11
제1항에 있어서,상기 금속 나노입자 촉매 및 상기 구형 고분자 희생층 템플릿은, 겉면이 전하를 띄고 있어, 상기 금속 나노입자 촉매들간의 응집과 상기 구형 고분자 희생층 템플릿간의 응집 없이 상기 금속산화물 전구체/고분자 복합 나노섬유의 내부와 표면에 균일하게 분산되는 것을 특징으로 하는 이중 평균 표면 기공 분포를 갖는 1차원 다공성 금속산화물 나노튜브 복합 센서소재
12 12
제1항에 있어서,상기 1차원 다공성 금속산화물 나노튜브 복합 센서소재가 포함하는 나노튜브는, 외경이 50 nm 내지 2 μm 의 크기 범위에 포함되고, 내경이 40 nm 내지 1
13 13
제1항에 있어서, 상기 금속 나노입자 촉매는, Pt, Pd, Rh, Ru, Ni, Co, Cr, Ir, Au, Ag, Zn, W, Sn, Sr, In, Pb, Fe, Cu, V, Ta, Sb, Sc, Ti, Mn, Ga 및 Ge 중에서 선택된 1종 또는 2 종 이상의 나노입자 촉매를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 평균 표면 기공 분포를 갖는 1차원 다공성 금속산화물 나노튜브 복합 센서소재
14 14
(a) 아포페리틴의 내부 중공 구조 속에 포함된 단백질에 의해 둘러 쌓인 금속 나노입자 촉매가 균일하게 분산된 제1 분산용액을 합성하는 단계;(b) 상기 제1 분산용액을 구형 고분자 희생층 템플릿의 제2 분산용액과 혼합하고, 혼합된 분산용액을 금속산화물 전구체와 고분자가 녹아 있는 용매와 함께 혼합하여, 전기방사 용액을 제조하는 단계;(c) 상기 전기방사 용액을 전기방사법을 이용하여 금속산화물 전구체/고분자 복합 나노섬유의 내부 및 표면에 상기 구형 고분자 희생층 템플릿과 상기 아포페리틴의 내부 중공 구조 속에 포함된 단백질에 의해 둘러 쌓인 금속 나노입자 촉매가 복수 개로 분포된 복합 나노섬유를 형성하는 단계; 및(d) 상기 복합 나노섬유의 열처리 과정 중에 나노섬유를 구성하는 고분자 매트릭스와 상기 구형 고분자 희생층 템플릿 및 상기 금속 나노입자 촉매를 둘러싸고 있는 단백질을 포함하는 유기물들이 동시에 제거되어 원형 내지는 타원형 모양의 이중 표면 기공 분포를 갖고, 상기 금속 나노입자 촉매가 나노튜브를 구성하는 껍질의 내부 및 안쪽 면과 바깥쪽 면에 균일하게 결착된 1차원 다공성 금속산화물 나노튜브를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 평균 표면 기공 분포를 갖는 촉매가 결착된 금속산화물 나노튜브 복합 감지소재의 제조방법
15 15
제14항에 있어서, (e) 상기 1차원 다공성 금속산화물 나노튜브를 분산시키거나 분쇄하여 드랍 코팅, 스핀 코팅, 잉크젯 프린팅, 디스펜싱 중 적어도 하나의 코팅공정을 이용하여 반도체식 가스센서 측정용 센서 전극 위에 코팅함으로써 저항변화식 반도체 가스센서를 제작하는 단계를 더 포함하고,상기 저항변화식 반도체 가스센서를 통해 환경유해가스 및 질병진단을 위한 생체지표 가스의 검출이 가능한 것을 특징으로 하는 이중 평균 표면 기공 분포를 갖는 촉매가 결착된 금속산화물 나노튜브 복합 감지소재의 제조방법
16 16
제14항에 있어서, 상기 (a) 단계는, 아포페리틴 내부에 금속염을 치환시키고 치환된 금속염을 환원제를 이용하여 환원시킴으로써 상기 금속 나노입자 촉매가 아포페리틴 내부에 생성되는 과정으로서,상기 아포페리틴을 포함하는 용액은, pH 2 내지 3의 범위 내지 pH 7
17 17
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