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기판(10);기판 상부에 적층된 머캅토언데카노익산(mercaptoundecanoic acid, MUA, 4-메톡시-알파-톨루엔싸이올(4-Methoxy--toluenethiol), 1-도데칸싸이올(1-dodecanethiol), DL-디티오트레톨(DL-Dithiothreitol, DTT), 메트캅토벤조옥사올(Mercaptobenzoxazole), 시스테아민 싸이올(cysteamine thiol) 및 리포산-종결 리간드(Lipic acid-terminated ligand)로 구성된 군에서 선택되는 싸이올 기 함유 리간드 접합 MoS2필름 (20) 및 MoS2필름(30) 및;상기 필름의 양 측면에 각각 형성된 전극 (40)을 포함하는 케미레지스터 가스센서
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제1항에 있어서, 상기 케미레지스터 가스센서는 휘발성유기화합물(Volatile Organic Compounds, VOC), 신경가스, 폭발성 가스 및 음식물 가스로 구성된 군에서 선택되는 하나 이상의 가스 감지용인 것을 특징으로 하는 가스센서
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다음의 단계를 포함하는, 케미레지스터 가스센서의 제작방법:(a) 머캅토언데카노익 산(mercaptoundecanoic acid, MUA, 4-메톡시-알파-톨루엔싸이올(4-Methoxy--toluenethiol), 1-도데칸싸이올(1-dodecanethiol), DL-디티오트레톨(DL-Dithiothreitol, DTT), 메트캅토벤조옥사올(Mercaptobenzoxazole), 시스테아민 싸이올(cysteamine thiol) 및 리포산-종결 리간드(Lipic acid-terminated ligand)로 구성된 군에서 선택되는 싸이올 기 함유 리간드 접합 MoS2 용액을 준비하는 단계; (b) 상기 용액에 존재하는 (i) 싸이올 기를 함유하는 리간드 접합 MoS2 또는 (ii) MoS2를 진공 여과하여 (i) 싸이올 리간드 접합 MoS2 필름과 (ii) MoS2 필름을 수득하는 단계 및;(c) 상기 2가지 필름을 MoS2 채널이 형성되어 있는 기판에 고정시키는 단계
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제4항에 있어서, 싸이올 기를 함유하는 리간드 접합 MoS2 용액은 상기 MoS2에서 황(sulfur) 부분이 유출되어 생긴 결함 부위에 싸이올 기를 함유하는 리간드를 접합시키거나, 황-황(S-S) 결합을 발생시켜 리간드를 접합시켜 수득하는 것을 특징으로 하는 제작방법
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제4항에 있어서, 상기 싸이올 기를 함유하는 리간드 접합 MoS2는 표면의 전기적 성질이 MoS2와 상이한 것을 특징으로 하는 제작방법
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제4항에 있어서, 상기 용액은 에탄올, 물, 아세톤, N-메틸-2-피롤리돈(N-Methyl-2-Pyrrolidone, NMP), 다이메틸폼아마이드(Dimethylformamide), 디메틸설폭사이드(Dimethylsulphoxide, DMSO), 벤즈알데히드(Benzaldehyde), 이소프로판올(Isopropanol) 및 이들의 혼합용매로 구성된 군에서 선택되는 용매를 사용하는 것을 특징으로 하는 제작방법
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제4항에 있어서, 상기 진공 여과는 패턴화된 금, 백금, 은, 구리, 카본나노튜브, 그래핀으로 구성된 군에서 선택되는 전극 및 산화알루미늄 멤브레인 또는 폴리카보네이트 멤브레인(polycarbonate membrane)을 이용하는 것을 특징으로 하는 제작방법
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제1항의 가스센서 또는 제4항의 방법으로 제조된 가스센서를 이용하여 배출된 호흡가스에서 암 특이 VOC를 검출하는 방법
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제10항에 있어서, 상기 암 특이 VOC는 퍼플루오로데카노익 산(perfluorodecanoic acid), 퍼플루오로-N-펜타노익 산(perfluoro-n-pentanoic acid), 퍼플루오로노나노익 산(perfluorononanoic acid), 퍼플루오로옥타노익 산(perfluorooctanoic acid), 퍼플루오로-1-헵틴(perfluoro-1-heptene), 퍼플루오로사이클로헥산(perfluorocyclohexane), 1H,1H-퍼플루오로-1-헵탄올(1H,1H-Perfluoro-1-heptanol), 옥타플루오로사이클로부탄(octafluorocyclobutane), 퍼플루오로(메틸싸이클로헥산)(perfluoro(methylcyclohexane)) 및 이들의 혼합물로 구성되는 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항의 가스센서 또는 제4항의 방법으로 제조된 가스센서를 이용하여 시료 내 신경가스, 폭발성 가스 및 음식물 가스로 구성된 군에서 선택되는 하나 이상의 가스를 검출하는 방법
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