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입사각 분포를 최소화하는 집광형 타원해석기용 조리개(diaphragm for focusing ellipsometer with minimal distribution of angle of incidence)

  • 기술번호 : KST2016015298
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 집광형 타원해석기 조리개에 관한 것으로, 일정의 천정각 범위 및 일정의 방위각 범위를 갖는 개구부를 포함하고, 구면 형태로 형성되는 것을 특징으로 함으로써, 입사각의 분포를 현저히 줄일 수 있다.
Int. CL G01N 21/21 (2006.01) G03B 9/02 (2006.01)
CPC G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01)
출원번호/일자 1020150019427 (2015.02.09)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0097577 (2016.08.18) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.02.09)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안일신 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 경기도 안산시 상록구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2015-0135129-23
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.11.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0006933-83
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.01.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0043063-10
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0261794-77
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0367019-74
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2016-0471192-16
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2016-0588844-97
9 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2016.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0094328-34
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.07.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0694512-53
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0694495-64
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0855833-27
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.12.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-1266268-68
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2016-1266237-53
15 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0054582-86
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번호 청구항
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집광형 타원해석기 조리개에 있어서,구면 형태상 소정의 천정각 범위 및 소정의 방위각 범위를 갖는 개구가 평면상으로 투영된 제1 개구부 및사다리꼴 형태의 개구를 상기 제1 개구부의 상위에서 위아래로 이동시키며 상기 제1 개구부의 가장자리 일부를 개폐함으로써, 상기 제1 개구부의 좌우간 거리에 대응하는 상기 방위각을 조절하는 제2 개구부를 포함하고,임계치 이상의 최소 범위의 각도로 고정된 상기 천정각에 대응하여 상기 제1 개구부의 상하간의 폭은 소정 간격으로 고정된 상태에서, 상기 제1 개구부의 좌우간 거리 조절을 통해 상기 방위각의 폭만 조절하여 상기 제1 개구부를 투과하는 광량을 조절하는, 평면 조리개
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제 5 항의 조리개를 포함하는 타원해석기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업자원부 한양대학교 에리카 산학협력단 산업핵심기술개발사업 [민간]Lithography 공정에서 박막 및 표면을 고해상도(100μm x100μm이하) 로 검사할 수 있는 in-line ellipsometry 기술 개발