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흑린을 기반으로 하는 트랜지스터 및 전자 소자, 상기 트랜지스터의 제조 방법(TRANSISTOR AND ELECTRONIC DEVICE BASED ON BLACK PHOSPHORUS, METHOD OF MANUFACTURING THE TRANSISTOR)

  • 기술번호 : KST2016016435
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 흑린을 기반으로 하는 트랜지스터는, 기판; 상기 기판 상에 서로 이격되어 형성된 소스 전극 및 드레인 전극; 상기 기판 상에 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극을 연결하며, 흑린(Black Phosphorus)을 포함하는 채널층; 및 상기 흑린을 포함하는 채널층 상에 산화알루미늄(Al2O3)을 포함하는 패시베이션층을 포함하는 포함한다. 이에 따라, 흑린의 반응속도를 제어하여 전기적 특성이 우수하고 저주파 잡음이 감소한 고성능의 트랜지스터를 제조할 수 있다.
Int. CL H01L 29/417 (2006.01) H01L 29/10 (2006.01) C01B 25/02 (2006.01)
CPC H01L 29/1025(2013.01) H01L 29/1025(2013.01) H01L 29/1025(2013.01) H01L 29/1025(2013.01)
출원번호/일자 1020150030450 (2015.03.04)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0107556 (2016.09.19) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.03.04)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송용원 대한민국 서울특별시 성북구
2 최원국 대한민국 서울특별시 성북구
3 임정아 대한민국 서울특별시 성북구
4 황도경 대한민국 서울특별시 성북구
5 나준홍 대한민국 경상남도 진주시
6 이영택 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2015-0214929-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.01.08 수리 (Accepted) 9-1-2016-0002251-09
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.07.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0487019-02
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.09.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0863062-28
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.09.05 수리 (Accepted) 1-1-2016-0863061-83
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2017.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0074799-44
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.03.13 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0244466-08
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.03.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-0244465-52
10 등록결정서
Decision to grant
2017.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0569045-14
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
백 게이트 기판;상기 기판 상에 형성된 절연층;상기 절연층 상에 서로 이격되어 형성된 소스 전극 및 드레인 전극;상기 기판 상에 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극을 연결하며, 흑린(Black Phosphorus)을 포함하는 채널층; 및상기 흑린을 포함하는 채널층 상에 산화알루미늄(Al2O3)을 포함하는 패시베이션층을 포함하고, 상기 흑린을 포함하는 채널층은 8nm의 두께를 갖는, 흑린을 기반으로 하는 트랜지스터
2 2
제1항에 있어서, 상기 채널층은 단층의 흑린층으로 형성된, 흑린을 기반으로 하는 트랜지스터
3 3
제1항에 있어서, 상기 채널층은 다층의 흑린층으로 형성된, 흑린을 기반으로 하는 트랜지스터
4 4
삭제
5 5
기판;상기 기판 상에 8nm의 두께로 형성되며, 흑린(Black Phosphorus)을 포함하는 채널층;상기 흑린을 포함하는 채널층 상에 형성되고, 산화알루미늄(Al2O3)을 포함하는 패시베이션층;상기 채널층의 양 단에 서로 이격되어 형성되며, 상기 채널층에 의해 전기적으로 연결되는 소스 전극 및 드레인 전극;상기 패시베이션층, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 상에 형성된 게이트 절연막; 및상기 게이트 절연막 상에 형성된 게이트 전극을 포함하는, 흑린을 기반으로 하는 트랜지스터
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
기판 상에 흑린(Black Phosphorus)을 포함하는 채널층을 형성하는 단계;소스 전극과 드레인 전극을 상기 채널층의 양단에 이격되게 형성하는 단계; 및상기 흑린(Black Phosphorus)을 포함하는 채널층 상에 산화알루미늄(Al2O3)을 포함하는 패시베이션층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 흑린을 포함하는 채널층은 8nm의 두께를 갖는, 흑린을 기반으로 하는 트랜지스터 제조 방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 기판 상에 흑린을 포함하는 채널층을 형성하는 단계는,단층의 흑린층을 형성하는, 흑린을 기반으로 하는 트랜지스터 제조 방법
10 10
제8항에 있어서, 상기 기판 상에 흑린을 포함하는 채널층을 형성하는 단계는,다층의 흑린층을 형성하는, 흑린을 기반으로 하는 트랜지스터 제조 방법
11 11
제8항에 있어서, 상기 기판 상에 흑린을 포함하는 채널층을 형성하는 단계는,흑린층을 채널층은 스카치 테이프 방법으로 전사하는, 흑린을 기반으로 하는 트랜지스터 제조 방법
12 12
제8항에 있어서,상기 패시베이션층 상에 게이트 절연막을 형성하는 단계; 및상기 게이트 절연막 상에 게이트 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는, 흑린을 기반으로 하는 트랜지스터 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.