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기판의 표면에 기능기를 형성하여 상기 기판을 기능화하는 단계; 및원자층 증착법에 의해, 상기 기능기가 형성된 기판 상에 탄소 박막을 증착하는 단계;를 포함하고,상기 탄소 박막의 기저층의 탄소 원자는 상기 기능기의 원자와 공유 결합되는 탄소 박막 소자 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 기능기는 산소 기능기, 히드록시기(hydroxyl group) 및 아미노기(amino group) 중 적어도 하나를 포함하는 탄소 박막 소자 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 기판을 기능화하는 단계는,황산과 과산화수소수를 혼합한 용액을 상기 기판 상에 공급하여 상기 기판 상에 히드록시기를 형성하는 탄소 박막 소자 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 기판을 기능화하는 단계는,상기 기판에 대해 산소 플라즈마 처리를 행하여 상기 기판 상에 산소 기능기를 형성하는 단계를 포함하는 탄소 박막 소자 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 기판을 기능화하는 단계는,상기 기판 상에 상기 기능기를 포함하는 흡착층을 형성하는 단계를 포함하는 탄소 박막 소자 제조 방법
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제5 항에 있어서,상기 흡착층은 단일의 원자층 또는 분자층으로 이루어진 탄소 박막 소자 제조 방법
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제5 항에 있어서,상기 기판을 기능화하는 단계는,상기 흡착층의 산소 원자 또는 질소 원자가 상기 기판의 원자와 공유결합되도록 상기 기판 상에 상기 기능기를 형성하는 단계를 포함하는 탄소 박막 소자 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 기판 상에 탄소 박막을 증착하는 단계는,상기 기판 상에 탄소 전구체로서 할로겐화탄소를 공급하는 단계;상기 기판 상에 퍼지 가스를 공급하여 퍼징하는 단계;상기 기판 상에 반응 가스를 공급하는 단계; 및상기 기판 상에 퍼지 가스를 공급하여 퍼징하는 단계;를 포함하는 단위 사이클을 기 결정된 횟수만큼 반복하고,첫 번째 단위 사이클에서의 상기 할로겐화탄소의 공급 시간을 두 번째 이후의 단위 사이클에서의 상기 할로겐화탄소의 공급 시간보다 길게 하는 탄소 박막 소자 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 반응 가스는 할로겐화탄소의 할로겐 원소에 대하여 탄소보다 큰 결합에너지를 갖는 것인 탄소 박막 소자 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 할로겐화탄소는 사브롬화탄소(CBr4)이고,상기 반응 가스는 수소 가스 또는 수소 플라즈마인 탄소 박막 소자 제조 방법
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제11 항에 있어서,상기 사브롬화탄소(CBr4)는 0
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기판의 표면에 기능기를 형성하여 상기 기판을 기능화하는 단계;상기 기능기가 형성된 기판 상에 할로겐화탄소를 선공급하는 단계; 및원자층 증착법에 의해, 상기 기능기가 형성된 기판 상에 탄소 박막을 증착하는 단계;를 포함하는 탄소 박막 소자 제조 방법
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제13 항에 있어서,상기 할로겐화탄소는 사브롬화탄소(CBr4)인 탄소 박막 소자 제조 방법
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제13 항에 있어서,상기 할로겐화탄소를 선공급하는 단계는,상기 기능기가 형성된 기판 상에 상기 할로겐화탄소를 30초 내지 5분 동안 공급하는 탄소 박막 소자 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 탄소 박막의 증착 온도는 200℃ 내지 450℃인 탄소 박막 소자 제조 방법
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기판;상기 기판 상의 흡착층; 및상기 흡착층 상의 탄소층;을 포함하고,상기 흡착층은 산소 원자 및 질소 원자 중 적어도 하나를 포함하는 기능기를 포함하고,상기 흡착층의 산소 원자 또는 질소 원자는 상기 탄소층의 기저층의 탄소 원자와 공유 결합하는 탄소 박막 소자
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제17 항에 있어서,상기 흡착층은 산소 원자 또는 질소 원자의 단일 원자층으로 이루어진 탄소 박막 소자
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제17 항에 있어서,상기 흡착층의 산소 원자 또는 질소 원자는 상기 기판의 표면층의 원자와 공유 결합하는 탄소 박막 소자
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제17 항에 있어서,상기 기판은 적어도 하나 이상의 나노홀을 포함하고,상기 탄소층은 상기 나노홀을 갖는 기판 상에 형성된 탄소 박막 소자
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제17 항에 있어서,상기 흡착층의 두께는 0
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나노선;상기 나노선을 감싸도록 증착된 탄소층; 및상기 나노선과 상기 탄소층 사이의 흡착층을 포함하고,상기 흡착층은 산소 원자 및 질소 원자 중의 적어도 하나를 포함하는 기능기를 포함하고,상기 흡착층의 산소 원자 또는 질소 원자는 상기 탄소층의 기저층의 탄소 원자 및 상기 나노선의 표면층의 원자와 공유 결합하는 탄소 나노선
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제23 항에 있어서,상기 흡착층은 산소 원자 또는 질소 원자의 단일 원자층으로 이루어진 탄소 나노선
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제23 항에 있어서,상기 흡착층의 두께는 0
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