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연마입자의 일부에 금속 이온을 포함하는 금속-치환 연마입자
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제1항에 있어서, 상기 연마입자의 일부는, 상기 연마입자의 표면 또는 상기 연마입자의 표면으로부터 중심까지의 30% 지점까지인 것인, 금속-치환 연마입자
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제1항에 있어서, 상기 금속 이온은, 상기 연마입자 일부의 성분이 상기 금속 이온으로 치환된 것인, 금속-치환 연마입자
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제1항에 있어서,상기 연마입자는,금속산화물, 유기물 또는 무기물로 코팅된 금속산화물, 및 콜로이달 상태의 상기 금속산화물로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하고, 상기 금속산화물은 실리카, 세리아, 지르코니아, 알루미나, 티타니아, 바륨티타니아, 게르마니아, 망가니아 및 마그네시아로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인,금속-치환 연마입자
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제1항에 있어서,상기 금속 이온은, 사면체 배위(tetrahedral coordination)를 가지는 것인, 금속-치환 연마입자
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제1항에 있어서,상기 금속 이온은, 철(Fe), 알루미늄(Al), 비소(As), 갈륨(Ga), 붕소(B), 베릴륨(Be), 코발트(Co), 크롬(Cr), 하프늄(Hf), 인듐(In), 마그네슘(Mg), 망간(Mn), 니켈(Ni), 인(P), 티타늄(Ti), 바나듐(V), 아연(Zn) 및 지르코늄(Zr)으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 금속-치환 연마입자
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제1항에 있어서,상기 연마입자는 콜로이드 실리카이고, 상기 금속 이온은 철(Fe) 이온이고, 상기 콜로이드 실리카 연마입자의 표면 중 일부 실리콘(Si) 이온이 철(Fe) 이온으로 치환된 것인, 금속-치환 연마입자
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제1항에 있어서,상기 금속-치환 연마입자 크기는, 10 nm 내지 300 nm인 것인, 금속-치환 연마입자
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제1항에 있어서,상기 금속-치환 연마입자는, pH 1 내지 12에서, - 1 mV 내지 - 100 mV 제타전위를 가지는 것인, 금속-치환 연마입자
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연마입자를 금속염, 금속이온 화합물 또는 이 둘과 혼합하여 혼합물을 제조하는 단계; 및상기 혼합물을 수열합성 조건에서 합성하는 단계;를 포함하는, 금속-치환 연마입자의 제조방법
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제10항에 있어서,상기 금속염은, 철(Fe), 알루미늄(Al), 비소(As), 갈륨(Ga), 붕소(B), 베릴륨(Be), 코발트(Co), 크롬(Cr), 하프늄(Hf), 인듐(In), 마그네슘(Mg), 망간(Mn), 니켈(Ni), 인(P), 티타늄(Ti), 바나듐(V), 아연(Zn) 및 지르코늄(Zr)으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 금속의 염을 포함하는 것이고,상기 금속이온 화합물은, 질산나트륨, 질산리튬, 질산칼륨, 수산화나트륨, 수산화리튬, 수산화칼륨, 황산나트륨, 황산리튬, 황산칼륨, 염화나트륨, 염산리튬, 염화칼륨, 탄산나트륨, 탄산리튬 및 탄산칼륨으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 금속-치환 연마입자의 제조방법
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제10항에 있어서,상기 금속염은, 상기 연마입자 100 중량부 기준으로 0
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제1항 내지 제9항 중 적어도 어느 한 항에 따른 금속-치환 연마입자; 및산화제;를 포함하는, 연마 슬러리 조성물
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제13항에 있어서,상기 금속-치환 연마입자는, 상기 연마 슬러리 조성물 중 0
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제13항에 있어서,상기 산화제는, 과산화수소, 과산화수소, 우레아 과산화수소, 우레아, 과탄산염, 과요오드산, 과요오드산염, 과염소산, 과염소산염, 과브롬산, 과브롬산염, 과붕산, 과붕산염, 과망간산, 과망간산염, 과황산염, 브롬산염, 염소산염, 아염소산염, 크롬산염, 요오드산염, 요오드산, 과산화황산암모늄, 벤조일 퍼옥사이드, 칼슘 퍼옥사이드, 바륨 퍼옥사이드, 소듐 퍼옥사이드 및 과산화요소로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것이고,상기 산화제는, 상기 연마 슬러리 조성물 중 0
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제13항에 있어서,수산화칼륨, 수산화나트륨, 암모니아, 암모니아 유도체, 염산, 질산, 황산, 아세트산, 인산, 붕산, 아미노산, 구연산, 주석산, 포름산, 말레인산, 옥살산, 타르타르산 및 초산으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나의 pH 조절제를 더 포함하는 것인, 연마 슬러리 조성물
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제13항에 있어서,상기 연마 슬러리 조성물의 pH는, 1 내지 12의 범위를 가지는 것인, 연마 슬러리 조성물
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