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횡파 발생 방지가 가능한 압전소자를 가진 초음파 진동자 및 이를 포함하는 초음파 세정 장치(An ultrasonic transmitter having piezoelectric element capable of transverse prevention and ultrasonic cleaning device including the same)

  • 기술번호 : KST2016019750
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약 본 발명에 따른 횡파 발생 방지가 가능한 압전소자를 가진 초음파 진동자는 n각형 형상으로 구성되며, 내부가 m(단, m=n, m=n/2)각형 형상으로 천공된 천공홀이 형성되는 압전소자;를 포함하며, 상기 천공홀은 상기 m각형 형상의 모든 옆면과 상기 n각형 형상의 모든 옆면 중에서 서로 평행하게 대향하는 2개의 옆면이 발생하지 않는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 횡파 발생 방지가 가능한 압전소자를 가진 초음파 진동자를 포함하는 초음파 세정 장치는 상기 압전소자와, 상면에 상기 압전소자가 결합되는 제1전달체와, 상기 제1전달체의 하면에 결합되는 제2전달체를 포함하는 초음파 진동자; 및 하면이 피세정물에 대향하도록 구비되며, 내부에 상기 압전소자와 제1전달체가 수납되는 하우징;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL B06B 1/06 (2006.01) B08B 7/02 (2006.01) H01L 21/449 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020150069485 (2015.05.19)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0136495 (2016.11.30)
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자
심사청구항수 0
인명정보가 없습니다
행정처리가 정보가 없습니다
청구항 정보가 없습니다
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.