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비선형 합주파수 생성 및 4파 혼합 듀얼 모드를 이용한 현미경(Microscopy for using non-linear sum-frequency generation and four wave mixing dual mode)

  • 기술번호 : KST2016020178
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예에 따른 2차원 구조체를 분석하는 비선형 합주파수 생성 및 4파 혼합 듀얼 모드를 이용한 현미경은, 제1 펄스파 및 제2 펄스파를 발생시켜 상기 제1 펄스파는 제1 경로로 이동시키고 상기 제2 펄스파는 제2 경로로 이동시키는 펨토초 기반의 광원; 상기 제 1 펄스파 및 상기 제2 펄스파를 겹치게 함으로써 중첩광을 발생시켜 상기 중첩광이 상기 제1 경로 및 상기 제2 경로가 합쳐지는 제3 경로를 거쳐 상기 2차원 구조체에 도달하도록 하는 이색 거울; 상기 중첩광이 상기 2차원 구조체에 도달하여 발생되는 합주파수 생성(Sum-Frequency Generation)파를 필터링한 후 상기 합주파수 생성파가 필터링된 신호를 전기적인 신호로 전환하여 이미지를 만들도록 하는 제1 광증폭 튜브를 갖는 제1 이미지 획득부; 및 상기 2차원 구조체를 사이에 두고 반대측에 배치되며, 상기 2차원 구조체를 통해 제공되는 광을 증폭시켜 4파 혼합(FWM, four wave mixing) 이미지를 얻도록 하는 제2 광증폭 튜브를 갖는 제2 이미지 획득부;를 포함할 수 있다.
Int. CL H01J 37/26 (2006.01) H01J 37/22 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01J 37/261(2013.01) H01J 37/261(2013.01) H01J 37/261(2013.01) H01J 37/261(2013.01)
출원번호/일자 1020150076513 (2015.05.29)
출원인 재단법인대구경북과학기술원
등록번호/일자 10-1694002-0000 (2017.01.02)
공개번호/일자 10-2016-0140201 (2016.12.07) 문서열기
공고번호/일자 (20170111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.05.29)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김현민 대한민국 대구광역시 달서구
2 정순문 대한민국 대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 ***, ***동 ***호 (대구
3 주경일 대한민국 대구광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2015-0521996-80
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.06.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0101525-19
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0581727-92
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.10.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0988974-95
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0988973-49
7 등록결정서
Decision to grant
2016.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0938311-86
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.18 수리 (Accepted) 4-1-2018-5260250-39
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5134633-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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2차원 구조체를 분석하는 비선형 합주파수 생성 및 4파 혼합 듀얼 모드를 이용한 현미경에 있어서,제1 펄스파 및 제2 펄스파를 발생시켜 상기 제1 펄스파는 제1 경로로 이동시키고 상기 제2 펄스파는 제2 경로로 이동시키는 펨토초 기반의 광원;상기 제 1 펄스파 및 상기 제2 펄스파를 겹치게 함으로써 중첩광을 발생시켜 상기 중첩광이 상기 제1 경로 및 상기 제2 경로가 합쳐지는 제3 경로를 거쳐 상기 2차원 구조체에 도달하도록 하는 이색 거울; 상기 중첩광이 상기 2차원 구조체에 도달하여 발생되는 합주파수 생성(SFG, Sum-Frequency Generation)파를 필터링한 후 상기 합주파수 생성파가 필터링된 신호를 전기적인 신호로 전환하여 3차원의 이미지를 만들도록 하는 제1 광증폭 튜브를 갖는 제1 이미지 획득부; 상기 2차원 구조체를 사이에 두고 반대측에 배치되며, 상기 2차원 구조체를 통해 제공되는 광을 증폭시켜 4파 혼합(FWM, four wave mixing) 이미지를 얻도록 하는 제2 광증폭 튜브를 갖는 제2 이미지 획득부; 및 3축으로 이동 가능한 3축 이동 가능 빔 스캐너;를 포함하며,상기 제1 이미지 획득부는, 상기 제3 경로 상에 구비되는 집속렌즈, 이색거울, 밴드패스필터, 대물렌즈 및 제1 광증폭 튜브를 포함하며,상기 집속렌즈와 상기 이색 거울을 중첩광이 거치면서 합주파수의 생성파가 발생되고,상기 밴드패스필터를 이용하여 발생된 합주파수 생성파를 필터링한 후 필터링된 신호를 전기적인 신호로 전환하여 상기 제1 광증폭 튜브에서 이미지를 생성하고,상기 3축 이동 가능 빔 스캐너를 이용하여 상기 2차원 구조체의 전 영역을 스캐닝함으로써 3차원 이미지를 획득하는, 비선형 합주파수 생성 및 4파 혼합 듀얼 모드를 이용한 현미경
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제1항에 있어서,상기 중첩광의 합주파수의 파장은, 1/λS = 1/λ1 + 1/λ2이며(여기서 λ1은 제1 펄스파의 파장, λ2는 제2 펄스파의 파장임), 상기 중첩광의 합주파수의 생성파를 밴드패스필터를 이용해 필터링한 후 상기 제1 광증폭 튜브로 보내는, 비선형 합주파수 생성 및 4파 혼합 듀얼 모드를 이용한 현미경
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삭제
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삭제
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제1항에 있어서,상기 제2 이미지 획득부는, 상기 2차원 구조체를 사이에 두고 배치되며 상기 중첩광이 상기 2차원 구조체에 부딪쳐 통과 또는 산란되는 광을 집속하는 집속렌즈; 및상기 집속렌즈에 의해 집속된 광을 필터링시키는 밴드패스필터를 더 포함하며,상기 제2 광증폭 튜브는 상기 집속된 광을 전기적 신호로 변환하여 4파 혼합 이미지를 획득하는, 비선형 합주파수 생성 및 4파 혼합 듀얼 모드를 이용한 현미경
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제5항에 있어서,상기 제2 광증폭 튜브에서의 파장(λFWM)은 1/λFWM = 2/λ1 - 1/λ2 관계(여기서, λ2003e#λ1)에 의해 정의되는, 비선형 합주파수 생성 및 4파 혼합 듀얼 모드를 이용한 현미경
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제1항에 있어서,상기 제1 펄스파 및 상기 제2 펄스파 중 하나의 펄스파는 680 내지 1300nm의 파장을 가변적으로 구비하고 다른 하나의 펄스파는 1040nm의 파장을 고정적으로 구비하는, 비선형 합주파수 생성 및 4파 혼합 듀얼 모드를 이용한 현미경
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제1항에 있어서,상기 2차원 구조체는 그래핀, TMD의 홀수 원자층을 갖는 2차원 구조체, BN, MoS2, 혹은 WSe2의 2차원 구조체인, 비선형 합주파수 생성 및 4파 혼합 듀얼 모드를 이용한 현미경
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.