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미세입자가 포함된 공기를 흡입하는 진공펌프;상기 진공펌프에 의해 흡입된 공기를 장치 내부로 유도하는 유입관;상기 유입관으로 가스 또는 가스 및 냉매를 공급하는 유체공급장치;상기 유입관을 통해 유도되는 미세입자가 포함된 공기에서 크기별로 입자를 분리할 수 있는 입자분리장치; 및상기 입자분리장치로부터 분리된 입자가 각각 배출되어 수집되는 입자포집장치;를 포함하며,상기 유입관은 적어도 둘 이상의 튜브로 이루어지고, 상기 유도되는 공기와 맞닿는 가장 안쪽은 다공성 튜브로 형성되어 상기 유체공급장치로부터 공급되는 가스가 상기 다공성 튜브를 통해 관 내부로 배출됨으로써 관 내부에 미세입자가 부착되는 것이 방지되는 것을 특징으로 하는 미세입자의 분리 및 포집장치
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제1항에 있어서,상기 다공성 튜브는 소결금속튜브인 것을 특징으로 하는 미세입자의 분리 및 포집장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 다공성 튜브에는, 미세입자를 급속하게 냉각시키기 위해 상기 유체공급장치로부터 공급되는 가스가 관 내부로 분출될 수 있도록 가스분출구가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 미세입자의 분리 및 포집장치
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제1항에 있어서,상기 유입관에는, 상기 다공성튜브의 외주연을 따라 이격되어 설치되고, 상기 유체공급장치로부터 공급되는 가스와 냉매를 분리하여 기밀시킬 수 있도록 유체차단튜브가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 미세입자의 분리 및 포집장치
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제4항에 있어서,상기 유입관에는, 상기 유체차단튜브의 외주연을 따라 이격되어 설치되고, 상기 유체공급장치로부터 공급되는 냉매가 복수의 층을 이루어 흐를 수 있도록 일단에 유로홀을 가지는 냉매유로변경튜브가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 미세입자의 분리 및 포집장치
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제1항에 있어서,상기 진공펌프에는, 흡입되는 공기에 포함된 미세입자의 유량이 일정하게 유지되도록 흡입되는 공기의 유량을 조절할 수 있는 유량조절밸브가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 미세입자의 분리 및 포집장치
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제1항에 있어서,상기 입자분리장치는, 상기 유입관을 통해 유도되는 공기가 유입되는 흡기부, 상기 유입되는 공기내에 포함된 미세입자가 수용되어 원심력에 의해 크기별로 분리되는 몸체부, 상기 몸체부에서 분리된 입자가 각각 분리배출되는 배기부를 구비하는 사이클론장치인 것을 특징으로 하는 미세입자의 분리 및 포집장치
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제7항에 있어서,상기 몸체부는, 상기 흡기부가 형성된 부분은 원통형이고, 분리된 입자 중 큰 입자가 분리배출되는 배기부가 형성된 부분은 관로가 점차 좁아지는 원추모양으로 형성되는 것을 특징으로 하는 미세입자의 분리 및 포집장치
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제1항에 있어서,상기 입자포집장치는, 나노입자를 포집할 수 있는 필터와 상기 필터가 수용되는 필터하우징 및 상기 필터를 고정시키는 필터홀더를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세입자의 분리 및 포집장치
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제9항에 있어서,상기 필터하우징에는, 냉매의 유출입이 가능하도록 냉매유입구 및 냉매유출구가 구비되는 것을 특징으로 하는 미세입자의 분리 및 포집장치
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제1항에 있어서,상기 입자분리장치와 적어도 하나 이상의 상기 입자포집장치 사이에는, 상기 입자분리장치에서 분리배출되는 입자가 관통하여 상기 입자포집장치로 이동될 수 있도록 중공의 형상으로 이루어지고, 냉매의 유출입이 가능하도록 냉매유입구와 냉매유출구를 가진 냉각장치가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 미세입자의 분리 및 포집장치
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제1항 또는 제6항에 있어서,상기 진공펌프와 상기 입자포집장치 사이에는, 외부기기와 연결하여 흡입된 공기의 성분을 분석할 수 있도록 샘플채취용 밸브가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 미세입자의 분리 및 포집장치
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