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상압 플라즈마 표면처리된 폴리머 기판을 이용한 투명전극의 제조방법

  • 기술번호 : KST2017003769
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플렉시블한 투명전극을 제조하기 위한 방법에 관한 것으로서, 상압하에서, 플라즈마발생장치에 반응가스를 공급하고, 교류전원을 인가시켜 플라즈마를 발생시키고, 플라즈마 발생 영역에 폴리머 기판을 위치시켜 플라즈마 표면 개질 후, 상기 폴리머 기판에 투명전도성산화물층을 형성하여 플렉시블한 전자소자를 확보하는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 폴리머 기판을 이용한 투명전극의 제조방법을 기술적 요지로 한다. 이에 의해, 폴리머 기판을 상압 플라즈마 표면처리하여 투명전도성산화물층을 증착시킴으로써 플렉시블한 전자소자를 확보하고, 상압, 상온 하에서도 투명도 및 전도도의 조절이 용이하여 제조공정이 간단하고, 경제적인 이점이 있다.상압 플라즈마 표면처리 폴리머 투명전도성산화물 투명도 플렉시블 유연소자
Int. CL G02F 1/1343 (2006.01) B32B 27/16 (2006.01) H01B 1/08 (2006.01)
CPC B32B 27/16(2013.01) B32B 27/16(2013.01) B32B 27/16(2013.01) B32B 27/16(2013.01)
출원번호/일자 1020090092269 (2009.09.29)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1133250-0000 (2012.03.28)
공개번호/일자 10-2011-0034822 (2011.04.06) 문서열기
공고번호/일자 (20120405) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.09.29)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조채용 대한민국 경상남도 밀양시
2 정세영 대한민국 부산광역시 금정구
3 정용민 대한민국 부산광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0597924-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.03.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0033439-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.07.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0377496-71
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0686526-76
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.09.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0686521-48
7 등록결정서
Decision to grant		 2012.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0152567-94
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
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상압하에서, 플라즈마발생장치에 반응가스를 공급하고, 교류전원을 인가시켜 플라즈마를 발생시키고, 플라즈마 발생 영역에 폴리머 기판을 위치시켜 플라즈마 처리를 통하여 폴리머 기판에 작용기(functional group)가 형성되도록 표면 개질 한 후, 상기 폴리머 기판에 투명전도성산화물층을 형성하여 플렉시블한 전자소자를 확보하는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 폴리머 기판을 이용한 투명전극의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 폴리머 기판은,PC, PET, PS, PI 및 PE 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 폴리머 기판을 이용한 투명전극의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 상압 플라즈마 표면처리를 위한 반응가스는, Ar가스에 H2, O2 및 N2 중의 어느 하나 또는 이를 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 폴리머 기판을 이용한 투명전극의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 투명전도성산화물층은,ZnO, 도핑된 ZnO, ITO, In2O3 및 SnO2 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 폴리머 기판을 이용한 투명전극의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 투명전도성산화물층은, 박막, 나노라드, 나노닷 및 나노와이어 중의 어느 하나의 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 폴리머 기판을 이용한 투명전극의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 투명전도성산화물층은,DC/RF sputter, PLD, sol-gel, ALD, thermal evaporation 및 E-beam evaporation 방법 중의 어느 하나의 물리적인 증착방법 또는 spray pyrolysis, electro-deposition, solution 및 CVD 방법 중의 어느 하나의 화학적인 증착방법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 표면처리된 폴리머 기판을 이용한 투명전극의 제조방법
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