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이중 퍼지 라인을 구비한 ALD 장치

  • 기술번호 : KST2017005131
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 ALD 장치 구성에 관한 것으로,반응성이 큰 물질을 이용하여 원자층의 물질층을 형성할 경우, 배출구가 오염되거나 막혀 지속적인 공정을 실시하지 못하고 수리보수를 하여야 하는 문제를 해결하고자 안출 되었다. 본 발명에 따르면, 배출구를 2 개로 설치하고 제1 배출구와 제2 배출구에 각각 밸브를 달아 한 종류의 원료가스를 공급하고 퍼징하는 동안은 제1 배출구의 밸브만 개방하고 제2 배출구의 밸브는 폐쇄하고, 반응성이 큰 다른 원료 가스를 공급하고 퍼징하는 동안은 제2 배출구의 밸브만 개방하고 제1 배출구의 밸브는 폐쇄하는 식으로 운용하게 하였으며, CIGS 태양전지에서 Zn 전구체와 H2S를 원자층 증착법으로 ZnS 층을 만들 때 특히 유용하다.
Int. CL H01L 31/042 (2014.01) H01L 31/18 (2006.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020130025411 (2013.03.11)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1457290-0000 (2014.10.27)
공개번호/일자 10-2014-0112134 (2014.09.23) 문서열기
공고번호/일자 (20141104) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.03.11)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권세훈 대한민국 경기 군포시 용호*로 **, *
2 김광호 대한민국 부산 해운대구
3 이우재 대한민국 부산광역시 사상구
4 장승일 대한민국 부산광역시 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주은희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** 선릉엘지에클라트 B-***(아이디어로특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-0207270-06
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.12.24 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.02.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0008832-86
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0180840-24
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.05.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0445780-29
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2014-0445781-75
8 보정요구서
Request for Amendment		 2014.05.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0084155-84
9 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)		 2014.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0481589-48
10 등록결정서
Decision to grant		 2014.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0599807-32
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
1 1
반응성이 큰 활성 원료가스를 포함한 원료가스를 공급하여 원자층 박막을 형성하는 원자층 증착 장치에 있어서,하나 이상의 가스 유입구; 개폐 밸브를 포함한 제1 배출구; 및개폐 밸브를 포함한 제2 배출구;를 포함하고,한 종류의 원료가스를 공급하고 퍼징하는 동안은 제1 배출구의 밸브만 개방하고 제2 배출구의 밸브는 폐쇄하고,반응성이 큰 다른 활성 원료 가스를 공급하고 퍼징하는 동안은 제2 배출구의 밸브만 개방하고 제1 배출구의 밸브는 폐쇄하여 배출구 막힘 현상을 예방할 수 있도록 배출구 개폐를 운용하는 것을 특징으로 하는 원자층 증착 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 원료가스는 금속을 포함한 전구체와 H2S 가스인 것을 특징으로 하는 원자층 증착 장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 원료가스는 Zn을 포함한 전구체와 H2S 가스인 것을 특징으로 하는 원자층 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 부산대학교산학협력단 국가핵심연구센터사업 신기능 하이브리드 표면소재 응용연구