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일측의 개폐구들 및공동(cavity)을 포함하는 냉각장치에 있어서:상기 개폐구는 외부 열원(heat source)의 온도에 따라 능동적(active)으로 개폐되고, 상기 공동은 상기 개폐구들을 통해 상기 냉각장치의 외부와 연결되는 냉각장치
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제 1 항에 있어서,평면적 관점에서, 상기 개폐구들은 원형 및 삼각형 중의 어느 하나인 냉각장치
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제 1 항에 있어서,평면적 관점에서, 상기 개폐구들의 형태는 제1 방향으로 연장되는 제1 부분, 상기 제1 부분의 일끝영역에서 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장되는 제2 부분, 및 상기 제1 부분의 타끝영역에서 상기 제1 방향과 수직하고 제2 방향에 반대되는 제3 방향으로 연장되는 제3 부분을 포함하는 형태인 냉각장치
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제 1 항에 있어서, 평면적 관점에서, 상기 개폐구들은 서로 이격되며,상기 이격의 거리는 상기 개폐구들의 크기의 절반인 냉각장치
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제 1 항에 있어서,온도반응성(temperature-responsive) 고분자를 포함하는 냉각장치
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제 5 항에 있어서, 상기 온도반응성 고분자는 poly(N-isopropylacrylamide)를 포함하는 냉각장치
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제 1 항에 있어서,상기 공동은 복수인 냉각장치
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기판 상에 레지스트(resist)를 제공하는 것;상기 레지스트에 몰드(mold)로 압력을 가하여 제1 부분을 형성하는 것;상기 제1 부분의 하부에 판형상(plate shape)을 갖는 제2 부분을 접합하는 것을 포함하는 냉각장치의 제조 방법에 있어서:상기 제1 부분 및 상기 제2 부분은 온도반응성(temperature-responsive) 고분자를 포함하고, 상기 냉각장치는 일측의 개폐구들 및 공동(cavity)을 포함하고, 상기 개폐구는 외부 열원(heat source)의 온도에 따라 능동적(active)으로 개폐되고, 상기 공동은 상기 개폐구들을 통해 상기 냉각장치의 외부와 연결되는 냉각장치의 제조 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 레지스트는 UV(Ultra Violet Ray) 레지스트이며,상기 제1 부분을 형성하는 것은 상기 레지스트에 자외선을 조사하여 상기 레지스트를 경화시키는 것을 더 포함하는 냉각장치의 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 레지스트는 poly(N-isopropylacrylamide)를 포함하는 냉각장치의 제조 방법
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