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초발수용 몰드 제조방법에 있어서,몰드용 금속 표면에 포토레지스트를 결합하는 단계와;리소그래피를 통해 상기 포토레지스트를 감광하여 감광 마이크로 패턴을 형성하는 단계와;상기 감광 마이크로 패턴에 양극산화를 통해 제1양극산화층을 형성하는 단계와;상기 제1양극산화층을 제거한 후, 상기 몰드용 금속에 남아있는 상기 포토레지스트를 제거하여 상기 감광 마이크로 패턴보다 깊게 함몰되며 나노시드를 포함하는 양극산화 마이크로 패턴을 형성하되, 상기 양극산화 마이크로 패턴은 반구 형상으로 형성되고, 0
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제 1항에 있어서,상기 몰드용 금속에 포토레지스트를 결합하는 단계 이전에,상기 몰드용 금속 표면을 세정 및 연마하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초발수용 몰드 제조방법
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제 2항에 있어서,상기 연마하는 단계는,기계 연마 또는 전해연마를 통해 이루어지며,상기 몰드용 금속 표면은 0
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제 1항에 있어서,상기 리소그래피는 UV 광, 전자빔 중 적어도 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 초발수용 몰드 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 몰드용 금속은 Al, W, Ti, Ta, Hf, Nb, Zr 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 초발수용 몰드 제조방법
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제 5항에 있어서,상기 몰드용 금속에 Cu, Mn, Si, Mg, Cr, Zn, Li, V, Mo, Ga, Ge, Fe, Co, Ni, C, O 원소 중 적어도 하나를 추가로 혼합하는 것을 특징으로 하는 초발수용 몰드 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 몰드용 금속은 평판 또는 롤형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 초발수용 몰드 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제1양극산화층은 인산용액을 통해 식각 제거되는 것을 특징으로 하는 초발수용 몰드 제조방법
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제 1 및 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 양극산화는 전해질로서 0
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제 1항에 있어서,상기 나노기공의 직경 및 함몰 깊이를 조절하는 단계 이후에,초발수용 몰드보다 더 높은 강도를 갖는 몰드를 상기 초발수용 몰드를 이용하여 제조하기 위해, 상기 초발수용 몰드의 기공 및 표면에 고분자, 금속, 합금 또는 세라믹 물질을 증착 또는 코팅한 후, 상기 초발수용 몰드를 제거하여 고분자, 금속, 합금 또는 세라믹 물질의 양각 몰드를 제조한 후, 상기 양각 몰드에 다시 금속, 합금 또는 세라믹 물질의 음각 몰드를 제조하는 것을 특징으로 하는 초발수용 몰드 제조방법
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제 12항에 있어서,상기 금속은 Al, Mn, Ti, W, Cu, Ni, Cr 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되며, 상기 고분자는 PDMS(Polydimethylsiloxane), PA(Polyamide), PTFE(Polytetrafluoroethylene) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되며, 상기 세라믹은 SiC, DLC, 다이아몬드 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 초발수용 몰드 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 나노기공의 직경 및 함몰 깊이를 조절하는 단계 이후에,상기 초발수용 몰드로부터 초발수용 고분자 재료의 탈착성 향상을 위해 상기 몰드용 금속에 이형성 막을 코팅하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초발수용 몰드 제조방법
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초발수용 몰드를 이용한 초발수용 재료 제조방법에 있어서,몰드용 금속 표면에 포토레지스트를 결합하는 단계와;리소그래피를 통해 상기 포토레지스트를 감광하여 감광 마이크로 패턴을 형성하는 단계와;상기 감광 마이크로 패턴에 양극산화를 통해 제1양극산화층을 형성하는 단계와;상기 제1양극산화층을 제거한 후, 상기 몰드용 금속에 남아있는 상기 포토레지스트를 제거하여 상기 감광 마이크로 패턴보다 깊게 함몰되며 나노시드를 포함하는 양극산화 마이크로 패턴을 형성하되, 상기 양극산화 마이크로 패턴은 반구 형상으로 형성되고, 0
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제 20항에 있어서,상기 코팅은 고분자 용액법, 열 임프린팅법(Thermal imprinting), UV-임프린팅법 또는 화학적 임프린팅법을 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 초발수용 몰드를 이용한 초발수용 재료 제조방법
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제 20항에 있어서,상기 고분자 수지는 polyamide(PA); polystyrene(PS); polycarbonate(PC); polyurethane(PU); polyimide(PI); polymethylmethacrylate (PMMA)를 포함하는 폴리아크릴레이트; polybutylene terephthalate(PBT), polyethylene terephthalate(PET)을 포함하는 폴리에스테르; polyethylene(PE), polypropylene(PP)을 포함하는 폴리알킬렌; polyvinyl chloride(PVC), polyvinylidene fluoride(PVdF)을 포함하는비닐폴리머; polydimethylsiloxane(PDMS) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 초발수용 몰드를 이용한 초발수용 재료 제조방법
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