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전력 스위칭을 위한 메인 트랜지스터로서 제공되는 공핍형 전계효과 트랜지스터;상기 공핍형 전계효과 트랜지스터의 게이트 및 드레인을 공유하도록 구성되고 상기 공핍형 전계효과 트랜지스터에 비해 전류 구동능력이 작은 센스 전계효과 트랜지스터;캐스코드 구조를 이루기 위해, 상기 공핍형 전계효과 트랜지스터의 소스인 부동 노드에 드레인이 연결되도록 구성되며, 상기 공핍형 전계효과 트랜지스터를 구동하는 증가형 전계효과 트랜지스터;상기 부동 노드와 상기 센스 전계효과 트랜지스터의 소스간에 연결되어 상기 부동 노드에 대한 전압 안정화를 수행하도록 구성된 제1 안정화 회로; 상기 증가형 전계효과 트랜지스터의 소스와 상기 센스 전계효과 트랜지스터의 소스간에 연결되어 상기 부동 노드에 대한 전압 안정화를 수행하도록 구성된 제2 안정화 회로; 및상기 공핍형 전계효과 트랜지스터의 게이트와 상기 증가형 전계효과 트랜지스터의 소스 사이에 연결되는 보호 회로를 포함하는 전력 반도체 모듈
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제1항에 있어서, 공핍형 전계효과 트랜지스터는 AlGaN/GaN HEMT의 D-Mode FET이며 전류 도통 방향이 기판에 대하여 수평인 전력 반도체 모듈
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제1항에 있어서, 상기 공핍형 전계효과 트랜지스터와 상기 센스 전계효과 트랜지스터의 게이트 폭(width)비는 N:1이며, 여기서 N은 1보다 큰 정수인 전력 반도체 모듈
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제1항에 있어서, 상기 제1 안정화 회로는 수동 회로 소자를 포함하는 전력 반도체 모듈
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제1항에 있어서, 상기 제1 안정화 회로는 능동 회로 소자를 포함하는 전력 반도체 모듈
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제1항에 있어서, 상기 제2 안정화 회로는 저항이나, 커패시터, 및 인덕터 중의 적어도 하나를 포함하는 전력 반도체 모듈
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제1항에 있어서, 상기 제2 안정화 회로는 다이오드를 포함하는 전력 반도체 모듈
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전력 스위칭을 위한 메인 트랜지스터로서 제공되는 제1 모드 전계효과 트랜지스터;상기 제1 모드 전계효과 트랜지스터의 게이트 및 드레인을 공유하도록 구성되고 상기 제1 모드 전계효과 트랜지스터에 비해 게이트 폭이 작은 센스 전계효과 트랜지스터;상기 제1 모드 전계효과 트랜지스터와 함께 캐스코드 구조를 이루기 위해, 상기 제1 모드 전계효과 트랜지스터의 소스인 부동 노드에 드레인이 연결되도록 구성되며, 상기 제1 모드 전계효과 트랜지스터를 구동하는 제2 모드 전계효과 트랜지스터;상기 부동 노드와 상기 센스 전계효과 트랜지스터의 소스간에 연결되어 전력 스위칭 시에 상기 부동 노드에 대한 전압 안정화를 수행하도록 구성된 제1 안정화 소자; 상기 제2 모드 전계효과 트랜지스터의 소스와 상기 센스 전계효과 트랜지스터의 소스간에 연결되어 상기 전력 스위칭 시에 상기 부동 노드에 대한 전압 안정화를 수행하도록 구성된 제2 안정화 소자; 및상기 제1 모드 전계효과 트랜지스터의 게이트와 상기 제2 모드 전계효과 트랜지스터의 소스 사이에 연결되는 보호 회로를 포함하는 전력 반도체 모듈
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제8항에 있어서, 상기 제1 모드 전계효과 트랜지스터의 게이트와 상기 제2 모드 전계효과 트랜지스터의 소스 사이에 저항이나, 커패시터, 또는 다이오드가 더 연결된 전력 반도체 모듈
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공핍형 전계효과 트랜지스터 및 증가형 전계효과 트랜지스터를 구비한 전력 반도체 모듈의 부동 노드 전압 안정화 방법에 있어서:상기 공핍형 전계효과 트랜지스터의 게이트 및 드레인을 공유하도록 구성되고 상기 공핍형 전계효과 트랜지스터에 비해 전류 구동능력이 작은 센스 전계효과 트랜지스터를 제공하고;상기 공핍형 전계효과 트랜지스터의 소스와 상기 증가형 전계효과 트랜지스터가 연결되는 부동 노드의 전압 안정화를 위해 상기 부동 노드와 상기 센스 전계효과 트랜지스터의 소스간에 수동 회로 소자를 제공하고,상기 공핍형 전계효과 트랜지스터의 게이트와 상기 증가형 전계효과 트랜지스터의 소스 사이에 연결되는 보호 회로를 제공하는 것을 포함하는 방법
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제10항에 있어서, 상기 부동 노드의 전압 안정화를 위해 상기 증가형 전계효과 트랜지스터의 소스와 상기 센스 전계효과 트랜지스터의 소스간에 능동 회로 소자를 제공하는 것을 더 포함하는 방법
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제10항에 있어서, 상기 부동 노드의 전압 안정화를 위해 상기 증가형 전계효과 트랜지스터의 소스와 상기 센스 전계효과 트랜지스터의 소스간에 수동 회로 소자를 제공하는 것을 더 포함하는 방법
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