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투명전도성산화물 박막의 제조 방법(FABRICATION METHOD FOR TRANSPARENT CONDUCTIVE OXIDE THIN FILM)

  • 기술번호 : KST2017007800
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예에 따른 투명전도성산화물 박막의 제조 방법은, 제1 폴리머 용액을 준비하는 단계와, 제2 폴리머 용액을 준비하는 단계와, 상기 제1 폴리머 용액과 상기 제2 폴리머 용액을 혼합한 제3 폴리머 용액을 형성하는 단계와, 상기 제3 폴리머 용액을 기판 상에 코팅하는 단계와, 상기 기판을 건조시켜 상기 기판 상에 박막을 형성하는 단계, 및 수소 플라즈마 처리 공정을 통해 상기 박막의 표면 처리를 실시하는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL H01B 13/00 (2006.01.01) H01B 5/14 (2006.01.01) H01L 31/0224 (2006.01.01) H01L 31/0216 (2014.01.01) H01L 31/0236 (2006.01.01) G06F 3/041 (2006.01.01) G02F 1/1343 (2006.01.01)
CPC H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01)
출원번호/일자 1020160067550 (2016.05.31)
출원인 한국전자통신연구원, 순천대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0053555 (2017.05.16) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020150155046   |   2015.11.05
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.05.21)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 순천대학교 산학협력단 대한민국 전라남도 순천시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성현 대한민국 대전광역시 유성구
2 이지면 대한민국 전라남도 순천시 봉화*길 ***
3 김동철 대한민국 대전광역시 유성구
4 이명래 대한민국 대전광역시 유성구
5 임영안 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2016-0525504-79
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2016.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-1030958-30
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.05.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0514867-07
4 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
 2020.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2020-0514869-98
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번호 청구항
1 1
제1 폴리머 용액을 준비하는 단계;제2 폴리머 용액을 준비하는 단계;상기 제1 폴리머 용액과 상기 제2 폴리머 용액을 혼합한 제3 폴리머 용액을 형성하는 단계;상기 제3 폴리머 용액을 기판 상에 코팅하는 단계;상기 기판을 건조시켜 상기 기판 상에 박막을 형성하는 단계; 및수소 플라즈마 처리 공정을 통해 상기 박막의 표면 처리를 실시하는 단계를 포함하는 투명전도성산화물 박막의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.