맞춤기술찾기

이전대상기술

칼코게나이드 박막 및 이의 제조방법(Chalcogenide thin film and method for preparing the same)

  • 기술번호 : KST2017008946
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전하 운반자 타입을 선택적으로 제어할 수 있는 칼코게나이드 박막 및 이의 제조방법에 관한 것으로, n-타입의 칼코게나이드 층을 포함하여 원자단위를 제어한 칼코게나이드 기반의 비정질 상태의 박막 구조를 합성한 후 상기 박막을 열처리함으로써 운반자 타입을 변환시키는데 탁월한 효과를 나타낸다.또한, 상기와 같이 박막을 열처리하는 비교적 단순한 공정만으로도 박막 내의 전하 운반자 타입을 제어할 수 있어, 종래의 복잡한 공정에 비하여 공정을 단순화할 수 있으므로 경제적 측면에서도 우수한 효과를 달성할 수 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2015.12.20) H01L 21/324 (2015.12.20)
CPC H01L 21/02568(2013.01) H01L 21/02568(2013.01) H01L 21/02568(2013.01) H01L 21/02568(2013.01)
출원번호/일자 1020150156643 (2015.11.09)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0054001 (2017.05.17) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.09)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 조만호 대한민국 서울특별시 용산구
2 최혜진 대한민국 경기도 부천시 오정구
3 정홍식 대한민국 경기도 성남시 분당구
4 강철 대한민국 광주광역시 북구
5 김태현 대한민국 서울특별시 성동구
6 박한범 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2015-1088034-26
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0125407-58
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0385092-43
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.04.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0385108-96
5 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2017.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0596755-45
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2017-1074867-38
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.10.31 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1078132-93
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-1078118-53
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.03.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0202254-33
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.05.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0436889-34
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2018-0436890-81
12 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2018.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0422255-83
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2018-0782435-02
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.08.08 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0782434-56
15 등록결정서
Decision to grant
2018.08.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0551862-79
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
a) 기판에 금속-도펀트 원자를 증착시켜 칼코게나이드 층을 형성하는 단계; 및b) 상기 칼코게나이드 층을 열처리하는 단계를 포함하는 칼코게나이드 박막의 제조방법으로,상기 a) 단계는 기판을 증착 챔버에 투입한 후, 교차 증착방법을 통해 BixSey 및 BixTey(x,y는 각 원소의 두께 비로 x=1-2, y=2-3)를 다층으로 교차 증착시키고,상기 칼코게나이드 박막은 n-타입 및 p-타입의 칼코게나이드 층이 서로 인접하여 p-n 접합을 형성하며,상기 칼코게나이드 박막은 하기 화학식 1로 표시되는 칼코게나이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 칼코게나이드 박막의 제조방법:[화학식 1](Bi)x(Se)y(Te)z상기 화학식 1에서 상기 x=1-2, y=2-3, z=1-2이다
11 11
제10항에 있어서,상기 b) 단계는 아닐링하거나, 또는 펄스형 레이저를 조사하거나, 또는 전류를 가하여 줄 열(Joule's heat)을 통해 열처리하는 것을 특징으로 하는 칼코게나이드 박막의 제조방법
12 12
제10항에 있어서,상기 b) 단계는 150 내지 270℃의 온도에서 1 내지 30분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 칼코게나이드 박막의 제조방법
13 13
제10항에 있어서,상기 b) 단계는 n-타입의 칼코게나이드 층을 형성하는 것을 특징으로 하는 칼코게나이드 박막의 제조방법
14 14
제10항에 있어서,상기 a) 단계는 열 증착 방법으로 증착되는 것을 특징으로 하는 칼코게나이드 박막의 제조방법
15 15
삭제
16 16
삭제
17 17
제10항에 있어서,상기 기판은 Si, SiO2, Al2O3 및 glass 중에서 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 칼코게나이드 박막의 제조방법
18 18
삭제
19 19
제10항에 있어서,상기 화학식 1은 Bi2Se2Te인 것을 특징으로 하는 칼코게나이드 박막의 제조방법
20 20
제10항 내지 제14항, 제17항 및 제19항 중 어느 한 항의 제조방법에 따라 제조된 칼코게나이드 박막을 포함하는 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 연세대학교 산학협력단 전자정보디바이스산업원천기술개발 신공정 및 metrology 연구를 통한 차세대 PCRAM 기술 개발