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고분자 기판 상에 미세 구조체 패턴이 형성된 제1스탬프를 위치시켜 열간성형하여 상기 고분자 기판에 상기 제1스탬프의 미세 구조체 패턴과 역상인 제1패턴을 각인시키는 제1단계;상기 제1패턴이 각인된 고분자 기판에서 상기 제1스탬프를 분리하여, 상기 고분자 기판 상에 제1패턴을 성형하는 제2단계;상기 제1패턴이 형성된 고분자 기판 상에 유동성 재료를 도포하여, 상기 제1패턴과 역상인 하측 패턴을 상기 유동성 재료 하측면에 형성하는 제3단계;상기 도포된 유동성 재료 상에 미세 구조체 패턴이 형성된 제2스탬프를 위치시켜 가압하고, 경화공정을 수행하여 상기 유동성 재료 상측면에 상기 제2스탬프의 미세 구조체 패턴과 역상인 상측 패턴을 각인시키는 제4단계; 및상기 상측 패턴이 각인된 유동성 재료에서 상기 제2스탬프를 분리하여, 상기 고분자 기판 상에 유동성 재료로 이루어진 양면 패턴을 성형하는 제5단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 제1스탬프는,실리콘(Si), 산화실리콘(SiO2), 석영(Quartz), 니켈(Ni), 구리(Cu) 및 유리 중 어느 하나로 제작되는 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 제1단계의 제1스탬프 상부에는,점착방지(Anti-stiction) 표면 처리 공정이 이루어지는 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 제1단계의 고분자 기판은,폴리카보네이트(Polycarbonate, PC), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylene naphthalate, PEN), 폴리노르보넨(Polynorbornene, PN), 폴리아크릴레이트(Polyacrylate), 폴리비닐알콜(Polyvinyl alcohol, PVA), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET), 폴리에테르설폰(Polyethersulfone, PES), 폴리스타일렌 (Polystyrene, PS), 폴리프로필렌 (Polypropylene, PP), 폴리에틸렌 (Polyethylene, PE), 폴리염화비닐 (polyvinylchloride, PVC), 폴리아미드 (Polyamide, PA), 폴리부틸렌테레프탈레이트 (Polybutyleneterephthalate, PBT), 폴리메타크릴레이트 (Polymethyl methacrylate, PMMA) 및 폴리디메틸실록산 (Polydimethylsiloxane, PDMS) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 제1단계의 열간성형은,상기 고분자 기판의 유리전이온도(Glass transition temperature) 이상의 온도에서 가열하며, 가압하는 압력은 1
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제 1항에 있어서, 상기 제3단계의 유동성 재료는,광경화성 수지 조성물, 열경화성 수지 조성물, 자연경화성 수지 조성물, 투명한 수지 조성물, 전도성 페이스트 및 감광성 금속-유기물 전구체 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 제3단계의 유동성 재료의 도포는,드랍핑(dropping), 스프레이 코팅(spray coating), 스핀코팅 및 프린팅 중 어느 하나의 방법으로 구현되는 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 제2스탬프는,실리콘(Si), 산화실리콘(SiO2), 석영(Quartz), 니켈(Ni), 구리(Cu), 유리 및 폴리머 중 어느 하나로 제작되는 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 폴리머는,PDMS(Polydimethylsiloxane), PUA(Polyurethane acrylate), ETFE(Ethylene Tetrafluoroethylene), PFA(Perfluoroalkyl acrylate), PFPE(Perfluoropolyether) 및 PTFE(Polytetrafluoroethylene) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 제4단계의 제2스탬프 상부에는,점착방지(Anti-stiction) 표면 처리 공정이 이루어지는 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 제4단계의 경화공정은,상기 제2스탬프를 가압하면서 상기 유동성 재료에 자외선을 5초~1시간 조사하거나, 또는 마이크로웨이브를 5초~1시간 조사하는 광경화 방식에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 제4단계의 경화공정은,상기 제2스탬프를 가압하면서 상기 유동성 재료에 50℃~200℃의 범위의 온도에서 15초~1시간의 범위에서 열을 가하는 열경화 방식에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 제5단계 이후에,상기 유동성 재료로 이루어진 양면 패턴이 성형된 고분자 기판을 전사테이프로 하여 이종의 기판 또는 박막에 양면 패턴을 전사하는 공정이 더 이루어지는 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 13항에 있어서, 상기 이종의 기판은,실리콘(Si), 갈륨비소(GaAs), 갈륨인(GaP), 갈륨비소인(GaAsP), SiC, GaN, ZnO, MgO, 사파이어, 석영, 유리 중 어느 하나의 무기물 기판,또는, 폴리카보네이트(Polycarbonate, PC), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylene naphthalate, PEN), 폴리노르보넨(Polynorbornene, PN), 폴리아크릴레이트(Polyacrylate), 폴리비닐알콜(Polyvinyl alcohol, PVA), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET), 폴리에테르설폰(Polyethersulfone, PES), 폴리스타일렌(Polystyrene, PS), 폴리프로필렌(Polypropylene, PP), 폴리에틸렌(Polyethylene, PE), 폴리염화비닐(polyvinylchloride, PVC), 폴리아미드(Polyamide, PA), 폴리부틸렌테레프탈레이트(Polybutyleneterephthalate, PBT), 폴리메타크릴레이트(Polymethyl methacrylate, PMMA) 및 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane, PDMS) 중 어느 하나의 폴리머 기판인 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 13항에 있어서, 상기 전사하는 공정은,상기 전사테이프를 롤형태로 제공하여 상기 전사테이프의 양면 패턴을 이종 기판 또는 박막에 전사하는 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 13항에 있어서, 상기 전사하는 공정은,상기 전사테이프와 이종 기판 또는 박막을 접촉시킨 후 롤러를 이용하여 가압하면서 상기 전사테이프의 양면 패턴을 이종 기판 또는 박막에 전사하는 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 13항에 있어서, 상기 이종의 기판 또는 박막에 양면 패턴을 전사한 후, 또 다른 이종 기판 또는 박막에 한번 더 양면 패턴을 전사하는 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조방법
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제 13항에 있어서, 상기 제5단계 이후의 전사하는 공정 전에,상기 이종 기판 또는 박막 상부에 접착증진(Adhesion promoter) 표면 처리 공정이 이루어지는 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 제3단계의 유동성 재료의 도포는,상기 유동성 재료를 도포하는 두께 조절에 따라서 상기 하측 패턴과 상측 패턴의 층간 사이막의 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 19항에 있어서,상기 양면 패턴 중 상측 패턴과 하측 패턴의 층간 사이막의 두께는 10nm~100 ㎛인 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 양면 패턴은,나노 구조체, 마이크로 구조체,나노 및 마이크로 구조체가 복합적으로 형성된 복합 구조체 중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 양면 패턴의 제조 방법
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고분자 기판;상기 고분자 기판 상에 도포된 유동성 재료의 상측 및 하측에 형성되는 것으로서, 상기 고분자 기판을 이용한 열간 엠보싱 리소그래피에 의해 형성된 하측 패턴, 자외선, 마이크로웨이브 또는 열간 임프린트 리소그래피에 의해 형성된 상측 패턴으로 구비된 양면 패턴;으로 이루어지며, 상기 하측 패턴과 상측 패턴은 서로 다른 싸이즈의 패턴이 반복 또는 불규칙적으로 배열되어 형성되고,상기 유동성 재료의 두께에 따라 상기 상측 패턴과 하측 패턴의 층간 사이막의 두께가 조절되며, 상기 층간 사이막의 두께는 10nm~100㎛로 형성되고,상기 유동성 재료는 수지, 전도성 페이스트 및 감광성 금속-유기물 전구체 중 어느 하나의 조성물로 형성되며,이종의 기판 또는 박막에 상기 양면 패턴을 전사시키는 것을 특징으로 하는 양면 패턴을 이용한 전사테이프
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제 22항에 있어서, 상기 양면 패턴의 상측 패턴 및 하측 패턴은,각각 뿔모양, 기둥모양, 구상 및 반구상의 형상 중 어느 하나로 형성되며, 이러한 형상들이 양각 또는 음각으로 형성되는 것을 특징으로 하는 양면 패턴을 이용한 전사테이프
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